Ko te hanganga o te hauhautanga hika i runga i te mata o te silicon e kiia ana ko te oxidation, a ko te hanga o te hauhautanga pumau me te kaha piri ki te whanautanga o te hangarau hiko hiko hikohiko. Ahakoa he maha nga huarahi ki te whakatipu i te hiona hauhauora tika ki runga i te mata o te hiraka, ko te nuinga o te waa ka mahia e te waiariki waiariki, ara ko te tuku i te silicon ki tetahi taiao whakawera teitei (hauora, wai). Ka taea e nga tikanga waiariki te whakahaere i te matotoru o te kiriata me nga ahuatanga atanga atanga silicon/silicon dioxide i te wa e whakarite ana nga kiriata hauhautanga. Ko etahi atu tikanga mo te whakatipu i te hauhā hauhā he plasma anodization me te anodization maku, engari kaore tetahi o enei tikanga i whakamahia nuitia i roto i nga tikanga VLSI.
E whakaatu ana a Silicon i te kaha ki te hanga i te hauhauora hiraka pumau. Mēnā ka pā ki tētahi taiao whakahāora (pērā i te hāora, te wai), ka hanga he paparanga waikura tino kikokore (<20Å) ahakoa te pāmahana rūma. I te wa e pa ana te silicon ki tetahi taiao whakahaora i te wera nui, ka tere ake te hanga i tetahi paparanga waikura matotoru. Ko te tikanga taketake o te hanga o te hiako hauhautanga mai i te silicon e tino marama ana. I whakawhanakehia e Deal raua ko Grove he tauira pangarau e whakaatu tika ana i te tipu o nga kiriata waikura nui atu i te 300Å. I whakaarohia e ratou kia mahia te whakapouritanga i runga i te huarahi e whai ake nei, ara, ko te waikura (ngota ngota wai me nga ngota ngota hāora) ka marara i roto i te paparanga waikura o naianei ki te atanga Si/SiO2, i reira te tauhohenga o te waikura ki te silicon ki te hanga i te hauhā. Ko te tauhohenga matua ki te hanga i te hiako hauhā e whakaahuatia ana e whai ake nei:
Ka puta te tauhohenga waikura ki te atanga Si/SiO2, no reira ka tipu te paparanga waikura, ka pau tonu te hiona, ka uru haere te atanga ki te hiraka. E ai ki te kiato e rite ana me te taumaha ngota o te silicon me te silicon dioxide, ka kitea ko te silicon i pau mo te matotoru o te paparanga waikura whakamutunga he 44%. I tenei ara, ki te tipu te paparanga waikura ki te 10,000Å, ka pau te 4400Å o te silicon. He mea nui tenei hononga mo te tatau i te teitei o nga hikoi i hanga i runga i teangiangi hiraka. Ko nga kaupae ko te hua o nga reiti waikura rereke i nga waahi rereke i runga i te mata angiangi silicon.
Ka tukuna ano e matou he graphite tino parakore me nga hua carbide silicon, e whakamahia nuitia ana i roto i te tukatuka angiangi penei i te waikura, te whakamaarama, me te whakaene.
Nau mai ki nga kaihoko mai i nga wa katoa o te ao ki te toro mai ki a maatau mo etahi atu korero!
https://www.vet-china.com/
Te wa tuku: Noema-13-2024