Ko etahi o nga matū pararopi me nga matū pararopi e hiahiatia ana kia uru atu ki roto i nga mahi whakangao semiconductor. I tua atu, mai i nga wa katoa te mahi i roto i te ruma ma ki te whai wāhi tangata, semiconductorangiangikua pokea e nga momo poke.
E ai ki te puna me te ahua o nga mea poke, ka taea te wehewehe ki nga waahanga e wha: nga matūriki, nga mea waro, nga katote whakarewa me te waikura.
1. Matūriki:
Ko nga matūriki te nuinga o etahi polymers, photoresists me te poke poke.
Ko te nuinga o nga wa ka whakawhirinaki atu enei momo whakakino ki runga i nga hiko o waenga ngota ki te whakauru ki runga i te mata o te angiangi, e pa ana ki te hanga o nga ahua ahuahanga me nga tawhā hiko o te mahi whakaahua whakaahua taputapu.
Ko te nuinga o enei mea poke ka tangohia ma te whakaiti haere i te waahi whakapiri ki te mata o teangiangina roto i nga tikanga tinana, matū ranei.
2. Mahinga pararopi:
Ko nga puna o te poke pararopi he tino whanui, penei i te hinu kiri tangata, huakita, hinu miihini, hinu korehau, photoresist, whakarewa horoi, aha atu.
Ko te nuinga o nga wa ka hangaia he kiriata waro i runga i te mata o te angiangi kia kore ai te wai horoi e tae ki te mata o te angiangi, ka mutu ka kore e oti te horoi o te mata angiangi.
Ko te tango i enei mea poke ka mahia i te waahi tuatahi o te mahi horoi, ko te nuinga o te whakamahi tikanga matū penei i te waikawa pungatara me te hauwai peroxide.
3. Katote whakarewa:
Ko nga poke whakarewa noa ko te rino, te parahi, te konumohe, te chromium, te rino maka, te titanium, te konutai, te pāhare pāporo, te lithium, me etahi atu.
He maha nga wa ka tangohia tenei momo poke e nga tikanga matū na roto i te hanganga o nga matatini katote whakarewa.
4. Te hāora:
A, no te semiconductorangiangika kitea ki tetahi taiao e mau ana te hāora me te wai, ka puta he paparanga waikura maori ki te mata. Ko tenei kiriata waikura ka arai i te maha o nga mahi i roto i te hanga semiconductor me etahi o nga poke whakarewa. I raro i etahi ahuatanga, ka puta he hapa hiko.
Ko te tangohanga o tenei kiriata waikura ka oti ma te ruku ki roto i te waikawa hydrofluoric waimeha.
Te raupapa horoi whanui
Ko nga poke i whakaemihia ki runga i te mata o te semiconductorangiangiKa taea te wehea ki nga momo e toru: te ngota, te katote me te ngota.
I roto ia ratou, ko te kaha adsorption i waenga i nga poke ngota me te mata o te angiangi he ngoikore, a ko tenei momo matūriki poke he ngawari ki te tango. Ko te nuinga o nga poke hinuhinu me nga ahuatanga hydrophobic, ka taea te whakamarumaru mo nga poke o te katote me te ngota e whakapoke ana i te mata o nga wafers semiconductor, e kore e pai ki te tango i enei momo poke e rua. Na reira, ka horoi matū nga angiangi semiconductor, me tango tuatahi nga poke ngota.
Na reira, ko te tikanga whānui o te semiconductorangiangitukanga horoi ko:
De-molecularization-deionization-de-atomization-deionized wai horoi.
I tua atu, ki te tango i te paparanga waikura maori i runga i te mata o te angiangi, me taapiri he hikoi waimeha waikawa amino. Na reira, ko te whakaaro o te horoi ko te tango tuatahi i te poke pararopi i runga i te mata; ka whakakore i te paparanga waikura; ka mutu te tango i nga matūriki me te poke whakarewa, ka tuku i te mata i te wa ano.
Nga tikanga horoi noa
Ka whakamahia nga tikanga matū mo te horoi i nga wafers semiconductor.
Ko te horoi matū e pa ana ki te tukanga o te whakamahi i nga momo reagents matū me nga whakarewa pararopi ki te tauhohe, ki te whakakore ranei i nga poke me nga hinu hinu i runga i te mata o te angiangi ki te whakakore i nga poke, katahi ka horoi ki te nui o te wai wera me te matao maeke kia whiwhi. he mata ma.
Ka taea te wehea te horoi matū ki te horoi matū mākū me te horoi matū maroke, i roto i enei ko te horoi matū mākū kei te mana tonu.
Te horoi matū mākū
1. Te horoi matū mākū:
Ko te horoi matū maku ko te rumaki otinga, te horoi miihini, te horoi ultrasonic, te horoi megasonic, te rehu hurihuri, me era atu.
2. Rūmaki otinga:
Ko te rumaki otinga he tikanga tango i te poke o te mata ma te ruku i te angiangi ki te wairewa matū. Ko te tikanga tino whakamahia mo te horoi matū maku. Ka taea te whakamahi i nga otinga rereke hei tango i nga momo poke i runga i te mata o te angiangi.
I te nuinga o te wa, kaore e taea e tenei tikanga te tango katoa i nga poke i runga i te mata o te angiangi, na reira ka whakamahia nga tikanga tinana penei i te whakamahana, te ultrasound, me te whakakorikori i te wa e ruku ana.
3. Miihini horoi:
He maha nga wa ka whakamahia te horoi miihini hei tango i nga matūriki, i nga toenga waro ranei i runga i te mata o te angiangi. Ka taea te wehewehe ki nga tikanga e rua:te horoi a-ringa me te horoi ma te wiper.
Te horoi a-ringaKo te tikanga horoi tino ngawari. Ka whakamahia he paraihe kowiri tira hei pupuri i te poi kua whakamakuku ki roto i te waiwaro anhydrous, i etahi atu whakarewa pararopi ranei, ka ata mirimiri i te mata o te angiangi i te huarahi kotahi ki te tango i te kiriata ware pi, te puehu, te toenga kapia me etahi atu matūriki totoka. He ngawari tenei tikanga ki te hanga rakuraku me te parahanga kino.
Ka whakamahia e te wiper te hurihanga miihini ki te mirimiri i te mata o te angiangi me te paraihe huruhuru maeneene, he paraihe whakauru ranei. Ko tenei tikanga ka tino whakaiti i nga karawarawa o te angiangi. E kore te wiper pehanga teitei e rakuraku i te angiangi na te kore o te waku miihini, ka taea te tango i te poke i roto i te riu.
4. Te horoi Ultrasonic:
Ko te horoi Ultrasonic he tikanga horoi e whakamahia nuitia ana i roto i te ahumahi semiconductor. Ko ona painga he pai te horoi, he ngawari te mahi, ka taea hoki te horoi i nga taputapu uaua me nga ipu.
Ko tenei tikanga horoi kei raro i nga mahi a nga ngaru ultrasonic kaha (ko te auau ultrasonic e whakamahia nuitia ana ko 20s40kHz), a ka hangaia nga waahanga iti me te kiko ki roto i te reo wai. Ko te waahanga iti ka whakaputa i te mirumiru o te kohao korehau. Ka ngaro te mirumiru kowhao, ka puta he pehanga kaha o te rohe tata ki a ia, ka whati i nga here matū i roto i nga ngota ngota ki te whakakore i nga poke i runga i te mata angiangi. Ko te horoi Ultrasonic he tino whai hua mo te tango i nga toenga rerenga korekore ranei.
5. Te horoi megasonic:
Ko te horoi Megasonic ehara i te mea anake nga painga o te horoi ultrasonic, engari ka hinga ano i ona ngoikoretanga.
Ko te horoi megasonic he tikanga mo te horoi i nga angiangi ma te whakakotahi i te kaha o te wiri o te kaha teitei (850kHz) me te tauhohenga matū o nga kaihoko horoi matū. I te wa e horoi ana, ka whakaterehia nga ngota ngota otinga e te ngaru megasonic (ka eke ki te 30cmVs te tere tere inamata), ka pa tonu te ngaru wai-tere ki te mata o te angiangi, na reira ka piri nga poke me nga matūriki pai ki te mata o te ka tangohia te angiangi ka uru ki te otinga horoi. Ko te taapiri i nga waikawa waikawa ki te otinga horoi, i tetahi taha, ka taea te whakatutuki i te kaupapa o te tango i nga matūriki me nga mea waro i runga i te mata orohia na roto i te whakaurunga o te surfactants; i tetahi atu ringa, na roto i te whakauru o te surfactants me te taiao waikawa, ka taea e ia te whakatutuki i te kaupapa o te tango i te poke whakarewa i runga i te mata o te pepa oro. Ka taea e tenei tikanga te mahi i te wa kotahi te mahi o te horoi miihini me te horoi matū.
I tenei wa, ko te tikanga horoi megasonic kua waiho hei tikanga whai hua mo te horoi i nga pepa oro.
6. Tikanga rehu Rotary:
Ko te tikanga rehu hurihuri he tikanga e whakamahi ana i nga tikanga miihini ki te huri i te angiangi i te tere tere, me te rehu tonu i te wai (te wai deionized teitei-parakore, i etahi atu wai horoi ranei) ki runga i te mata o te angiangi i te wa o te huringa hurihuri hei tango i nga poke i runga i te mata o te angiangi.
Ka whakamahia e tenei tikanga te poke i runga i te mata o te angiangi ki te memeha i roto i te wai maputia (ka mahi matū ranei ki a ia kia memeha), me te whakamahi i te paanga centrifugal o te hurihanga tere-tere kia wehea te wai kei roto nga poke i te mata o te angiangi. i te wa.
Ko te tikanga rehu hurihuri he painga o te horoi matū, te horoi miihini wai, me te horoi i te pehanga teitei. I te wa ano, ka taea hoki te whakakotahi i tenei tikanga me te whakamaroke. Whai muri i te wa o te horoi rehu wai kua whakakorehia, ka mutu te rehu wai ka whakamahia he hau rehu. I te wa ano, ka taea te whakanui ake i te tere o te hurihanga ki te whakanui ake i te kaha centrifugal ki te whakaheke tere i te mata o te wafer.
7.Te horoi matū maroke
Ko te horoi whakamaroke e pa ana ki te hangarau horoi kaore i te whakamahi rongoa.
Ko nga hangarau horoi maroke e whakamahia ana i tenei wa ko: hangarau horoi plasma, hangarau horoi wahanga hau, hangarau horoi kurupae, aha atu.
Ko nga painga o te horoi maroke he mahinga ngawari me te kore poke o te taiao, engari he nui te utu me te waahi o te whakamahinga kaore i te nui mo te wa.
1. Hangarau horoi plasma:
He maha nga wa ka whakamahia te horoi plasma i roto i te tukanga tangohanga whakaahua. He iti te hāora ka whakauruhia ki roto i te punaha tauhohenga plasma. I raro i te mahi a te papa hiko kaha, ka whakaputahia e te hāora te plasma, ka tere te oxidizes te photoresist ki roto i te ahua o te hau, ka tangohia.
Ko tenei hangarau horoi nga painga o te mahi ngawari, te tino pai, te mata ma, kaore he pakaru, me te pai ki te whakarite i te kounga o te hua i roto i te tukanga degumming. I tua atu, kaore i te whakamahi i te waikawa, te kawakore me te whakarewa pararopi, kaore he raruraru penei i te tuku para me te parahanga taiao. No reira, ka whakanuia e te tangata. Heoi ano, kaore e taea te tango i te waro me etahi atu mea whakarewa kore-kore, parakore waikura whakarewa ranei.
2. Hangarau horoi wahanga hau:
Ko te horoi wahanga hau e tohu ana ki tetahi tikanga horoi e whakamahi ana i te wahanga hau e rite ana ki te matū e rite ana i roto i te tukanga wai ki te taunekeneke ki te matū poke i runga i te mata o te angiangi ki te whakatutuki i te kaupapa o te tango i nga para.
Hei tauira, i roto i te tukanga CMOS, ka whakamahia e te horoi angiangi te taunekeneke i waenga i te wahanga hau HF me te kohu wai hei tango i te waikura. Ko te tikanga, ko te tukanga HF kei roto te wai me whai tahi me te tukanga tango matūriki, engari ko te whakamahi i te waahanga hau HF hangarau horoi kaore e hiahiatia he tukanga tango matūriki ka whai ake.
Ko nga painga tino nui ka whakaritea ki te tukanga HF wai he iti ake te kai matū HF me te pai ake o te horoi.
Nau mai ki nga kaihoko mai i nga wa katoa o te ao ki te toro mai ki a maatau mo etahi atu korero!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Te wa tuku: Akuhata-13-2024