Kua whakahiatotiakarawhiu carbide (RSiC).he arauemi uku teitei-mahi. Na tona tino pai o te pāmahana teitei, te aukati waikura, te aukati waikura me te pakeke nui, kua whakamahia nuitia i roto i nga mara maha, penei i te hangahanga semiconductor, te ahumahi photovoltaic, nga oumu teitei me nga taputapu matū. Na te piki haere o te tono mo nga rawa mahi nui i roto i te umanga hou, kei te hohonu haere te rangahau me te whakawhanaketanga o nga karamu karbida silicon rerystallized.
1. Hangarau whakarite onga karamu karamu karaiha
Ko te hangarau whakarite o te rerystallizednga karamu karamuKo te nuinga o nga tikanga e rua: ko te whakakore i te paura me te whakaheke kohu (CVD). I roto i a raatau, ko te tikanga whakamaarama paura ko te whakakorikori i te paura carbide silicon i raro i te taiao teitei o te pāmahana kia hanga ai nga matūriki carbide silicon he hanganga maataki na roto i te whakamaarama me te rerystallization i waenga i nga karepe. Ko te tikanga whakaheke kohu ko te whakatakoto i te carbide silicon ki runga i te mata o te tïpako na roto i te tauhohenga kohu matū i te teitei o te pāmahana, na reira ka hanga he kiriata carbide silicon carbide tino parakore me nga waahanga hanganga. He painga ano enei hangarau e rua. Ko te tikanga horoi paura he pai mo te hanga nui-nui me te utu iti, ka taea e te tikanga whakaheke kohu te whakarato i te maatanga teitei ake me te hangai ake, ka whakamahia nuitia i roto i te mara semiconductor.
2. Nga taonga o tenga karamu karamu karaiha
Ko te ahuatanga tino pai o nga karamu karamu hiraka rerystallized ko tana mahi pai i roto i nga taiao pāmahana teitei. Ko te rewa o tenei rauemi he tiketike ki te 2700 ° C, a he pai te kaha o te miihini i nga waahi teitei. I tua atu, he pai rawa atu hoki te carbide silicon rerystallized i te aukati i te waikura me te aukati waikura, a ka noho pumau i roto i nga taiao matū tino. Na reira, kua whakamahia nuitia nga karamu RSiC i roto i nga mara o nga oumu wera-teitei, nga rauemi whakaahuru teitei, me nga taputapu matū.
I tua atu, ko te carbide silicon rerystallized he nui te kawe wera me te kaha ki te whakahaere i te wera, na te mea he nui te uara tono ki roto.Reactors MOCVDme nga taputapu maimoatanga wera i roto i te hanga angiangi semiconductor. Ko te kaha o te kaha o te waiariki me te awangawanga waiariki e whakarite ana i te mahi pono o nga taputapu i raro i nga ahuatanga tino kino.
3. Nga waahi tono mo nga karamu karamu karaiha
Hangahanga Semiconductor: I roto i te ahumahi semiconductor, ka whakamahia nga karamu carbide silicon rerystallized ki te hanga taputapu me te tautoko i roto i nga reactors MOCVD. Na te kaha o te pāmahana, te aukati waikura, me te kaha o te waiariki, ka taea e nga rauemi RSiC te mau tonu te mahi i roto i nga taiao tauhohenga matū matatini, me te whakarite i te kounga me te hua o nga wafers semiconductor.
Te ahumahi Photovoltaic: I roto i te ahumahi photovoltaic, ka whakamahia te RSiC ki te hanga i te hanganga tautoko o nga taputapu tipu karaihe. I te mea me kawe te tipu o te karaihe i te pāmahana teitei i te wa o te hangahanga o nga pūtau photovoltaic, ko te parenga wera o te carbide silicon rerystallized e whakarite ana i te mahi pumau o nga taputapu.
Nga oumu teitei-nui: Kei te whakamahia nuitia nga karaera RSiC i roto i nga oumu teitei-nui, penei i nga raina me nga waahanga o nga oumu korehau, nga oumu whakarewa me etahi atu taputapu. Ko tana awangawanga waiariki me te aukati i te waiariki ka waiho hei tetahi o nga rawa e kore e taea te whakakapi i roto i nga umanga wera-nui.
4. Te aronga rangahau mo nga karamu karamu hiraka rerystallized
Na te piki haere o te hiahia mo nga rawa mahi teitei, kua marama haere te huarahi rangahau mo nga karamu karamu hiraka rerystallized. Ko nga rangahau a meake nei ka aro ki nga waahanga e whai ake nei:
Te whakapai ake i te parakore o nga rawa: Hei whakatutuki i nga whakaritenga parakore teitei ake i roto i nga mara semiconductor me te photovoltaic, kei te tirotirohia e nga kairangahau nga huarahi hei whakapai ake i te ma o RSiC ma te whakapai ake i te hangarau whakaheke kohu, te whakauru mai ranei i nga rauemi mata hou, na reira ka whakarei ake i tana uara tono ki enei mara hangarau tiketike. .
Te whakapai ake i te hangahanga moroiti: Ma te whakahaere i nga tikanga whakahiato me te tohatoha o nga matūriki paura, ka taea te whakapai ake i te hangahanga moroiti o te carbide silicon rerystallized, na reira ka whakapai ake i ona ahuatanga miihini me te aukati i te awangawanga waiariki.
Rauemi hiato mahi: Hei urutau ki nga taiao whakamahi uaua ake, kei te ngana nga kairangahau ki te whakakotahi i te RSiC me etahi atu rawa ki te whakawhanake i nga rawa hiato me nga momo mahi maha, penei i nga taonga hiato-a-kirikiri-a-kirikiri whakahiato me te kaha ake o te aukati kakahu me te kawe hiko.
5. Whakamutunga
I te mea he rauemi tino mahi, kua whakamahia whanuitia nga karamu karaima silicon carbide i roto i te maha o nga mara na te mea he pai rawa atu o raatau ahuatanga i roto i te pāmahana teitei, te aukati waikura me te aukati waikura. Ko nga rangahau a meake nei ka aro ki te whakapai ake i te parakore o nga rawa, te arotau i te hanganga moroiti me te whakawhanake i nga rawa mahi hiato hei whakatutuki i nga hiahia ahumahi e tipu haere ana. Na roto i enei mahi hangarau, ko te mea ka nui ake te whai waahi o nga karamu karbida silicon rerystallized i roto i nga mara hangarau teitei ake.
Te wa tuku: Oketopa-24-2024