0He aha nga punaha e ono o te oumu karaihe kotahi

Ko te oumu karaihe kotahi he taputapu e whakamahi ana i awhakamahana kauwhataki te whakarewa i nga rawa polycrystalline silicon i roto i te taiao hau (argon) me te whakamahi i te tikanga Czochralski ki te whakatipu tioata kotahi kore-dislocated. Ko te nuinga o nga punaha e whai ake nei:

Pūnaha whakawhiti miihini

Ko te punaha whakawhiti miihini ko te punaha whakahaere taketake o te oumu karaihe kotahi, ko te nuinga o te kawenga mo te whakahaere i nga nekehanga o nga tioata mewhariki, tae atu ki te hiki me te hurihanga o nga tioata purapura me te hiki me te hurihanga owhariki. Ka taea e ia te whakatika tika i nga tawhā penei i te waahi, te tere me te koki hurihuri o nga kiripiri me nga crucibles hei whakarite i te pai o te ahunga whakamua o te tukanga tipu karaihe. Hei tauira, i roto i nga waahanga rereke o te tipu o te karaihe penei i te purapura, te kaki, te pekepeke, te tipu o te diameter rite me te hiku, me tika te whakahaere i te nekehanga o nga kiripiri purapura me nga putea e tenei punaha ki te whakatutuki i nga whakaritenga tukanga o te tipu karaihe.

Pūnaha whakahaere pāmahana whakawera

Koinei tetahi o nga punaha matua o te oumu karaihe kotahi, e whakamahia ana hei whakaputa i te wera me te whakahaere tika i te pāmahana i roto i te oumu. Ko te nuinga o nga waahanga penei i nga whakamahana, nga pūoko pāmahana, me nga kaiwhakahaere pāmahana. Ko te whakamahana he mea hanga mai i nga rawa penei i te graphite parakore teitei. I muri i te hurihanga o te naianei tauutuutu me te whakaheke ki te whakanui ake i te ia, ka whakaputa te whakamahana i te wera ki te whakarewa i nga rauemi polycrystalline penei i te polysilicon i roto i te parapara. Ka aroturuki te pūoko pāmahana i te huringa pāmahana i roto i te oumu i roto i te wā tūturu, me te tuku i te tohu pāmahana ki te pūmana pāmahana. Ka tika te whakahaere a te kaiwhakahaere o te pāmahana i te mana whakawera kia rite ki nga tawhā o te pāmahana kua whakaritea me te tohu pāmahana urupare, na reira ka mau tonu te pumau o te pāmahana i roto i te oumu me te whakarato i te taiao pāmahana pai mo te tipu o te karaihe.

Pūnaha korehau

Ko te mahi matua o te punaha korehau ko te hanga me te pupuri i tetahi taiao korehau i roto i te oumu i te wa o te tipu o te karaihe. Ko nga hau me nga hau poke i roto i te oumu ka tangohia mai i nga papua korehau me etahi atu taputapu kia eke te pehanga hau i roto i te oumu ki te taumata tino iti, i raro iho i te 5TOR (torr). Ka taea e tenei te aukati i nga rauemi silicon mai i te oxidized i nga pāmahana teitei me te whakarite i te ma me te kounga o te tipu karaihe. I te wa ano, ko te taiao korehau e pai ana ki te tango i nga mea pokekore i hangaia i te wa o te tipu o te karaihe me te whakapai ake i te kounga o te karaihe.

Pūnaha Argon

Ko te punaha argon he mahi ki te tiaki me te whakahaere i te pehanga i roto i te oumu i roto i te oumu karaihe kotahi. I muri i te whakakoi, ka whakakiia te hau argon tino para (me runga ake i te 6 9) te ma ki roto i te oumu. I tetahi taha, ka taea e ia te aukati i te hau o waho mai i te uru ki roto i te oumu me te aukati i nga rauemi silicon mai i te oxidized; i tetahi atu ringa, ka taea e te whakakii o te hau argon te pupuri i te pehanga i roto i te oumu me te whakarato i te taiao pehanga pai mo te tipu o te karaihe. I tua atu, ka taea e te rere o te hau argon te tango i te wera i puta i te wa o te tipu o te karaihe, e takaro ana i tetahi mahi whakamahana.

Pūnaha whakamahana wai

Ko te mahi a te punaha whakamahana wai ko te whakamatao i nga momo waahanga teitei-teitei o te oumu karaihe kotahi hei whakarite i te mahi noa me te oranga o nga taputapu. I roto i te mahi o te oumu karaihe kotahi, te whakamahana,whariki, electrode me etahi atu waahanga ka whakaputa i te wera nui. Ki te kore e whakamataohia i roto i te waa, ka wera rawa nga taputapu, ka pakaru, ka pakaru ranei. Ka tangohia e te punaha whakamahana wai te wera o enei waahanga ma te huri i te wai whakamatao kia mau tonu te pāmahana o nga taputapu i roto i te awhe haumaru. I te wa ano, ka taea hoki e te punaha whakamahana wai te awhina ki te whakatika i te pāmahana i roto i te oumu hei whakapai ake i te tika o te mana o te pāmahana.

Pūnaha whakahaere hiko

Ko te punaha whakahaere hiko ko te "roro" o te oumu karaihe kotahi, he kawenga mo te aro turuki me te whakahaere i nga mahi o nga taputapu katoa. Ka taea e ia te whiwhi tohu mai i nga momo pukoro, penei i nga tohu pāmahana, nga puoro pehanga, nga tohu tuunga, me etahi atu, me te whakarite me te whakahaere i te punaha tuku miihini, te punaha whakahaere pāmahana whakamahana, te punaha korehau, te punaha argon me te punaha whakamahana wai i runga i enei tohu. Hei tauira, i te wa o te tipu o te karaihe, ka taea e te punaha whakahaere hiko te whakatika aunoa i te mana whakawera kia rite ki te tohu pāmahana i whakahokia mai e te pūoko pāmahana; kia rite ki te tipu o te karaihe, ka taea e ia te whakahaere i te tere o te nekehanga me te koki hurihuri o te karaihe purapura me te ipu. I te wa ano, kei te punaha whakahaere hiko he tohu he me nga mahi whakaoho, ka kitea nga ahuatanga rereke o nga taputapu i te waa me te whakarite kia pai te mahi o nga taputapu.