1. Tirohanga otïpako carbide siliconhangarau tukatuka
Te autïpako carbide silicon Ko nga mahi tukatuka ko: te huri i te porowhita o waho, te tapahi, te chamfering, te huri, te whakakorikori, te horoi, me etahi atu. Ko te tapahi he waahanga nui i roto i te tukatuka taputapu semiconductor me te taahiraa matua ki te huri i te ingot ki te taputapu. I tenei wa, ko te tapahi onga taputapu carbide siliconhe tapahi waea te nuinga. Ko te tapahi slurry maha-waea ko te tikanga tapahi waea pai rawa atu i tenei wa, engari kei te raru tonu te kounga tapahi me te mate tapahi nui. Ko te ngaro o te tapahi waea ka piki ake me te nui o te rahi o te tïpako, e kore e pai ki tetïpako carbide siliconnga kaihanga ki te whakatutuki i te whakahekenga utu me te whakapai ake. I roto i te tukanga o te tapahi8-inihi carbide silicon taputapu, Ko te ahua o te mata o te taputapu i whiwhihia e te tapahi waea he kino, a, ko nga ahuatanga tau penei i te WARP me te BOW kaore i te pai.
Ko te tapatapahi he mahi matua i roto i te hanga taputapu semiconductor. Kei te ngana tonu te ahumahi ki nga tikanga tapahi hou, penei i te tapahi waea taimana me te tarai laser. Kua tino rapuhia te hangarau tangohanga taiaho ina tata nei. Ko te whakaurunga o tenei hangarau ka whakaiti i te tapahi mate me te whakapai ake i te pai o te tapahi mai i te kaupapa hangarau. Ko te otinga taiaho tihorea he nui nga whakaritenga mo te taumata o te aunoatanga me te mahi hangarau angiangi kia mahi tahi ki a ia, e rite ana ki te ahunga whanaketanga a meake nei o te tukatuka tïpako silicon carbide. Ko te nuinga o te 1.5-1.6 te hua o te tapahi waea kumete tuku iho. Ka taea e te whakaurunga o te hangarau tangohanga taiaho te whakanui ake i te hua poro ki te 2.0 (tirohia nga taputapu DISCO). I te wa kei te heke mai, i te mea ka piki ake te pakeke o te hangarau tapahi laser, ka pai ake te hua o te poro; i te wa ano, ka taea e te tangohanga taiaho te whakapai ake i te pai o te tapahi. E ai ki nga rangahau maakete, ka tapahia e te rangatira o te umanga DISCO tetahi poro i roto i te 10-15 meneti, he pai ake i te tapahi waea moata o naianei mo te 60 meneti mo ia poro.
Ko nga taahiraa o te tapahi waea tuku iho o nga taputapu carbide silicon: ko te tapahi waea-te huri-taraera-te huri-pai-te oro oro me te oro pai. I muri i te tukanga tangohanga laser e whakakapi ana i te tapahi waea, ka whakamahia te mahi angiangi hei whakakapi i te tukanga oro, e whakaiti ana i te ngaro o nga poro me te whakapai ake i te mahi tukatuka. Ko te tukanga tangohanga taiaho mo te tapahi, te huri me te whakakorikori i nga taputapu carbide silicon ka wehea kia toru nga waahanga: te matawai taiaho-te tangohanga o te papaa-papa-ingot flattening: ko te matawai mata laser ko te whakamahi i nga pini laser ultrafast ki te tukatuka i te mata o te ingot ki te hanga i tetahi whakarereke. paparanga i roto i te ingot; Ko te tangohanga o te tïpako ko te wehe i te tïpako i runga ake i te paparanga whakarerekë mai i te ingot ma nga tikanga tinana; ko te whakarata ingot ko te tango i te paparanga kua whakarereketia i runga i te mata o te ingot hei whakarite i te papatahi o te mata ingot.
Ko te tukanga tangohanga taiaho Silicon carbide
2. Te ahunga whakamua o te ao i roto i te hangarau tarai laser me nga kamupene whakauru ahumahi
Ko te tukanga tangohanga taiaho i tangohia tuatahitia e nga kamupene o tawahi: I te tau 2016, i whakawhanakehia e te DISCO a Japan tetahi hangarau tapahi laser hou KABRA, e hanga ana i te paparanga wehe me te wehe i nga angiangi i te hohonutanga kua tohua ma te whakamaarama tonu i te ingot ki te laser, ka taea te whakamahi mo nga momo rereke. Ko nga momo o SiC ingots. I te marama o Whiringa-a-rangi 2018, i whiwhi a Infineon Technologies i a Siltectra GmbH, he tiimata tapahi angiangi, mo te 124 miriona euros. I whakawhanakehia e te hunga whakamutunga te tukanga Cold Split, e whakamahi ana i te hangarau laser arai ki te tautuhi i te awhe wehewehe, te whakakakahu i nga rauemi polymer motuhake, te punaha whakahaere i te whakamahana i te ahotea, ka tika te wehewehe i nga rauemi, me te huri me te ma ki te whakatutuki i te tapahi angiangi.
I nga tau kua pahure ake nei, kua uru ano etahi o nga kamupene o roto ki te ahumahi taputapu tarai laser: ko nga kamupene matua ko Han's Laser, Delong Laser, West Lake Instrument, Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation me te Institute of Semiconductors o te Hainamana Academy of Sciences. I roto i a raatau, ko nga kamupene kua whakarārangihia ko Han's Laser me Delong Laser kua roa te whakatakotoranga, a ko o raatau hua kei te whakamanahia e nga kaihoko, engari he maha nga raina hua o te kamupene, ko nga taputapu tarai laser ko tetahi o a raatau pakihi. Ko nga hua o nga whetu e piki ana penei i a West Lake Instrument kua tutuki nga ota ota; Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation 2, te Institute of Semiconductors of the Chinese Academy of Sciences me etahi atu kamupene kua tukuna ano te ahunga whakamua o nga taputapu.
3. Nga take taraiwa mo te whakawhanaketanga o te hangarau tarai laser me te manawataki o te whakaurunga o te maakete
Ko te whakahekenga utu o nga taputapu carbide silicon 6-inihi e akiaki ana i te whakawhanaketanga o te hangarau tangohanga laser: I tenei wa, kua heke te utu o nga taputapu carbide silicon 6-inihi i raro i te 4,000 yuan/piece, e tata ana ki te utu utu o etahi kaihanga. Ko te tukanga tangohanga laser he nui te hua me te whai hua kaha, e akiaki ana i te tere o te whakauru o te hangarau laser ki te piki ake.
Ko te angiangi o nga taputapu carbide silicon 8-inihi e akiaki ana i te whakawhanaketanga o te hangarau tangohanga taiaho: Ko te matotoru o nga taputapu carbide silicon 8-inihi i tenei wa ko te 500um, kei te whanake haere ki te matotoru o te 350um. Ko te tukanga tapahi waea kaore i te whai hua i roto i te tukatuka carbide silicon 8-inihi (kaore i te pai te mata o te tïpako), a kua tino paheke nga uara BOW me te WARP. Ko te tihorea taiaho e kiia ana he hangarau tukatuka e tika ana mo te 350um silicon carbide tukatuka tïpako, e peia ana te tere o te urunga o te hangarau tihorea taiaho kia piki ake.
Ko nga tumanakohanga o te maakete: Ka whai hua nga taputapu tarai laser substrate SiC mai i te roha o te SiC 8-inihi me te whakahekenga utu o te SiC 6-inihi. Kei te tata mai te waahi nui o te umanga o naianei, a ka tino tere te whanaketanga o te umanga.
Wā tuku: Hūrae-08-2024