Ko te hangarau matua mo te tipu oSiC epitaxialKo nga rauemi i te tuatahi ko te hangarau whakahaere koha, ina koa mo te hangarau whakahaere koha e kaha ana ki te rahua o te taputapu, ki te paheketanga pono ranei. Ko te rangahau mo te tikanga o nga ngoikoretanga o te taputapu e toro atu ana ki roto i te paparanga epitaxial i te wa o te tipu o te epitaxial, ko te whakawhiti me te whakarereke i nga ture o nga hapa i te atanga i waenga i te paparanga me te paparanga epitaxial, me te tikanga nucleation o nga hapa ko te putake mo te whakamarama i te hononga i waenga koha o te tïpako me nga hapa hanganga epitaxial, ka taea te arahi tika i te tirotiro i te tïpako me te arotautanga o te tukanga epitaxial.
Nga hapa opaparanga epitaxial silicon carbidekua wehea te nuinga ki nga waahanga e rua: ko nga koha o te karaihe me nga koha o te mata. Ko nga koha o te karaihe, tae atu ki nga koha o te tohu, nga wehenga wiri, nga koha o te microtubule, nga wehenga taha, me era atu, i ahu mai te nuinga i nga koha i runga i nga taputapu SiC, ka marara ki te paparanga epitaxial. Ko nga hapa o te ahua o te mata ka taea te kite tika ma te kanohi tahanga ma te whakamahi i te karu karu me nga ahuatanga ahua o te ahua. Ko nga hapa o te ahua o te mata ko te nuinga: Ko te paraka, koha tapatoru, ko te koha o te karoti, ko te takahanga, me te matūriki, penei i te Whakaaturanga 4. I te wa o te tukanga epitaxial, ko nga matūriki ke, ko nga koha o te taputapu, ko te kino o te mata, me nga rereketanga o te tukanga epitaxial ka pa katoa ki te rere o te hikoi o te rohe. aratau tipu, ka puta ko nga hapa o te ahua o te mata.
Ripanga 1. Ko nga take o te hanganga o nga koha matrix noa me nga koha o te ahua o te mata i roto i nga paparanga epitaxial SiC
Nga hapa tohu
Ko nga hapa o te tohu ka puta mai i nga waahi, i nga waahi ranei i te waahi reeti kotahi, i te maha ranei o nga waahi, kaore he toronga mokowā. Ka puta pea nga hapa ira i roto i ia tukanga whakaputa, ina koa i te whakaurunga katote. Heoi, he uaua ki te kitea, he tino uaua hoki te hononga i waenga i te huringa o nga hapa o te tohu me etahi atu hapa.
Mirooro (MP)
Ko nga paipa moroiti he wehenga wiri tuwhera ka toha haere i te tuaka tipu, me te Vectors Burgers <0001>. Ko te diameter o nga ngongo moroiti mai i te hautanga o te moroiti ki te tekau moroiti. Ko nga ngongo moroiti e whakaatu ana i nga ahuatanga o te mata rite rua nui ki te mata o nga angiangi SiC. Ko te tikanga, ko te kiato o nga microtubes e tata ana ki te 0.1~1cm-2 me te heke haere tonu i roto i te aro turuki i te kounga o te hanga angiangi arumoni.
Wehenga wiri (TSD) me nga wehenga taha (TED)
Ko nga wehenga i roto i te SiC te puna nui o te paheketanga o te taputapu me te kore. E rere ana nga wehenga o te wiri (TSD) me nga wehenga taha (TED) i te tuaka tipu, me nga vectors Burgers o <0001> me te 1/3<11–20>, ia.
Ka taea te toro atu i te tïpako ki te mata angiangi, ka mau mai nga ahuatanga mata rite rua iti (Whakaahua 4b). Ko te tikanga, ko te kiato o nga dislocations tapa he tata ki te 10 whakareatanga o nga dislocations tīwiri. Ko nga wehenga hurihanga roa, ara, ka toro atu i te tïpako ki te epilayer, ka huri ano ki etahi atu koha ka toha haere i te tuaka tipu. I te waSiC epitaxialKo te tipu, ka huria nga wehenga o te wiri ki roto i nga hapa taapu (SF) me nga hapa karoti ranei, i te wa e whakaatuhia ana nga wehenga o te taha o nga epilayers ka huri mai i nga waahanga rererangi (BPD) i tuku iho mai i te taputapu i te wa e tipu ana te epitaxial.
Wehenga rererangi taketake (BPD)
Kei runga i te waka rererangi SiC, me te vector Burgers o 1/3 <11–20>. He iti te puta o nga BPD ki te mata o nga angiangi SiC. Ko te nuinga o te waa ka aro ki runga i te tïpako me te kiato o 1500 cm-2, ko to ratou kiato i roto i te epilayer he tata ki te 10 cm-2 anake. Ko te kitenga o nga BPD ma te whakamahi i te photoluminescence (PL) e whakaatu ana i nga ahuatanga raina, penei i te Whakaahua 4c. I te waSiC epitaxialte tipu, ka taea te huri i nga BPD kua roa ki roto i nga hapa tapapa (SF) me nga wehenga taha (TED).
Nga hapa taapu (SF)
Ko nga hapa i roto i te raupapa taapiri o te papa rererangi SiC. Ka puta mai nga hapa i roto i te paparanga epitaxial ma te tuku i nga SFs i roto i te tïpako, e pa ana ranei ki te toronga me te hurihanga o nga rerenga rererangi (BPDs) me nga wehenga hurihanga miro (TSDs). Ko te tikanga, ko te kiato o nga SF he iti iho i te 1 cm-2, ka whakaatuhia he ahua tapatoru ina kitea ma te whakamahi i te PL, penei i te Whakaaturanga 4e. Heoi ano, he maha nga momo hapa o te taapu ka taea te hanga i roto i te SiC, penei i te momo Shockley me te momo Frank, na te mea ahakoa te iti o te whakararuraru o te hiko i waenga i nga waka rererangi ka puta he rerekee i te raupapa taapu.
Te hinganga
Ko te koha o te heke te nuinga i ahu mai i te maturuturu matūriki i runga me te taha o nga pakitara o te ruuma tauhohenga i te wa o te tipu o te tipu, ka taea te whakapai ake ma te arotau i nga mahi tiaki i ia wa o nga taonga graphite ruuma tauhohenga.
Te hapa tapatoru
He whakaurunga polytype 3C-SiC e toro atu ana ki te mata o te epilayer SiC i te taha o te ahunga rererangi, penei i te Whakaahua 4g. Ka hangaia pea e nga matūriki e taka ana i runga i te mata o te epilayer SiC i te wa e tipu ana te epitaxial. Ko nga matūriki kei roto i te epilayer me te whakararu i te tukanga tipu, ka puta mai i te 3C-SiC polytype inclusions, e whakaatu ana i nga ahuatanga o te mata tapatoru koi-koki me nga matūriki kei nga pito o te rohe tapatoru. He maha nga rangahau i kii i te takenga mai o te whakaurunga polytype ki nga karawarawa o te mata, nga micropipes, me nga tawhā hē o te tukanga tipu.
Te hapa o te karoti
Ko te koha o te karoti he whaowhao whaowhao me nga pito e rua kei te TSD me te SF papaakara karaihe rererangi, ka mutu na te momo-Frank dislocation, a ko te rahi o te koha karoti e pa ana ki te he o te tapae prismatic. Ko te huinga o enei ahuatanga ka hangaia te ahua o te mata o te koha o te karoti, he rite te ahua o te ahua o te karoti he iti iho i te 1 cm-2 te kiato, penei i te Whakaahua 4f. He ngawari te hanga o nga koha o te karoti i te whakakoi i nga karawarawa, i nga TSD, i nga koha o te taputapu.
Nga karawarawa
Ko nga pakaru he pakaru miihini i runga i te mata o nga angiangi SiC i hanga i te wa o te mahi whakaputa, penei i te Whakaahua 4h. Ko nga karawarawa i runga i te tïpako SiC ka whakararu i te tipu o te epilayer, ka puta he rarangi o nga wehenga kiato teitei i roto i te epilayer, ka waiho ranei nga rakuraku hei putake mo te hanganga o nga hapa o te karoti. No reira, he mea nui ki te whakakoi tika i nga angiangi SiC na te mea ka whai paanga nui enei karawarawa ki te mahi o te taputapu ina puta ana ki te waahi kaha o te taputapu.
Ko etahi atu ngoikoretanga o te ahua o te mata
He koha te mata i hanga i te wa o te SiC epitaxial tipu, e whakaputa ana i nga tapatoru maamaa, i nga ahuatanga trapezoidal ranei i runga i te mata o te SiC epilayer. He maha atu nga koha o te mata, penei i te rua o te mata, te pupuhi me te piro. I te nuinga o te wa ka puta enei hapa na te kore arotau o te tipu me te kore e oti te tango i nga kino oro, e pa kino ana te mahi a te taputapu.
Wā tuku: Hune-05-2024