Ko te tukanga tipu tioata Silicon carbide me te hangarau taputapu

1. ara hangarau tipu tioata SiC

PVT (tikanga sublimation),

HTCVD (te pāmahana teitei CVD),

LPE(tikanga wahanga wai)

e toru noaKiriata SiCtikanga tipu;

Ko te tikanga tino rongonui i roto i te ahumahi ko te tikanga PVT, a, neke atu i te 95% o nga kiripiri kotahi SiC e tipuhia ana e te tikanga PVT;

AhumahiKiriata SiCka whakamahia e te oumu tipu te ara hangarau PVT auraki o te umanga.

2. SiC tukanga tipu tioata

Te whakahiato paura-te maimoatanga karaihe kakano-te tipu o te kirikiri-te whakapouri ingot-angiangitukatuka.

3. Tikanga PVT ki te tipuKiriata SiC

Ka whakatakotoria te SiC raw rauemi ki raro o te graphite crucible, ko te SiC kakano tioata kei te tihi o te graphite crucible. Ma te whakatikatika i te whakamaarama, ka teitei ake te pāmahana i te SiC raw rauemi, ka iti ake te pāmahana i te karaihe purapura. Ko te SiC mata mata o te pāmahana teitei ka whakaheke, ka pirau ki roto i nga matū wahanga hau, ka haria ki te karaihe kakano me te iti ake te pāmahana, ka whakatioataata hei hanga tioata SiC. Ko te tukanga tipu taketake e toru nga tukanga: te pirau me te whakaheke o nga rawa mata, te whakawhitinga papatipu, me te whakamaarama i runga i nga tioata purapura.

Te pirau me te whakaheke o nga rawa mata:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

I te wa o te whakawhitinga papatipu, ka tauhohe atu te kohu Si me te pakitara graphite crucible ki te hanga SiC2 me Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

I runga i te mata o te karaihe kakano, ka tipu nga wahanga hau e toru na roto i nga tauira e rua e whai ake nei hei whakaputa i nga tioata carbide silicon:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(s)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Tikanga PVT ki te whakatipu SiC arai hangarau taputapu tipu tioata

I tenei wa, ko te whakamahana whakauru he huarahi hangarau noa mo te tikanga PVT SiC nga oumu tipu karaihe;

Coil whakawera arataki waho me te whakamahana ātete kauwhata ko te ahunga whanaketanga oKiriata SiCoumu tipu.

5. 8-inihi SiC induction whakawera tipu oumu

(1) Whakawera i tegraphite crucible huānga whakawerana roto i te uruhanga papa autō; te whakarite i te waahi mahana ma te whakatika i te mana whakawera, te tuunga porowhita, me te hanganga whakamaarama;

(2) Te whakamahana i te graphite crucible na roto i te whakamahana aatete kauwhata me te kawe iraruke waiariki; te whakahaere i te waahi mahana ma te whakatika i te waa o te whakamahana graphite, te hanganga o te whakamahana, me te mana whakahaere o naianei;