Te rere tukanga Semiconductor

Ka taea e koe te mohio ahakoa kaore koe i ako i te ahupūngao, i te pangarau ranei, engari he mea ngawari rawa, he pai hoki mo te hunga timata. Mena kei te hiahia koe ki te mohio atu mo te CMOS, me panui koe i nga korero o tenei take, no te mea i muri i te mohio ki te rere o te tukanga (ara, te tukanga whakaputa o te diode) ka taea e koe te mohio tonu ki nga korero e whai ake nei. Na kia ako tatou mo te hanga o tenei CMOS i roto i te kamupene hangahanga i roto i tenei putanga (te tango i nga mahi kore-arahi hei tauira, he rereke te CMOS o te tukanga matatau i roto i te hanganga me te kaupapa whakaputa).

Tuatahi, me mohio koe ko nga angiangi ka riro mai i te kaihanga mai i te kaiwhakarato (angiangi hirakahe kaiwhakarato) takitahi, me te radius 200mm (8-inihiwheketere) 300mm ranei (12-inihiwheketere). Ka rite ki te ahua i raro nei, he rite tonu ki te keke nui, e kiia nei he taputapu.

Heoi, ehara i te mea pai kia penei ta tatou titiro. Ka titiro mai i raro ki runga ka titiro ki te tirohanga whiti, ka riro ko te ahua e whai ake nei.

I muri mai, kia kite tatou i te ahua o te tauira CMOS. I te mea e hia mano nga hikoi te mahi, ka korero ahau mo nga hikoinga matua o te angiangi 8-inihi ngawari ki konei.

 

 

Te Whakapaipai me te Papa Hurorirori:

Arā, ka whakatōhia te puna ki roto i te tïpako ma te whakauru katote (Ion Implantation, ka kiia i muri nei ko te imp). Mena kei te hiahia koe ki te hanga NMOS, me whakauru koe i nga puna P-momo. Mena kei te hiahia koe ki te hanga PMOS, me whakauru koe i nga puna momo-N. Mo to waimarie, me tango a NMOS hei tauira. Ko te miihini whakauru katote ka whakatohia nga huānga P-momo kia whakauruhia ki roto i te tïpako ki te hohonutanga motuhake, katahi ka whakamahana i te wera nui i roto i te ngongo oumu hei whakahohe i enei katote me te whakamaarama huri noa. Ka oti te hanga o te puna. Ko te ahua tenei i muri i te otinga o te mahi.

I muri i te hanga i te puna, tera ano etahi atu waahanga whakaurunga katote, ko te kaupapa ko te whakahaere i te rahi o te hongere o naianei me te ngaohiko paepae. Ka taea e te katoa te karanga ko te paparanga hurihuri. Mena kei te hiahia koe ki te hanga NMOS, ka whakauruhia te paparanga hurihuri ki nga momo katote P, a, ki te hiahia koe ki te hanga PMOS, ka whakauruhia te paparanga hurihuri ki nga katote momo-N. I muri i te whakatō, ko te tauira e whai ake nei.

He nui nga korero kei konei, penei i te kaha, te koki, te kukū o te katote i te wa o te whakaurunga o te katote, aha atu, karekau i uru ki roto i tenei putanga, a, ki taku mohio ki te mohio koe ki aua mea, me noho koe hei tangata whakaroto, a ko koe. me whai huarahi ki te ako i a raatau.

 

Hanga SiO2:

Ko te Silicon dioxide (SiO2, ka kiia i muri nei ko te waikura) ka mahia i muri mai. I roto i te tukanga whakaputa CMOS, he maha nga huarahi ki te hanga waikura. I konei, ka whakamahia te SiO2 i raro i te kuaha, a, ko tona matotoru ka pa ki te rahi o te ngaohiko paepae me te rahi o te awaawa. Na reira, ko te nuinga o nga kaitarai e whiriwhiri ana i te tikanga whakangao ngongo oumu me te kounga teitei, te mana matotoru tino tika, me te pai o te rite i tenei taahiraa. Inaa, he tino ngawari, ara, i roto i te ngongo oumu me te hāora, ka whakamahia te pāmahana teitei hei tuku i te hāora me te silicon ki te tauhohe matū ki te whakaputa SiO2. I tenei ara, ka hangaia he papa angiangi o SiO2 i runga i te mata o Si, penei i te ahua i raro nei.

Ae ra, he maha ano nga korero motuhake i konei, penei i te maha o nga tohu e hiahiatia ana, te nui o te kukū o te hāora e hiahiatia ana, te roa o te pāmahana teitei e hiahiatia ana, aha atu. motuhake rawa.

Te hanga o te kuaha mutunga Poly:

Engari kaore ano kia mutu. He rite noa te SiO2 ki te miro, a, ko te keti tuturu (Poly) kaore ano kia timata. Na ko ta maatau mahi e whai ake nei ko te whakatakoto i tetahi paparanga polysilicon ki runga i te SiO2 (he mea tito ano te polysilicon o te huānga silicon kotahi, engari he rereke te whakatakotoranga o te kupenga. Kaua e patai mai he aha te taputapu e whakamahi ana i te silicon karaihe kotahi ka whakamahi te kuaha polysilicon. he pukapuka e kiia nei ko Semiconductor Physics Ka taea e koe te ako mo taua mea. He hononga tino nui ano te Poly i roto i te CMOS, engari ko te waahanga o te poly ko Si, a kaore e taea te hanga ma te tauhohenga tika me te taputapu Si penei i te tipu SiO2. Me whai te CVD rongonui (Chemical Vapor Deposition), he tauhohe matū i roto i te korehau me te whakaheke i te ahanoa i hangaia i runga i te angiangi. I roto i tenei tauira, he polysilicon te matū i hangaia, katahi ka heke ki runga i te angiangi (i konei me kii ahau he mea hanga te poly i roto i te ngongo oumu e CVD, no reira karekau e mahia te whakatipu poly e te miihini CVD parakore).

Engari ko te polysilicon i hangaia e tenei tikanga ka heke ki runga i te angiangi katoa, ka penei te ahua i muri i te rerenga.

 

Putanga o te Poly me te SiO2:

I tenei taahiraa, ko te hanganga poutū e hiahia ana matou kua tino hanga, he poly ki runga, SiO2 ki raro, me te tïpako ki raro. Inaianei kua penei te ahua o te angiangi katoa, a ka hiahia noa tatou ki tetahi tuunga motuhake hei hanga "korere". Na ko te waahanga tino nui i roto i te tukanga katoa - te whakaatu.
I te tuatahi ka horahia e matou he paparanga photoresist ki runga i te mata o te angiangi, ka penei.

Kātahi ka makahia te kopare kua tautuhia (kua tautuhia te tauira ara iahiko ki runga i te kanohi) ki runga, ka mutu ka whiti ki te marama o te roangaru motuhake. Ka whakahohehia te photoresist i roto i te waahi ira. I te mea ko te waahi e aukatihia ana e te kanohi kaore i te whakamaramahia e te puna marama, kaore tenei waahanga photoresist e whakahohe.

I te mea ko te photoresist kua whakahohehia he tino ngawari ki te horoi atu e tetahi wai matū motuhake, i te mea kaore e taea te horoi atu i te photoresist kaore e taea te horoi, i muri i te whakamaaramatanga, ka whakamahia he wai motuhake hei horoi i te photoresist whakahohe, ka mutu ka penei, ka waiho te photoresist te wahi e hiahia ana ki te pupuri i te Poly me te SiO2, me te tango i te photoresist te wahi e kore e hiahiatia kia mau.