Nau mai ki to maatau paetukutuku mo nga korero hua me te korerorero.
To tatou paetukutuku:https://www.vet-china.com/
Waiwai o te Poly me te SiO2:
Whai muri i tenei, ka taraihia te taikaha o te Poly me te SiO2, ara, ka tangohia. I tenei wa, arongawhakairoka whakamahia. I roto i te whakarōpūtanga o te weriweri, he whakarōpūtanga o te hakihaki aronga me te haki-kore. E tohu ana te tuhi aronga kiwhakairoi roto i tetahi huarahi, i te mea ko te tuhi-kore-a-ringa he kore-aronga (he nui rawa taku korero. Hei poto, ko te tango i te SiO2 i tetahi huarahi ma roto i nga waikawa me nga turanga motuhake). I roto i tenei tauira, ka whakamahia e matou te tohu whakararo ki te tango SiO2, ka penei.
Hei whakamutunga, tangohia te photoresist. I tenei wa, ko te tikanga mo te tango i te photoresist ehara i te whakahohe na roto i te irradiation marama kua whakahuahia i runga ake nei, engari na roto i etahi atu tikanga, no te mea kaore e hiahiatia e matou te tautuhi i tetahi rahi motuhake i tenei wa, engari ki te tango i nga whakaahua katoa. Ka mutu, ka rite ki te ahua e whai ake nei.
I tenei ara, kua tutuki i a maatau te kaupapa o te pupuri i te waahi motuhake o te Poly SiO2.
Te hanganga o te puna me te wairere:
Ka mutu, me whakaaro tatou me pehea te hanga o te puna me te awaawa. Kei te maumahara tonu te katoa i korerohia e matou i te putanga o mua. Ko te puna me te awaawa he mea whakato-katote ki te ahua o nga huānga. I tenei wa, ka taea e tatou te whakamahi i te photoresist ki te whakatuwhera i te waahi puna / puna e tika ana kia whakauruhia te momo N. I te mea ka tango noa matou i te NMOS hei tauira, ka whakatuwherahia nga waahanga katoa o te ahua o runga ake nei, penei i te ahua e whai ake nei.
I te mea kaore e taea te whakauru i te waahanga e hipokina ana e te photoresist (kua aukatihia te rama), ka whakauruhia nga huānga momo-N ki runga i te NMOS e hiahiatia ana. I te mea ka purua te tïpako i raro i te poly e te poly me te SiO2, e kore e whakatōkia, na ka penei.
I tenei wa, kua hangaia he tauira MOS ngawari. I roto i te ariā, ki te taapirihia te ngaohiko ki te puna, te awaawa, te poly me te tïpako, ka taea e tenei MOS te mahi, engari e kore e taea e taatau te tango i te tirotiro me te taapiri tika i te ngaohiko ki te puna me te whakaheke. I tenei wa, ka hiahiatia nga waea MOS, ara, i runga i tenei MOS, hono nga waea ki te hono i nga MOS maha. Kia titiro tatou ki te tukanga waea.
Hanga VIA:
Ko te mahi tuatahi ko te uhi i te katoa o te MOS me tetahi paparanga SiO2, penei i te ahua i raro nei:
Ko te tikanga, ko tenei SiO2 ka hangaia e te CVD, no te mea he tino tere me te whakaora i te wa. Ko te tikanga e whai ake nei mo te whakatakoto photoresist me te whakaatu. I muri i te mutunga, he penei te ahua.
Na ka whakamahi i te tikanga tarai ki te tarai i tetahi kohao i runga i te SiO2, penei i te waahanga hina i te ahua i raro nei. Ko te hohonutanga o tenei poka ka pa atu ki te mata o te Si.
Hei whakamutunga, tangohia te photoresist ka whiwhi i te ahua e whai ake nei.
I tenei wa, ko te mea me mahi ko te whakakii i te kaikawe i roto i tenei poka. He aha tenei kaikawe? He rereke nga kamupene katoa, ko te nuinga he koranu tungsten, na me pehea e whakakiia ai tenei poka? Ka whakamahia te tikanga PVD (Physical Vapor Deposition), a he rite te kaupapa ki te ahua i raro nei.
Whakamahia nga irahiko kaha-nui, katote ranei ki te pupuhi i te taonga i whaaia, ka taka ki raro te ahua o te ngota, na reira ka hanga te paninga o raro. Ko nga mea e kitea ana e tatou i roto i nga purongo e pa ana ki nga mea i whaaia i konei.
I muri i te whakaki i te poka, ka penei te ahua.
Ko te tikanga, ka whakakiia e matou, kaore e taea te whakahaere i te matotoru o te paninga kia rite ki te hohonu o te poka, na reira ka nui ake, na reira ka whakamahia e matou te hangarau CMP (Chemical Mechanical Polishing), he tino tangi. teitei-mutunga, engari he tino huri, e huri ana i nga wahi taikaha. He penei te hua.
I tenei wa, kua oti i a matou te hanga i tetahi paparanga o te via. Ko te tikanga, ko te hanga o te ma te nuinga mo te waea o te paparanga whakarewa kei muri.
Te hanga paparanga whakarewa:
I raro i nga tikanga o runga ake nei, ka whakamahia e matou te PVD ki te whakaheke i tetahi atu paparanga whakarewa. Ko te nuinga o tenei whakarewa he koranu parahi.
Na i muri i te whakaaturanga me te tarai, ka whiwhi tatou i ta tatou e hiahia ana. Na ka haere tonu ki te whakaemi kia tutuki ra ano o tatou hiahia.
Ina tohia e matou te tahora, ka korero atu matou ki a koe e hia nga paparanga whakarewa me te mahi ka taea te whakahiato i te nuinga, ko te tikanga e hia nga paparanga ka taea te tapae.
Ka mutu, ka whiwhi tatou i tenei hanganga. Ko te papa o runga ko te titi o tenei maramara, a, i muri i te kapi, ka noho ko te titi ka kitea e tatou (ko te tikanga, i toia matapōkeretia e au, karekau he hiranga mahi, hei tauira noa).
Ko te tikanga whanui tenei mo te hanga maramara. I roto i tenei putanga, i ako matou mo nga korero tino nui, te tarai, te whakauru katote, ngongo oumu, te CVD, te PVD, te CMP, me etahi atu i roto i te hangahanga semiconductor.
Te wa tuku: Akuhata-23-2024