WaferKo te tapahi tetahi o nga hononga nui i roto i te whakaputa hiko hiko. I hangaia tenei taahiraa hei wehe tika i nga iahiko whakauru takitahi, maramara ranei mai i nga angiangi semiconductor.
Ko te matua kiangiangiko te tapahi he kaha ki te wehe i nga maramara takitahi me te whakarite kia mau nga hanganga ngawari me nga iahiko ki rotoangiangikaore e pakaru. Ko te angitu me te kore o te tukanga tapahi e pa ana ki te kounga o te wehenga me te hua o te maramara, engari e pa ana ki te pai o te tukanga whakaputa katoa.
▲E toru nga momo tapahi angiangi noa | Puna: KLA CHINA
I tenei wa, ko te mea noaangiangiKua wehea nga tukanga tapahi ki:
Te tapahi mata: he iti te utu, ka whakamahia mo te matotoruangiangi
Tapahi taiaho: utu nui, te tikanga whakamahia mo te angiangi ki te matotoru o neke atu i te 30μm
Te tapahi Plasma: te utu nui, te nui o nga here, ka whakamahia mo nga wafers me te matotoru o te iti iho i te 30μm
Te tapahi mata miihini
Ko te tapahi mata he tukanga tapahi i te taha o te raina kaituhi ma te kopae hurihuri hurihuri tere (mata). I te nuinga o te wa ka mahia te mata ki te taimana abrasive, ultra-aniangi ranei, e tika ana mo te tapahi me te haehae i nga angiangi silicon. Heoi, hei tikanga tapahi miihini, ka whakawhirinaki te tapahi mata ki te tango i nga rawa o te tinana, ka ngawari ki te pakaru, ki te pakaru ranei o te mata maramara, na reira ka pa ki te kounga o te hua me te whakaiti i nga hua.
Ko te kounga o te hua whakamutunga ka puta mai i te mahi kanihini miihini e pa ana ki nga tawhā maha, tae atu ki te tere tapahi, te matotoru o te mata, te diameter o te mata, me te tere hurihanga mata.
Ko te tapatapahi tonu te tikanga tapahi mata mata, e tino tapahi ana i te mea mahi ma te tapahi ki tetahi rawa mau (penei i te riipene tapatapahi).
▲ Tapahia te mata miihini - tapahi katoa | Whatunga puna whakaahua
Ko te haurua tapahi he tikanga tukatuka e whakaputa ana i te riu ma te tapahi ki waenganui o te taputapu mahi. Ma te mahi tonu i te tukanga haehae, ka taea te hanga i nga tohu heru me te ahua ngira.
▲ Tapahia te mata miihini - haurua tapahia | Whatunga puna whakaahua
Ko te tapahi takirua he tikanga tukatuka e whakamahi ana i te kani tapatapahi rua me nga miro e rua hei tapahi katoa, haurua ranei ki nga raina whakaputa e rua i te wa kotahi. E rua nga toki porowhita o te kani tapatapahi. Ka taea te whakatutuki i te waahanga nui ma tenei tukanga.
▲ Tapahanga mata-rua tapahi miihini | Whatunga puna whakaahua
Ko te tapahanga taahiraa e whakamahi ana i te kani tapatapahi rua me nga miro e rua hei tapahi i te katoa me te haurua i nga waahanga e rua. Whakamahia nga matatahi mo te tapahi i te paparanga waea i runga i te mata o te angiangi me nga matatahi mo te toenga o te kirikiri kiriata kotahi hei whakatutuki i te tukatuka kounga teitei.
▲ Te tapahi mata miihini – tapahi taahiraa | Whatunga puna whakaahua
Ko te tapahi Bevel he tikanga tukatuka e whakamahi ana i te mata me te mata ahua-V i runga i te tapa hawhe-tapahi hei tapahi i te angiangi i roto i nga waahanga e rua i te wa o te tapahi taahiraa. Ka mahia te tukanga chamfering i te wa o te tapahi. Na reira, ka taea te whakatutuki i te kaha o te pokepokea ai me te tukatuka kounga teitei.
▲ Te tapahi mata miihini – tapahi bevel | Whatunga puna whakaahua
Te tapahi taiaho
Ko te tapahi taiaho he hangarau tapahi angiangi kore whakapā e whakamahi ana i te kurupae laser arotahi hei wehe i nga maramara takitahi mai i nga angiangi semiconductor. Ko te kurupae taiaho kaha-kaha e arotahi ana ki te mata o te angiangi, ka whakaeto, ka tango ranei i nga rawa i te taha o te raina tapahi kua tohua ma te whakakore, te whakamaarama waiariki ranei.
▲ Hoahoa tapahi taiaho | Puna whakaahua: KLA CHINA
Ko nga momo laser e whakamahia nuitia ana i tenei wa ko nga laser ultraviolet, laser infrared, me nga laser femtosecond. I roto ia ratou, he maha nga wa e whakamahia ana nga lasers ultraviolet mo te whakakore i te makariri na te nui o te kaha o te photon, a he iti rawa te rohe e pa ana ki te wera, ka taea te whakaiti i te tupono o te kino o te waiariki ki te angiangi me ona maramara a tawhio noa. Ko nga laser infrared he pai ake mo nga angiangi matotoru na te mea ka taea te kuhu hohonu ki roto i nga rawa. Ka whakatutukihia e nga laser Femtosecond te tino tika me te pai o te tango i nga rawa me te iti o te whakawhiti wera ma roto i nga pupuhi marama poto.
Ko te tapahi taiaho he painga nui ki te tapahi mata mata. Tuatahi, i te mea he tukanga kore-whakapā, ko te tapahi laser e kore e hiahiatia te pehanga tinana ki runga i te angiangi, te whakaiti i te pakaruhanga me nga raruraru pakaru noa i roto i te tapahi miihini. Ko tenei ahuatanga ka tino pai te tapahi taiaho mo te tukatuka i nga angiangi ngoikore, tino angiangi ranei, ina koa ko nga hanganga uaua me nga ahuatanga pai.
▲ Hoahoa tapahi taiaho | Whatunga puna whakaahua
I tua atu, ko te tino tika me te tika o te tapahi laser ka taea e ia te arotahi i te kurupae laser ki te rahi o te waahi iti, te tautoko i nga tauira tapahi uaua, me te whakatutuki i te wehenga o te mokowhiti iti i waenga i nga maramara. He mea nui tenei ahuatanga mo nga taputapu semiconductor matatau me te iti o te rahi.
Heoi ano, ko te tapahi laser he herenga ano. Ka whakatauritea ki te tapahi mata, he puhoi me te utu nui ake, ina koa i roto i te hanga nui. I tua atu, ko te whiriwhiri i te momo laser tika me te arotau i nga tawhā ki te whakarite kia pai te tango rauemi me te waahi iti e pa ana ki te wera ka taea te wero mo etahi rawa me te matotoru.
Te tapahi ablation taiaho
I te wa o te tapahi ablation laser, ka arotahi te kurupae laser ki runga i te waahi kua tohua i runga i te mata o te angiangi, a ka arahina te kaha o te laser ki runga i te tauira tapahi kua whakaritea, ka tapahi haere i te wafer ki raro. I runga i nga whakaritenga tapahi, ka mahia tenei mahi ma te whakamahi i te laser pupuhi, te laser ngaru tonu ranei. Hei aukati i te kino o te angiangi na te nui o te whakamahana o te taiaho o te rohe, ka whakamahia te wai whakamatao ki te whakamatao me te tiaki i te angiangi mai i te kino o te waiariki. I te wa ano, ka taea e te wai whakamahana te tango i nga matūriki i hangaia i te wa o te tapahi, te aukati i te poke me te whakarite i te kounga tapahi.
Te tapahi kore e kitea
Ka taea hoki te arotahi te laser ki te whakawhiti i te wera ki roto i te tinana matua o te angiangi, he tikanga e kiia ana ko "te tapahi laser kore e kitea". Mo tenei tikanga, ko te wera mai i te laser ka hanga he waahi i roto i nga huarahi kaituhi. Ko enei waahi ngoikore ka tutuki i te ahua o te urunga ma te pakaru i te wa e toro ana te angiangi.
▲ Te tukanga matua o te tapahi kore e kitea
Ko te tukanga tapahi e kore e kitea ko te tukanga laser absorption o roto, kaua ki te ablation laser kei te waahi te laser ki runga i te mata. Ma te tapahi e kore e kitea, ka whakamahia te hiko kurupae taiaho me te roangaru he ahua-marama ki te papanga angiangi. Ka wehewehea te tukanga ki nga waahanga matua e rua, ko tetahi he mahinga laser-a-ringa, ko tetahi atu he tukanga wehenga miihini.
▲Ka hangaia e te kurupae laser he pupuhi i raro i te mata angiangi, a kaore nga taha o mua me muri e pa ana | Whatunga puna whakaahua
I te taahiraa tuatahi, i te wa e tirotirohia ana e te kurupae laser te angiangi, ka arotahi te kurupae laser ki tetahi waahi motuhake i roto i te wafer, ka hanga he waahi pakaru i roto. Ko te kaha o te kurupae ka puta he raupapa kapiti ki roto, kaore ano kia toro atu ki te matotoru katoa o te angiangi ki runga me raro.
▲Whakatauritenga o 100μm matotoru angiangi silicon tapahia e te tikanga mata me te taiaho tikanga tapahi kitea | Whatunga puna whakaahua
I te taahiraa tuarua, ko te riipene maramara kei raro o te angiangi ka whakawhänui-a-tinana, ka puta te ahotea ki roto i nga kapiti o roto o te angiangi, ka uru ki roto i te tukanga laser i te taahiraa tuatahi. Ma tenei taumahatanga ka toro poutū nga kapiti ki te mata o runga me raro o te angiangi, ka wehea te angiangi hei maramara i te taha o enei pito tapahi. I roto i te tapahi e kore e kitea, ka whakamahia te haurua haurua, te haurua-taha-raro ranei ki te wehe i nga angiangi ki te maramara maramara ranei.
Ko nga painga nui o te tapahi laser e kore e kitea i runga i te ablation laser:
• Kaore e hiahiatia he whakamahana
• Karekau he para i hangaia
• Karekau he waahi e pa ana ki te wera ka pakaru i nga iahiko tairongo
Te tapahi plasma
Ko te tapahi Plasma (e mohiotia ana ko te plasma etching or dry dry etching) he hangarau tapahi angiangi e whakamahi ana i te reactive ion etching (RIE), deep reactive ion etching (DRIE) ranei hei wehe i nga maramara takitahi mai i nga wafers semiconductor. Ka taea e te hangarau te tapahi ma te tango matū i nga mea i runga i nga raina tapahi kua whakaritea ma te whakamahi plasma.
I roto i te tukanga tapahi plasma, ka whakanohoia te wafer semiconductor ki roto i te ruma korehau, ka whakauruhia he ranunga hau reactive whakahaere ki roto i te ruma, ka whakamahia he waahi hiko ki te whakaputa i te plasma kei roto i te nui o te kaha o nga katote urupare me nga rauropi. Ka pahekoheko enei momo tauhohenga ki te papanga angiangi me te tango i nga mea angiangi i te taha o te rarangi kaituhi ma te whakakotahitanga o te tauhohenga matū me te pupuhi tinana.
Ko te painga nui o te tapahi plasma ko te whakaiti i te ahotea miihini i runga i te angiangi me te maramara me te whakaheke i te kino ka puta mai i te pa ki te tinana. Heoi, he uaua ake te mahi nei me te pau i te waa atu i etahi atu tikanga, ina koa ka pa ki nga angiangi matotoru me nga rawa e kaha ana te atete ki te tarai, na reira he iti noa tana tono ki te hanga papatipu.
▲Kupenga puna whakaahua
I roto i te hanga semiconductor, me whiriwhiri te tikanga tapahi angiangi i runga i te maha o nga mea, tae atu ki nga taonga angiangi, te rahi o te maramara me te ahuahanga, te tika me te tika, me te utu o te whakaputa me te whai hua.
Te wa tuku: Sep-20-2024