Nga Poti Kauwhata, e mohiotia ana ano he poti kauwhata, he whai waahi nui ki roto i nga mahi uaua o te hanga karaiti semiconductor. Ko enei oko motuhake ka noho hei kawe pono mo nga wafers semiconductor i roto i nga maimoatanga wera-teitei, me te whakarite i te tukatuka tika me te whakahaere. Ma o raatau ahuatanga ahurei me nga tono maha,Poti kauwhatakua waiho hei taputapu tino nui i roto i te umanga semiconductor. Kia tuhurahia nga ahuatanga matua e hanga anaPoti kauwhatanga waahanga nui i roto i te hanga miihini semiconductor.
1. Paemahana-Teitei Whakaaetanga:
Poti kauwhatahe mea hanga mai i nga rawa graphite-kounga teitei e mohiotia ana mo o raatau aukati wera. Ma tenei huanga ka taea e nga poti Graphite te tu atu i te wera nui e pa ana ki nga mahi hanga semiconductor, penei i te whakahekenga kohu matū (CVD) me te paninga carbide silicon. Ko te kaha ki te pupuri i te tika o te hanganga me te pumau o te ahu i raro i nga ahuatanga wera nui he mea nui mo te whakarite kia rite tonu te hanga semiconductor.
2. Korekore matū:
graphite, te rauemi tuatahi i whakamahia i roto iPoti kauwhata, e whakaatu ana i te koretake o te matū matū, he ātete ki te waikura me te tauhohenga matū. He pai rawa atu tenei ahuatanga ki te hanga karamu semiconductor, he maha nga wa e whakamahia ana nga matū kino me nga hau reactive. Ka whakaratohia e nga poti graphite he taiao whakamarumaru mo nga wafers semiconductor, hei aukati i te poke me te whakarite i te ma o te hua whakamutunga.
3. Mana Ahu Tika:
Poti kauwhatahe mea hanga tika ki te whakauru i nga angiangi semiconductor he rereke te rahi me te ahua. Ma o raatau hoahoa ka taea te whakahaere i te rahinga tika, me te whakarite i te pai o nga wafers me te whakaiti i te tupono o te kino i te wa e whakahaere ana me te tukatuka. He mea nui tenei taumata o te tino tika mo te whakatutuki i te matotoru paninga orite me te tika o te tukunga i roto i nga mahi whakangao semiconductor.
4. Te Mahinga i roto i nga Tono:
Poti kauwhatakitea te whakamahi whanui i roto i te maha o nga momo hangahanga hikohiko, tae atu ki te epitaxy, te whakamaaramatanga, te whakahiato, me te tuku kiriata angiangi. Ahakoa kei te tautoko i nga wafers silicon i te wa e tukatuka ana i te waiariki, i te whakahaere ranei i te tipu o nga paparanga epitaxial, ka tukuna e nga poti Graphite te whai kiko me te pono puta noa i nga tono rereke. Ko to ratou kaha ki te tu atu ki nga wa roa ki te pāmahana teitei me nga taiao kino, he mea nui ki a raatau nga taputapu mo te hanga miihini semiconductor.
5. Hototahi paninga Silicon Carbide:
He pai rawa nga poti graphite mo nga tono e pa ana ki nga paninga silicon carbide (SiC), he waahanga nui i roto i nga taputapu semiconductor matatau. Ko te hototahitanga o te kauwhata me te carbide silicon ka taea te tukunga pai me te riterite o nga paparanga SiC i runga i nga taputapu semiconductor, te whakarei ake i te mahi taputapu me te pono. Ka whai waahi nui nga poti graphite ki te whakahaere i te mahi tuku, ki te whakarite kia rite te kapi me te mana tika mo te matotoru paninga.
Hei mutunga, ka noho nga poti Graphite hei waahanga nui i roto i te hanga miihini semiconductor, e tuku ana i te whakakotahitanga ahurei o te manawanui teitei-nui, te koretake matū, te mana tika, me te hototahi ki nga paninga carbide silicon. Ko o raatau pukenga me te pono ka waiho hei taputapu tino nui mo nga mahi hangahanga semiconductor, e taea ai te hanga o nga taputapu semiconductor teitei me te tino mahi. I te mea kei te ahu whakamua tonu te hangarau semiconductor, ka noho tonu nga poti Graphite hei taonga tino nui, hei akiaki i nga mahi auaha me te ahunga whakamua i roto i te umanga semiconductor.
Te wa tuku: Apr-22-2024