He rereke mai i nga taputapu motuhake a S1C e whai ana i te ngaohiko teitei, te mana teitei, te auau teitei me nga ahuatanga o te pāmahana teitei, ko te whainga rangahau o te SiC integrated circuit ko te nuinga ki te tiki iahiko mamati teitei mo te hiko hiko ICs mohio. I te mea he iti rawa te ara iahiko whakauru SiC mo te mara hiko o roto, no reira ka tino heke te awe o te koha o te microtubules, koinei te waahanga tuatahi o te maramara whakahiato mahi monolithic SiC kua whakamanahia, ko te tino hua kua oti me te whakatau e te hua he teitei ake. i nga hapa o te microtubules, no reira, i runga i te tauira hua SiC me nga mea Si me CaAs he tino rerekee. Ko te maramara kei runga i te hangarau NMOSFET whakaheke. Ko te take nui he iti rawa te kawe kawe o nga hongere whakamuri SiC MOSFET. Hei whakapai ake i te tere o te mata o Sic, me whakapai ake me te arotau i te tukanga waiariki waiariki o Sic.
He maha nga mahi kua mahia e te Whare Wananga o Purdue i runga i nga iahiko whakauru SiC. I te tau 1992, i pai te whakawhanake i te wheketere i runga i te hongere whakamuri 6H-SIC NMOSFETs monolithic digital integrated circuit. Kei roto i te maramara he keeti, ehara ranei i te keeti, kei runga, i te keeti ranei, te porotiti-rua, me te haurua o nga hikoi taapiri, ka taea te whakahaere tika i te awhe mahana o te 25°C ki te 300°C. I te tau 1995, i hangaia te waka rererangi SiC tuatahi MESFET Ics ma te whakamahi i te hangarau wehenga werohanga vanadium. Ma te whakahaere tika i te nui o te vanadium i werohia, ka taea te whiwhi SiC whakamarumaru.
I roto i nga iahiko arorau mamati, he ataahua ake nga iahiko CMOS i nga iahiko NMOS. I te marama o Hepetema 1996, i hangaia te 6H-SIC CMOS hikohiko whakauru mamati tuatahi. Ka whakamahia e te taputapu te ota-N kua werohia me te paparanga waikura, engari na etahi atu raruraru o te tukanga, he tiketike rawa te ngaohiko paepae PMOSFET maramara. I te Maehe 1997 i te wa e hanga ana te reanga tuarua SiC CMOS iahiko. Ko te hangarau o te werohanga mahanga P me te paparanga waiariki tipu waiariki ka whakamahia. Ko te ngaohiko paepae o nga PMOSEFT i whiwhi ma te whakapai ake i te tukanga e pa ana ki te -4.5V. He pai te mahi o nga iahiko katoa i runga i te maramara i te pāmahana rūma tae atu ki te 300°C ka whakakahangia e te hiko hiko kotahi, ka taea ki hea mai i te 5 ki te 15V.
Na te pai ake o te kounga angiangi o te tïpako, ka nui ake te mahi me te nui ake o te hua o nga iahiko whakauru. Heoi, ka whakatauhia nga raru o te SiC me nga raru tukanga, ko te pono o te taputapu me te kete ka noho hei take matua e pa ana ki te mahi o nga hikoi whakauru SiC-nui.
Wā tuku: Akuhata-23-2022