Ko te hangarau Photolithography e aro nui ana ki te whakamahi i nga punaha whatu hei whakaatu i nga tauira ara iahiko i runga i nga angiangi silicon. Ko te tika o tenei tukanga ka pa tika ki te mahi me te tuku o nga iahiko whakauru. Ko tetahi o nga taputapu pai rawa atu mo te hanga maramara, kei roto i te miihini lithography ki nga rau mano nga waahanga. Ko nga waahanga whatu me nga waahanga kei roto i te punaha lithography e hiahia ana kia tino tika te mahi iahiko me te tika.SiC ukukua whakamahia i roto ichucks angiangime nga whakaata tapawha uku.
Wafer chuckKa mau te wafer chuck i roto i te miihini lithography me te whakakorikori i te angiangi i te wa e mahi ana. He mea nui kia tika te hangai i te tauira i runga i te mata o te angiangi me te tirohanga tika i waenga i te angiangi me te karaka.Angiangi SiCE mohiotia ana nga karaka mo te maamaa, te pumau o te taha teitei me te iti o te whakareatanga whakareatanga waiariki, ka taea te whakaiti i nga kawenga koretake me te pai ake o te nekehanga, te tika o te tuunga me te pumau.
Te whakaata tapawha uku I roto i te miihini tuhi, he mea nui te tukutahi motini i waenga i te wafer chuck me te atamira kanohi kanohi, e pa ana ki te tika o te lithography me te tuku. Ko te whakaataata tapawha tetahi waahanga nui o te punaha inenga urupare tuunga mo te wafer chuck scanning, a he maamaa, he uaua hoki ana whakaritenga. Ahakoa he tino maamaa nga karamu karamu hiraka, he uaua te hanga i enei waahanga. I tenei wa, ko nga kaihanga taputapu arahiko whakauru o te ao te nuinga o te whakamahi i nga taonga penei i te silica me te cordierite. Heoi, i runga i te ahunga whakamua o te hangarau, kua tutuki nga tohunga Hainamana ki te hanga i te rahi-rahi, te ahua uaua, te tino maamaa, te whakakii i nga whakaata tapawha karaima karaima silicon carbide me etahi atu waahanga whatu mahi mo nga miihini whakaahua. Ko te photomask, e mohiotia ana ko te aperture, ka tuku marama i roto i te kanohi ki te hanga i tetahi tauira i runga i te papanga whakaahua. Heoi, ka whiti te rama EUV i te kanohi, ka puta te wera, ka piki ake te pāmahana ki te 600 ki te 1000 nga nekehanga Celsius, tera pea ka pakaru te wera. Na reira, he paparanga o te kiriata SiC te nuinga o te wa ka tukuna ki runga i te whakaahua. He maha nga kamupene kee, penei i te ASML, kei te tuku kiriata me te whakawhiti neke atu i te 90% ki te whakaiti i te horoi me te tirotiro i te wa e whakamahia ana te whakaahua whakaahua me te whakapai ake i te pai me te hua o nga miihini whakaahua whakaahua EUV.
Te Whakapaipai Plasmame te Deposition Photomasks, e mohiotia ana ko nga crosshairs, ko te mahi matua ki te tuku marama i roto i te kanohi kanohi me te hanga tauira i runga i te papanga whakaahua. Heoi, ka whiti te rama EUV (tawhiti ultraviolet tino) i te whakaahua, ka puta te wera, ka piki ake te pāmahana ki waenga i te 600 ki te 1000 nga nekehanga Celsius, tera pea ka pakaru te wera. Na reira, he paparanga o te kiriata carbide silicon (SiC) te nuinga o te wa ka tukuna ki runga i te whakaahua hei whakamaarama i tenei raru. I tenei wa, he maha nga kamupene kee, penei i te ASML, kua timata ki te whakarato i nga kiriata me te marama o te neke atu i te 90% ki te whakaiti i te hiahia mo te horoi me te tirotiro i te wa e whakamahia ana te whakaahua whakaahua, na reira ka pai ake te pai me te hua o nga hua o nga miihini miihini EUV. . Plasma Etching meRinga Arotahi Depositionme etahi atu I roto i te hanga semiconductor, ka whakamahia e te tukanga tarai te wai, te hau etchants (pēnei i te hau fluorine-kei) katote ki roto i te plasma ki te pupuhi i te angiangi me te tango i nga mea e kore e hiahiatia kia mau tonu te tauira ara iahiko e hiahiatia ana i runga i te.angiangimata. He rerekee, he rite te whakatakotoranga kiriata angiangi ki te taha whakamuri o te tarai, ma te whakamahi i te tikanga tukunga hei whakarangatira i nga rawa whakaraerae i waenga i nga papa whakarewa hei hanga kiriata angiangi. I te mea ka whakamahi nga tikanga e rua i te hangarau plasma, he pai ki nga paanga kino ki nga ruma me nga waahanga. Na reira, ko nga waahanga kei roto i nga taputapu e hiahiatia ana kia pai te parenga plasma, he iti te tauhohenga ki nga hau etch fluorine, me te iti o te kawe. Ko nga waahanga taputapu tarai me te tukunga tuku iho, penei i nga mowhiti arotahi, he mea hanga mai i nga taonga penei i te silicon, quartz ranei. Heoi, na te ahunga whakamua o te whakahiatotanga iti o te ara iahiko, kei te piki haere te tono me te hiranga o nga tikanga tarai i roto i nga mahi whakahiato hiko. I te taumata moroiti, ko te hangahanga angiangi silicon tika me hiahia te plasma kaha-nui hei whakatutuki i nga whanui raina iti me nga hanganga taputapu uaua ake. Na reira, ko te waipara kohu matū (CVD) silicon carbide (SiC) kua tino pai ki te whakakikorua i nga taputapu mo te tarai me nga taputapu waipara me ona ahuatanga tinana me te matū tino pai, he maamaa me te riterite. I tenei wa, ko nga waahanga carbide silicon CVD i roto i nga taputapu tarai ko nga mowhiti arotahi, nga upoko ua hau, nga papa me nga mowhiti taha. I roto i nga taputapu waipara, kei reira nga uhi o nga ruma, nga raina ruma me ngaNga taputapu kauwhata whakakikoruatia SIC.
Na te iti o te tauhohenga me te kawe ki te hauwai maota me te fluorine.CVD silicon carbidekua waiho hei rauemi pai mo nga waahanga penei i nga mowhiti arotahi i roto i nga taputapu tarai plasma.CVD silicon carbideKo nga waahanga kei roto i nga taputapu tarai ko nga mowhiti arotahi, nga upoko ua hau, nga paepae, nga mowhiti tapa, me era atu. Hei tauira, ko nga mowhiti arotahi, he waahanga matua kei waho o te angiangi me te whakapiri tika ki te angiangi. Ma te whakamahi i te ngaohiko ki te mowhiti, ka arotahi te plasma i roto i te mowhiti ki runga i te angiangi, te whakapai ake i te rite o te tukanga. I nga wa o mua, ko nga mowhiti arotahi he mea hanga ki te silicon, ki te kiripaka ranei. Heoi, i te mea kei te ahu whakamua te iti o te ara iahiko whakauru, kei te piki haere tonu te tono me te hiranga o nga mahi tarai i roto i nga mahi whakangao hiko whakauru. Kei te piki haere tonu te kaha o te raima me nga whakaritenga hiko, ina koa i roto i nga taputapu tarai plasma (CCP) honohono, me nui ake te kaha plasma. Ko te mutunga mai, kei te piki haere te whakamahi i nga mowhiti arotahi i hangaia mai i nga rauemi carbide silicon.
Te wa tuku: Oketopa-29-2024