Ko te tukanga taketake oSiCka wehewehea te tipu o te karaihe ki te whakaheke me te pirau o nga rauemi mata i te teitei o te pāmahana, te kawe i nga matū wahanga hau i raro i te mahi o te rōnaki pāmahana, me te tipu o te rerystallization o nga matū wahanga hau i te karaihe purapura. I runga i tenei, ka wehewehea te roto o te parapara ki nga wahanga e toru: te waahi rauemi mata, te ruuma tipu me te karaihe purapura. I tuhia he tauira whaihanga tau i runga i te parenga tuuturuSiCtaputapu tipu tioata kotahi (tirohia te Whakaahua 1). I roto i te tatauranga: te raro o tewharikihe 90 mm te tawhiti atu i te taha o raro o te whakamahana taha, ko te pāmahana o runga o te ipu ko te 2100 ℃, ko te diameter matūriki mata ko te 1000 μm, ko te porosity he 0.6, ko te pehanga tipu he 300 Pa, ko te wa tipu ko te 100 h. . Ko te matotoru PG he 5 mm, ko te diameter he rite ki te diameter o roto o te ipu, a kei te 30 mm i runga ake i te rauemi mata. Ko nga tikanga whakararo, waro, me te rerystallization o te rohe rauemi mata ka whakaarohia i roto i te tataunga, a, kaore e whakaarohia te tauhohenga i waenga i te PG me nga matū wahanga hau. Ko nga tawhā taonga-a-tinana e pa ana ki te tatauranga e whakaatuhia ana i te Ripanga 1.
Whakaatu 1 Tauira tātai whaihanga. (a) He tauira mara ngaariki mo te whakatairite tipu tioata; (b) Te wehewehenga o te rohe o roto o te parapara me nga raru tinana e pa ana
Ripanga 1 Ko etahi tawhā tinana i whakamahia i roto i te tatauranga
Ko te ahua 2(a) e whakaatu ana ko te pāmahana o te hanganga PG-kei roto (e kiia ana ko te hanganga 1) he teitei ake i tera o te hanganga PG-kore (e kiia ana ko te hanganga 0) i raro i te PG, me te iti ake i te hanganga 0 i runga ake i te PG. Ka piki te rōnaki pāmahana whānui, ā, ka mahi a PG hei māngai whakawera wera. E ai ki nga Whakaahua 2(b) me te 2(c), he iti ake te axial me te radial pāmahana rōnaki o te hanganga 1 i roto i te rohe rauemi mata, he nui ake te rite o te tohatoha o te pāmahana, me te whakaotinga o te rauemi. Kaore i rite ki te rohe rawa, ko te Whakaatu 2(c) e whakaatu ana he nui ake te rōnaki pāmahana radial i te karaihe kakano o te hanganga 1, tera pea ka puta mai i nga wahanga rereke o nga momo whakawhiti wera rereke, e awhina ana i te tipu o te karaihe me te atanga convex. . I te Whakaahua 2(d), ko te pāmahana i nga waahi rereke i roto i te parapara e whakaatu ana i te piki haere o te tipu, engari ko te rereketanga o te pāmahana i waenga i te hanganga 0 me te hanganga 1 ka heke haere i roto i te rohe rauemi mata, ka piki haere i roto i te ruma tipu.
Whakaahua 2 Te tohatoha pāmahana me nga huringa i roto i te ipu. (a) Te tohatoha i te pāmahana i roto i te ipu para o te hanganga 0 (maui) me te hanganga 1 (matau) i te 0 haora, wae: ℃; (b) Te tohatoha i te pāmahana ki te raina waenga o te ipu para o te hanganga 0 me te hanganga 1 mai i te raro o te rawa mata ki te karaihe kakano i te 0 haora; (c) Te tohatoha o te pāmahana mai i te pokapū ki te tapa o te ipu para i runga i te mata karaihe kakano (A) me te mata rawa (B), waenganui (C) me raro (D) i te 0 haora, ko te tuaka whakapae r ko te pūtoro karaehe kākano mo A, me te pūtoro horahanga rauemi mata mo B~D; (d) Hurihia te pāmahana i te pokapū o te waahanga o runga (A), te mata rawa (B) me te waenganui (C) o te ruma tipu o te hanganga 0 me te hanganga 1 i te 0, 30, 60, me te 100 haora.
Ko te Whakaaturanga 3 e whakaatu ana i te kawe rawa i nga wa rereke i roto i te parapara o te hanganga 0 me te hanganga 1. Ko te tere o te rere o nga rawa o te wahanga hau i roto i te waahi rawa me te ruuma tipu ka piki me te piki o te waahi, ka ngoikore te kawe taonga i te wa e tipu haere ana te tipu. . E whakaatu ana hoki te Whakaaturanga 3 i raro i nga tikanga whakatairite, ka whakaahua tuatahi te rauemi mata ki te pakitara taha o te parapara, katahi ki raro o te parapara. I tua atu, he rerystallization i runga i te mata o te rauemi mata, me te āta mātotoru rite te tipu haere. Ko nga ahua 4(a) me te 4(b) e whakaatu ana ka heke te rere o nga rawa o roto o te rawa mata i te wa e piki haere ana te tipu, a, ko te tere rere rauemi i te 100 haora he 50% o te wa tuatahi; heoi, he ahua nui te rere o te rere i te taha na runga i te kauwhata o te rauemi mata, a, ko te rere o te rere i te taha he neke atu i te 10 nga wa o te rere o te rere i te takiwa waenganui i te 100 haora; i tua atu, ko te paanga o te PG i roto i te hanganga 1 ka iti ake te rere o nga rauemi i roto i te waahanga mata o te hanganga 1 i tera o te hanganga 0. I te Whakaahua 4(c), ko te rere o nga rawa i roto i nga waahanga e rua me te ka ngoikore haere te ruuma tipu i te wa e piki haere ana te tipu, ka heke haere tonu te rere o nga rawa i roto i te rohe o nga rawa mata, na te whakatuwheratanga o te hongere rere o te hau i te taha o te ipu para me te aukati i te whakamaaramatanga te runga; i roto i te ruuma tipu, ka heke tere te tere o te rere rauemi o te hanganga 0 i te 30 haora tuatahi ki te 16%, ka heke noa iho ma te 3% i te wa e whai ake nei, ko te hanganga 1 kei te noho pumau tonu puta noa i te tukanga tipu. Na reira, ka awhina a PG ki te whakapumau i te tere o te rerenga rauemi i roto i te ruuma tipu. Ko te ahua 4(d) e whakatairite ana i te tere rere rauemi i mua o te tipu o te karaihe. I te wa tuatahi me te 100 h, ko te kawe taonga i roto i te rohe tipu o te hanganga 0 he kaha ake i tera i te hanganga 1, engari he waahi nui te rere o te rere i te taha o te hanganga 0, e arahi ana ki te tipu nui i te taha. . Ko te noho mai o te PG i roto i te hanganga 1 ka aukati i tenei ahuatanga.
Whakaahua 3 Te rere o nga rawa i roto i te parai. He rerenga (taha maui) me te tere tere (matau) o te kawe rawa hau i roto i nga hanganga 0 me te 1 i nga wa rereke, wae tere tere: m/s
Whakaatu 4 Nga huringa i roto i te tere rere rauemi. (a) Ko nga huringa o te tohatoha reiti rere rawa i waenganui o te rawa mata o te hanganga 0 i te 0, 30, 60, me te 100 haora, ko te r te radius o te horahanga rawa; (b) Ko nga huringa o te tohatoha reiti rere rawa i waenganui o te rawa mata o te hanganga 1 i te 0, 30, 60, me te 100 haora, ko te r te radius o te horahanga rawa; (c) Nga panonitanga o te rere o nga rawa i roto i te ruuma tipu (A, B) me roto i te rawa (C, D) o nga hanganga 0 me te 1 i roto i te waa; (d) Ko te tohatoha tere o nga taonga e tata ana ki te mata karaihe kakano o nga hanganga 0 me te 1 i te 0 me te 100 haora, ko te r te putoro o te karaihe kakano.
Ka pa te C/Si ki te pumau o te tioata me te kiato koha o te tipu o te karaihe SiC. Ko te ahua 5(a) he whakatairite i te tohanga owehenga C/Si o nga hanganga e rua i te wa tuatahi. Ka heke haere te ōwehenga C/Si mai i te raro ki te tihi o te para, me te ōwehenga C/Si o te hanganga 1 he teitei ake i tera o te hanganga 0 i nga waahi rereke. Ko nga ahua 5(b) me te 5(c) e whakaatu ana ka piki haere te tauwehenga C/Si me te tipu, e pa ana ki te pikinga o te pāmahana o roto i te wa o muri o te tipu, te whakarei ake i te whakairoiro rawa, me te tauhohenga o Si nga waahanga i roto i te wahanga hau me te graphite crucible. I te Whakaahua 5(d), he tino rerekee nga owehenga C/Si o te hanganga 0 me te hanganga 1 i raro iho i te PG (0, 25 mm), engari he paku rereke i runga ake i te PG (50 mm), ka piki haere te rereketanga ka whakatata atu ki te karaihe. . I te nuinga o te waa, he teitei ake te C / Si o te hanganga 1, e awhina ana ki te whakapumau i te ahua o te karaihe me te whakaiti i te tupono o te whakawhiti waahanga.
Whakaatu 5 Te tohatoha me nga huringa o te ōwehenga C/Si. (a) Te tohatoha ōwehenga C/Si i roto i nga parapara o te hanganga 0 (maui) me te hanganga 1 (matau) i te 0 haora; (b) Ko te ōwehenga C/Si i tawhiti rereke mai i te raina pokapū o te parapara o te hanganga 0 i nga wa rereke (0, 30, 60, 100 h); (c) C/Si ōwehenga i tawhiti rereke mai i te raina pokapū o te parapara o te hanganga 1 i nga wa rereke (0, 30, 60, 100 h); (d) Whakatauritenga o te owehenga C/Si i nga tawhiti rereke (0, 25, 50, 75, 100 mm) mai i te raina waenganui o te parapara o te hanganga 0 (raina totoka) me te hanganga 1 (raina taia) i nga waa rereke (0, 30, 60, 100 h).
Ko te Whakaahua 6 e whakaatu ana i nga huringa o te diameter matūriki me te porosity o nga rohe rawa o nga hanganga e rua. E whakaatu ana te whika ka heke haere te diameter o nga rawa mata, ka piki te porosity tata ki te pakitara rewa, ka piki haere tonu te porosity taha, ka heke haere tonu te diameter matūriki i te wa e piki haere ana te tipu. Ko te porosity mata teitei kei te 0.99 i te 100 haora, me te iti o te matūriki diameter he 300 μm. Ka piki te diameter matūriki, ka heke te porosity i runga i te mata o runga o te rauemi mata, e rite ana ki te rerystallization. Ka piki ake te matotoru o te waahi rerystallization i te wa e tipu haere ana te tipu, ka huri tonu te rahi matūriki me te porosity. Ko te diameter matūriki teitei ka eke ki te 1500 μm, ko te porosity iti ko te 0.13. I tua atu, mai i te mea ka whakanuia e te PG te pāmahana o te waahi rauemi mata me te iti o te supersaturation hau, he iti te matotoru o te rerystallization o te waahanga o runga o te rauemi mata o te hanganga 1, e pai ake ai te tere o te whakamahi rauemi mata.
Whakaahua 6 Nga huringa o te diameter matūriki (maui) me te porosity (matau) o te waahi rauemi mata o te hanganga 0 me te hanganga 1 i nga wa rereke, waeine diameter matūriki: μm
Ko te Whakaaturanga 7 e whakaatu ana ko te hanganga 0 ka panuku i te timatanga o te tipu, tera pea e pa ana ki te nui rawa o te rere o nga rawa na te kauwhata o te mata rawa. Ka ngoikore te tohu o te warping i te wa o te tipu o muri mai, e rite ana ki te huringa o te tere rere rauemi i mua o te tipu o te karaihe o te hanganga 0 i te Whakaahua 4 (d). I roto i te hanganga 1, na te painga o te PG, kaore te atanga karaihe e whakaatu ana i te pakaru. I tua atu, ko te PG he mea iti ake te tipu o te hanganga 1 i tera o te hanganga 0. Ko te matotoru o waenganui o te karaihe o te hanganga 1 i muri i te 100 h he 68% anake o te hanganga 0.
Whakaatu 7 Nga huringa atanga o te hanganga 0 me te hanganga 1 tioata i te 30, 60, me te 100 haora
Ko te tipu o te karaihe i mahia i raro i nga tikanga tukanga o te whaihanga tau. Ko nga tioata i tipuhia e te hanganga 0 me te hanganga 1 e whakaatuhia ana i te Whakaahua 8(a) me te Whakaahua 8(b), ia. Ko te karaihe o te hanganga 0 e whakaatu ana i te atanga kopikopiko, me nga wawaotanga ki te takiwa o waenganui me te waahanga whakawhiti ki te taha. Ko te mata o te mata e tohu ana i tetahi tohu o te inhomogeneity i roto i te kawe i nga rauemi hau-waahanga, a, ko te puta o te whakawhitinga wahanga e rite ana ki te iti C/Si ratio. Ko te atanga o te karaihe i whakatipuhia e te hanganga 1 he paku porowhita, kaore i kitea he waahanga whakawhiti, a ko te matotoru ko te 65% o te karaihe kaore he PG. I te nuinga o te waa, ko nga hua o te tipu o te karaihe e rite ana ki nga hua whaihanga, me te nui ake o te rereketanga o te pāmahana radial i te atanga karaihe o te hanganga 1, ka pehia te tipu tere i te taha, me te tere o te rere o nga rawa. He rite tonu te ia ki nga hua whaihanga tau.
Whakaahua 8 Ko nga tioata SiC i tipu i raro i te hanganga 0 me te hanganga 1
Whakamutunga
Ko te PG he pai ki te whakapai ake i te katoa o te pāmahana o te waahi rauemi mata me te whakapai ake i te riterite o te axial me te radial pāmahana, e whakatairanga ana i te whakakii me te whakamahi i te rauemi mata; ka piki ake te rereketanga o te pāmahana o runga me raro, ka piki ake te rōnaki radial o te mata karaihe kakano, e awhina ana ki te pupuri i te tipu o te atanga convex. Mo te whakawhitinga papatipu, ko te whakaurunga o te PG ka whakaiti i te tere o te whakawhiti papatipu katoa, ko te rerenga o nga rauemi kei roto i te ruuma tipu kei roto te PG ka iti ake te whakarereketanga me te wa, a ka pai ake te tipu o te tipu. I te wa ano, ka kaha te aukati a PG i te puta o te whakawhitinga papatipu mata nui. I tua atu, ka whakanui ano te PG i te C / Si ratio o te taiao tipu, ina koa i te taha o mua o te atanga karaihe purapura, e awhina ana ki te whakaiti i te huringa o te wahanga i te wa o te tipu. I te wa ano, ko te paanga o te waiariki o te PG ka whakaiti i te puta mai o te rerystallization i te waahanga o runga o te rauemi mata ki tetahi waahanga. Mo te tipu o te karaihe, ka whakahekehia e te PG te tere o te tipu o te karaihe, engari ko te atanga tipu ka nui ake te pupuhi. Na reira, ko te PG he huarahi whai hua hei whakapai ake i te tipu o nga kiripiri SiC me te arotau i te kounga o te karaihe.
Wā whakairinga: Hune-18-2024