Ko nga turanga kauwhata kua whakakikoruatia ki te SiC e whakamahia ana hei tautoko me te whakamahana i nga taputapu karaihe kotahi i roto i nga taputapu whakangao matū matū-organic (MOCVD). Ko te pumau o te waiariki, te riterite o te waiariki me etahi atu tawhā mahi o te turanga kauwhata whakakikoruatia SiC ka whai waahi nui ki te kounga o te tipu o nga rawa epitaxial, na reira ko te waahanga matua o nga taputapu MOCVD.
I roto i te mahi hanga angiangi, ka hangaia ano nga paparanga epitaxial ki runga i etahi taputapu angiangi hei whakangawari i te hanga taputapu. Me whakarite nga taputapu whakamarama-a-rama ki te whakarite i nga paparanga epitaxial o GaA i runga i nga taputapu silicon; Ka tipuhia te paparanga epitaxial SiC i runga i te taputapu SiC conductive mo te hanga o nga taputapu penei i te SBD, MOSFET, me etahi atu, mo te ngaohiko teitei, te teitei o te waa me etahi atu tono mana; Ka hangaia te paparanga epitaxial GaN i runga i te tïpako SiC kua whakawetohia hei hanga ake i te HEMT me etahi atu taputapu mo nga tono RF penei i te whakawhitiwhiti korero. Ko tenei tukanga kaore e taea te wehe mai i nga taputapu CVD.
I roto i nga taputapu CVD, kaore e taea te whakanoho tika i te taputapu ki runga i te whakarewa, ki te whakanoho noa ranei ki runga i te turanga mo te whakahekenga epitaxial, na te mea ko te rere o te hau (whakapae, poutū), te pāmahana, te pehanga, te whakatika, te whakahekenga o nga poke me etahi atu waahanga o te. nga take awe. Na reira, me whakamahi he turanga, katahi ka tuu te tïpako ki runga i te kopae, katahi ka whakamahi i te hangarau CVD ki te whakatakotoranga epitaxial i runga i te tïpako, ko te turanga kauwhata kua pania a SiC (e mohiotia ana ko te paepae).
Ko nga turanga kauwhata kua whakakikoruatia ki te SiC e whakamahia ana hei tautoko me te whakamahana i nga taputapu karaihe kotahi i roto i nga taputapu whakangao matū matū-organic (MOCVD). Ko te pumau o te waiariki, te riterite o te waiariki me etahi atu tawhā mahi o te turanga kauwhata whakakikoruatia SiC ka whai waahi nui ki te kounga o te tipu o nga rawa epitaxial, na reira ko te waahanga matua o nga taputapu MOCVD.
Ko te whakangao matū matū-organic (MOCVD) te hangarau auraki mo te tipu epitaxial o nga kiriata GaN i te puru puru. Kei a ia nga painga o te mahi ngawari, te tere o te tipu me te maamaa o nga kiriata GaN. Hei waahanga nui i roto i te ruma tauhohenga o nga taputapu MOCVD, ko te turanga whanau e whakamahia ana mo te tipu epitaxial kiriata GaN me whai painga ki te aukati teitei o te pāmahana, te kawe waiariki rite, te pai o te matū matū, te kaha o te awangawanga waiariki, me etahi atu. nga tikanga o runga ake nei.
Ko tetahi o nga waahanga matua o nga taputapu MOCVD, ko te turanga graphite ko te kaikawe me te tinana whakawera o te tïpako, e whakatau tika ana i te rite me te ma o te rauemi kiriata, na tona kounga ka pa tika ki te whakarite i te pepa epitaxial, me te mea ano. te wa, me te pikinga o te maha o nga whakamahinga me te whakarereketanga o nga tikanga mahi, he tino ngawari ki te kakahu, no nga kai pau.
Ahakoa he pai te kawe waiariki me te pumau o te graphite, he pai te painga hei waahanga turanga mo nga taputapu MOCVD, engari i roto i te mahi whakaputa, ka pirau te graphite i te paura na te toenga o nga hau kino me nga waro konganuku, me te oranga o te mahi. ka tino heke te turanga kauwhata. I te wa ano, ko te paura kauwhata e hinga ana ka poke te maramara.
Ko te putanga o te hangarau whakakikorua ka taea te whakarite i te paura o te mata, te whakarei ake i te kawe werawera, me te whakaorite i te tohatoha wera, kua noho hei hangarau matua hei whakaoti i tenei raru. Ko te turanga kauwhata i roto i nga taputapu MOCVD e whakamahi ana i te taiao, me tutuki te paninga mata turanga kauwhata ki nga ahuatanga e whai ake nei:
(1) Ka taea te tino takai i te turanga kauwhata, a he pai te kiato, ki te kore te turanga kauwhata ka ngawari ki te pirau i roto i te hau hau.
(2) He teitei te kaha o te whakakotahitanga me te turanga kauwhata kia kore ai e ngawari te taka o te paninga i muri i te maha o nga huringa pāmahana teitei me te iti o te pāmahana.
(3) He pai te pumau matū hei karo i te kore o te paninga i roto i te pāmahana teitei me te hau kino.
Kei a SiC nga painga o te parenga waikura, te kawe waiariki teitei, te parenga waiariki me te pumau matū nui, ka pai te mahi i roto i te hau epitaxial GaN. I tua atu, he iti rawa te rereke o te whakarea whakareatanga wera o te SiC ki tera o te kauwhata, no reira ko te SiC te mea pai mo te paninga mata o te turanga kauwhata.
I tenei wa, ko te SiC noa te nuinga o te momo 3C, 4H me te 6H, a he rereke nga whakamahinga SiC o nga momo karaihe rereke. Hei tauira, ka taea e 4H-SiC te hanga i nga taputapu hiko teitei; Ko te 6H-SiC te tino pumau, ka taea te hanga i nga taputapu whakaahua hiko; Na tona hanganga rite ki a GaN, ka taea te whakamahi 3C-SiC ki te whakaputa i te paparanga epitaxial GaN me te hanga taputapu SiC-GaN RF. Ko te 3C-SiC e mohiotia ana ko te β-SiC, a ko te whakamahinga nui o te β-SiC he kiriata me te papanga whakakikorua, no reira ko te β-SiC te mea matua mo te paninga.
Wā tuku: Akuhata-04-2023