Nga Poti Kauwhata, e mohiotia ana ano he poti kauwhata, he whai waahi nui ki roto i nga mahi uaua o te hanga karaiti semiconductor. Ko enei oko motuhake ka noho hei kawe pono mo nga wafers semiconductor i roto i nga maimoatanga wera-teitei, me te whakarite i te tukatuka tika me te whakahaere. Ma o raatau ahuatanga ahurei me nga tono maha,Poti kauwhatakua waiho hei taputapu tino nui i roto i te umanga semiconductor. Kia tirotirohia nga ahuatanga matua e hanga anaPoti kauwhatanga waahanga nui i roto i te hanga miihini semiconductor.
1. Paemahana-Teitei Whakaaetanga:
Poti kauwhatahe mea hanga mai i nga rauemi graphite-kounga teitei e mohiotia ana mo o raatau aukati wera. Ma tenei huanga ka taea e nga poti Graphite te tu atu i te wera nui e pa ana ki nga mahi hanga semiconductor, penei i te whakahekenga kohu matū (CVD) me te paninga carbide silicon. Ko te kaha ki te pupuri i te tika o te hanganga me te pumau o te ahu i raro i nga ahuatanga wera nui he mea nui mo te whakarite kia rite tonu te hanga semiconductor.
2. Korekore matū:
graphite, te rauemi tuatahi i whakamahia i roto iPoti kauwhata, e whakaatu ana i te koretake o te matū matū, he ātete ki te waikura me te tauhohenga matū. He pai rawa atu tenei ahuatanga ki te hanga karamu semiconductor, kei te whakamahia nga matū kino me nga hau reactive. Ka whakaratohia e nga poti graphite he taiao whakamarumaru mo nga wafers semiconductor, hei aukati i te poke me te whakarite i te ma o te hua whakamutunga.
3. Mana Ahu Tika:
Poti kauwhatahe mea hanga tika ki te whakauru i nga angiangi semiconductor he rereke te rahi me te ahua. Ma o raatau hoahoa ka taea te whakahaere i te rahinga tika, me te whakarite i te pai o nga wafers me te whakaiti i te tupono o te kino i te wa e whakahaere ana me te tukatuka. He mea nui tenei taumata o te tino tika mo te whakatutuki i te matotoru paninga orite me te tika o te tukunga i roto i nga mahi whakangao semiconductor.
4. Te Mahinga i roto i nga Tono:
Poti kauwhatakitea te whakamahi whanui i roto i te maha o nga momo hangahanga hikohiko, tae atu ki te epitaxy, te whakamaaramatanga, te whakahiato, me te tuku kiriata angiangi. Ahakoa kei te tautoko i nga wafers silicon i te wa e tukatuka ana i te waiariki, i te whakahaere ranei i te tipu o nga paparanga epitaxial, ka tukuna e nga poti Graphite te whai kiko me te pono puta noa i nga tono rereke. Ko to ratou kaha ki te tu atu ki nga wa roa ki te pāmahana teitei me nga taiao kino, he mea nui ki a raatau nga taputapu mo te hanga miihini semiconductor.
5. Hototahi paninga Silicon Carbide:
He pai rawa nga poti graphite mo nga tono e pa ana ki nga paninga silicon carbide (SiC), he waahanga nui i roto i nga taputapu semiconductor matatau. Ko te hototahitanga o te kauwhata me te carbide silicon ka taea te tukunga pai me te riterite o nga paparanga SiC i runga i nga taputapu semiconductor, te whakarei ake i te mahi taputapu me te pono. Ka whai waahi nui nga poti graphite ki te whakahaere i te mahi tuku, ki te whakarite kia rite te kapi me te mana tika mo te matotoru paninga.
Hei mutunga, ka noho nga poti Graphite hei waahanga nui i roto i te hanga miihini semiconductor, e tuku ana i te whakakotahitanga ahurei o te manawanui teitei-nui, te koretake matū, te mana tika, me te hototahi ki nga paninga carbide silicon. Ko o raatau pukenga me te pono ka waiho hei taputapu tino nui mo nga mahi hangahanga semiconductor, e taea ai te hanga o nga taputapu semiconductor teitei me te tino mahi. I te mea kei te ahu whakamua tonu te hangarau semiconductor, ka noho tonu nga poti Graphite hei taonga tino nui, hei akiaki i nga mahi auaha me te ahunga whakamua i roto i te umanga semiconductor.
Te wa tuku: Apr-22-2024