Ko te tukanga taketake oSiCka wehewehea te tipu o te karaihe ki te whakaheke me te pirau o nga rauemi mata i te teitei o te pāmahana, te kawe i nga matū wahanga hau i raro i te mahi o te rōnaki pāmahana, me te tipu o te rerystallization o nga matū wahanga hau i te karaihe purapura. I runga i tenei, ka wehewehea te roto o te parapara ki nga wahanga e toru: te waahi rauemi mata, te ruuma tipu me te karaihe purapura. I tuhia he tauira whaihanga tau i runga i te parenga tuuturuSiCtaputapu tipu tioata kotahi (tirohia te Whakaahua 1). I roto i te tatauranga: te raro o tewharikihe 90 mm te tawhiti atu i te taha o raro o te whakamahana taha, ko te pāmahana o runga o te ipu ko te 2100 ℃, ko te diameter matūriki mata ko te 1000 μm, ko te porosity he 0.6, ko te pehanga tipu he 300 Pa, ko te wa tipu ko te 100 h. . Ko te matotoru PG he 5 mm, ko te diameter he rite ki te diameter o roto o te ipu, a kei te 30 mm i runga ake i te rauemi mata. Ko nga tikanga whakararo, waro, me te rerystallization o te rohe rauemi mata ka whakaarohia i roto i te tataunga, a, kaore e whakaarohia te tauhohenga i waenga i te PG me nga matū wahanga hau. Ko nga tawhā taonga-a-tinana e pa ana ki te tatauranga e whakaatuhia ana i te Ripanga 1.
Whakaatu 1 Tauira tātai whaihanga. (a) He tauira mara ngaariki mo te whakatairite tipu tioata; (b) Te wehewehenga o te rohe o roto o te parapara me nga raru tinana e pa ana
Ripanga 1 Ko etahi tawhā tinana i whakamahia i roto i te tatauranga
Ko te ahua 2(a) e whakaatu ana ko te pāmahana o te hanganga PG-kei roto (e kiia ana ko te hanganga 1) he teitei ake i tera o te hanganga PG-kore (e kiia ana ko te hanganga 0) i raro i te PG, me te iti ake i te hanganga 0 i runga ake i te PG. Ka piki te rōnaki pāmahana whānui, ā, ka mahi a PG hei māngai whakawera wera. E ai ki nga Whakaahua 2(b) me te 2(c), he iti ake te axial me te radial pāmahana rōnaki o te hanganga 1 i roto i te rohe rauemi mata, he nui ake te rite o te tohatoha o te pāmahana, me te whakaotinga o te rauemi. Kaore i rite ki te rohe rawa, ko te Whakaatu 2(c) e whakaatu ana he nui ake te rōnaki pāmahana radial i te karaihe kakano o te hanganga 1, tera pea ka puta mai i nga wahanga rereke o nga momo whakawhiti wera rereke, e awhina ana i te tipu o te karaihe me te atanga convex. . I te Whakaahua 2(d), ko te pāmahana i nga waahi rereke i roto i te parapara e whakaatu ana i te piki haere o te tipu, engari ko te rereketanga o te pāmahana i waenga i te hanganga 0 me te hanganga 1 ka heke haere i roto i te rohe rauemi mata, ka piki haere i roto i te ruma tipu.
Whakaahua 2 Te tohatoha pāmahana me nga huringa i roto i te ipu. (a) Te tohatoha i te pāmahana i roto i te ipu para o te hanganga 0 (maui) me te hanganga 1 (matau) i te 0 haora, wae: ℃; (b) Te tohatoha i te pāmahana ki te raina waenga o te ipu para o te hanganga 0 me te hanganga 1 mai i te raro o te rawa mata ki te karaihe kakano i te 0 haora; (c) Te tohatoha o te pāmahana mai i te pokapū ki te tapa o te ipu para i runga i te mata karaihe kakano (A) me te mata rawa (B), waenganui (C) me raro (D) i te 0 haora, ko te tuaka whakapae r ko te pūtoro karaehe kākano mo A, me te pūtoro horahanga rauemi mata mo B~D; (d) Hurihia te pāmahana i te pokapū o te waahanga o runga (A), te mata rawa (B) me te waenganui (C) o te ruma tipu o te hanganga 0 me te hanganga 1 i te 0, 30, 60, me te 100 haora.
Ko te Whakaaturanga 3 e whakaatu ana i te kawe rawa i nga wa rereke i roto i te parapara o te hanganga 0 me te hanganga 1. Ko te tere o te rere o nga rawa o te wahanga hau i roto i te waahi rawa me te ruuma tipu ka piki me te piki o te waahi, ka ngoikore te kawe taonga i te wa e tipu haere ana te tipu. . E whakaatu ana hoki te Whakaaturanga 3 i raro i nga tikanga whakatairite, ka whakaahua tuatahi te rauemi mata ki te pakitara taha o te parapara, katahi ki raro o te parapara. I tua atu, he rerystallization i runga i te mata o te rauemi mata, me te āta mātotoru rite te tipu haere. Ko nga ahua 4(a) me te 4(b) e whakaatu ana ka heke te rere o nga rawa o roto o te rawa mata i te wa e piki haere ana te tipu, a, ko te tere rere rauemi i te 100 haora he 50% o te wa tuatahi; heoi, he ahua nui te rere o te rere i te taha na runga i te kauwhata o te rauemi mata, a, ko te rere o te rere i te taha he neke atu i te 10 nga wa o te rere o te rere i te takiwa waenganui i te 100 haora; i tua atu, ko te paanga o te PG i roto i te hanganga 1 ka iti ake te rere o nga rauemi i roto i te waahanga mata o te hanganga 1 i tera o te hanganga 0. I te Whakaahua 4(c), ko te rere o nga rawa i roto i nga waahanga e rua me te ka ngoikore haere te ruuma tipu i te wa e piki haere ana te tipu, ka heke haere tonu te rere o nga rawa i roto i te waahanga mata, na te whakatuwheratanga o te hongere rere o te hau i te taha o te parapara me te aukati i te rerystallization ki runga; i roto i te ruuma tipu, ka heke tere te tere o te rere rauemi o te hanganga 0 i te 30 haora tuatahi ki te 16%, ka heke noa iho ma te 3% i te wa e whai ake nei, ko te hanganga 1 kei te noho pumau tonu puta noa i te tukanga tipu. Na reira, ka awhina a PG ki te whakapumau i te tere o te rerenga rauemi i roto i te ruuma tipu. Ko te ahua 4(d) e whakatairite ana i te tere rere rauemi i mua o te tipu o te karaihe. I te wa tuatahi me te 100 h, ko te kawe taonga i roto i te rohe tipu o te hanganga 0 he kaha ake i tera i te hanganga 1, engari he waahi nui te rere o te rere i te taha o te hanganga 0, e arahi ana ki te tipu nui i te taha. . Ko te noho mai o te PG i roto i te hanganga 1 ka aukati i tenei ahuatanga.
Whakaahua 3 Te rere o nga rawa i roto i te parai. He rerenga (taha maui) me te tere tere (matau) o te kawe rawa hau i roto i nga hanganga 0 me te 1 i nga wa rereke, wae tere tere: m/s
Whakaatu 4 Nga huringa i roto i te tere rere rauemi. (a) Ko nga huringa o te tohatoha reiti rere rawa i waenganui o te rawa mata o te hanganga 0 i te 0, 30, 60, me te 100 haora, ko te r te radius o te horahanga rawa; (b) Ko nga huringa o te tohatoha reiti rere rawa i waenganui o te rawa mata o te hanganga 1 i te 0, 30, 60, me te 100 haora, ko te r te radius o te horahanga rawa; (c) Nga panonitanga o te rere o nga rawa i roto i te ruuma tipu (A, B) me roto i te rawa (C, D) o nga hanganga 0 me te 1 i roto i te waa; (d) Ko te tohatoha tere o nga taonga e tata ana ki te mata karaihe kakano o nga hanganga 0 me te 1 i te 0 me te 100 haora, ko te r te putoro o te karaihe kakano.
Ka pa te C/Si ki te pumau o te tioata me te kiato koha o te tipu o te karaihe SiC. Ko te ahua 5(a) he whakatairite i te tohanga owehenga C/Si o nga hanganga e rua i te wa tuatahi. Ka heke haere te ōwehenga C/Si mai i te raro ki te tihi o te para, me te ōwehenga C/Si o te hanganga 1 he teitei ake i tera o te hanganga 0 i nga waahi rereke. Ko nga ahua 5(b) me te 5(c) e whakaatu ana ka piki haere te tauwehenga C/Si me te tipu, e pa ana ki te pikinga o te pāmahana o roto i te wa o muri o te tipu, te whakarei ake i te whakairoiro rawa, me te tauhohenga o Si nga waahanga i roto i te wahanga hau me te graphite crucible. I te Whakaahua 5(d), he tino rerekee nga owehenga C/Si o te hanganga 0 me te hanganga 1 i raro iho i te PG (0, 25 mm), engari he paku rereke i runga ake i te PG (50 mm), ka piki haere te rereketanga ka whakatata atu ki te karaihe. . I te nuinga o te waa, he teitei ake te C / Si o te hanganga 1, e awhina ana ki te whakapumau i te ahua o te karaihe me te whakaiti i te tupono o te whakawhiti waahanga.
Whakaatu 5 Te tohatoha me nga huringa o te ōwehenga C/Si. (a) Te tohatoha ōwehenga C/Si i roto i nga parapara o te hanganga 0 (maui) me te hanganga 1 (matau) i te 0 haora; (b) Ko te ōwehenga C/Si i tawhiti rereke mai i te raina pokapū o te parapara o te hanganga 0 i nga wa rereke (0, 30, 60, 100 h); (c) C/Si ōwehenga i tawhiti rereke mai i te raina pokapū o te parapara o te hanganga 1 i nga wa rereke (0, 30, 60, 100 h); (d) Whakatauritenga o te owehenga C/Si i nga tawhiti rereke (0, 25, 50, 75, 100 mm) mai i te raina waenganui o te parapara o te hanganga 0 (raina totoka) me te hanganga 1 (raina taia) i nga waa rereke (0, 30, 60, 100 h).
Ko te Whakaahua 6 e whakaatu ana i nga huringa o te diameter matūriki me te porosity o nga rohe rawa o nga hanganga e rua. E whakaatu ana te whika ka heke haere te diameter o nga rawa mata, ka piki te porosity tata ki te pakitara rewa, ka piki haere tonu te porosity taha, ka heke haere tonu te diameter matūriki i te wa e piki haere ana te tipu. Ko te porosity mata morahi kei te 0.99 i te 100 h, me te iti o te matūriki diameter he 300 μm. Ka piki te diameter matūriki, ka heke te porosity i runga i te mata o runga o te rauemi mata, e rite ana ki te rerystallization. Ka piki ake te matotoru o te waahi rerystallization i te wa e tipu haere ana te tipu, ka huri tonu te rahi o te matūriki me te porosity. Ko te diameter matūriki teitei ka eke ki te 1500 μm, ko te porosity iti ko te 0.13. I tua atu, mai i te mea ka whakanuia e te PG te pāmahana o te waahi rauemi mata me te iti o te supersaturation hau, he iti te matotoru o te rerystallization o te waahanga o runga o te rauemi mata o te hanganga 1, e pai ake ai te tere o te whakamahi rauemi mata.
Whakaahua 6 Nga huringa o te diameter matūriki (maui) me te porosity (matau) o te waahi rauemi mata o te hanganga 0 me te hanganga 1 i nga wa rereke, waeine diameter matūriki: μm
Ko te Whakaaturanga 7 e whakaatu ana ko te hanganga 0 ka panuku i te timatanga o te tipu, tera pea e pa ana ki te nui rawa o te rere o nga rawa na te kauwhata o te mata rawa. Ka ngoikore te tohu o te warping i te wa o te tipu o muri mai, e rite ana ki te huringa o te tere rere rauemi i mua o te tipu o te karaihe o te hanganga 0 i te Whakaahua 4 (d). I roto i te hanganga 1, na te painga o te PG, kaore te atanga karaihe e whakaatu ana i te pakaru. I tua atu, ko te PG he mea iti ake te tipu o te hanganga 1 i tera o te hanganga 0. Ko te matotoru o waenganui o te karaihe o te hanganga 1 i muri i te 100 h he 68% anake o te hanganga 0.
Whakaatu 7 Nga huringa atanga o te hanganga 0 me te hanganga 1 tioata i te 30, 60, me te 100 haora
Ko te tipu o te karaihe i mahia i raro i nga tikanga tukanga o te whaihanga tau. Ko nga tioata i tipuhia e te hanganga 0 me te hanganga 1 e whakaatuhia ana i te Whakaahua 8(a) me te Whakaahua 8(b), ia. Ko te karaihe o te hanganga 0 e whakaatu ana i te atanga kopikopiko, me nga wawaotanga ki te takiwa o waenganui me te waahanga whakawhiti ki te taha. Ko te mata o te mata e tohu ana i tetahi tohu o te inhomogeneity i roto i te kawe i nga rauemi hau-waahanga, a, ko te puta o te whakawhitinga wahanga e rite ana ki te iti C/Si ratio. Ko te atanga o te karaihe i whakatipuhia e te hanganga 1 he paku porowhita, kaore i kitea he waahanga whakawhiti, a ko te matotoru ko te 65% o te karaihe kaore he PG. I te nuinga o te waa, ko nga hua o te tipu o te karaihe e rite ana ki nga hua whaihanga, me te nui ake o te rereketanga o te pāmahana radial i te atanga karaihe o te hanganga 1, ka pehia te tipu tere i te taha, me te tere o te rere o nga rawa. He rite tonu te ia ki nga hua whaihanga tau.
Whakaahua 8 Ko nga tioata SiC i tipu i raro i te hanganga 0 me te hanganga 1
Whakamutunga
Ko te PG he pai ki te whakapai ake i te katoa o te pāmahana o te waahi rauemi mata me te whakapai ake i te riterite o te axial me te radial pāmahana, e whakatairanga ana i te whakakii me te whakamahi i te rauemi mata; ka piki ake te rereketanga o te pāmahana o runga me raro, ka piki ake te rōnaki radial o te mata karaihe kakano, e awhina ana ki te pupuri i te tipu o te atanga convex. Mo te whakawhitinga papatipu, ko te whakaurunga o te PG ka whakaiti i te tere o te whakawhiti papatipu katoa, ko te rerenga o nga rauemi kei roto i te ruuma tipu kei roto te PG ka iti ake te whakarereketanga me te wa, a ka pai ake te tipu o te tipu. I te wa ano, ka kaha te aukati a PG i te puta o te whakawhitinga papatipu mata nui. I tua atu, ka whakanui ano te PG i te C / Si ratio o te taiao tipu, ina koa i te taha o mua o te atanga karaihe purapura, e awhina ana ki te whakaiti i te huringa o te wahanga i te wa o te tipu. I te wa ano, ko te paanga o te waiariki o te PG ka whakaiti i te puta mai o te rerystallization i te waahanga o runga o te rauemi mata ki tetahi waahanga. Mo te tipu o te karaihe, ka whakahekehia e te PG te tere o te tipu o te karaihe, engari he nui ake te atanga o te tipu. Na reira, ko te PG he huarahi whai hua hei whakapai ake i te taiao tipu o nga kiripiri SiC me te arotau i te kounga o te karaihe.
Te wa tuku: Hune-18-2024