Kohu kohu matū(CVD)Ko te hangarau tino whakamahia i roto i te ahumahi semiconductor mo te whakatakoto i nga momo momo rawa, tae atu ki te tini o nga rawa whakaraerae, te nuinga o nga mea whakarewa me nga mea whakarewa whakarewa.
Ko te CVD he hangarau hanga kiriata angiangi tuku iho. Ko tana maataapono he whakamahi i nga kaitapa hau ki te tihore i etahi waahanga o te kaamua ma te tauhohenga matū i waenga i nga ngota me nga ngota ngota, katahi ka hanga he kiriata angiangi ki runga i te tïpako. Ko nga ahuatanga taketake o te CVD ko: nga huringa matū (nga tauhohenga matū, te waiariki pirau ranei); Ko nga taonga katoa o te kiriata ka ahu mai i nga puna o waho; me whai wāhi nga kaiwhakaora ki te tauhohenga i te ahua o te wahanga hau.
Ko te whakahekenga matū matū iti (LPCVD), te whakahekenga o te kohu matū whakaniko (PECVD) me te whakahekenga kohu matū matū teitei (HDP-CVD) e toru nga hangarau CVD noa, he rereke nga rereketanga o nga taonga, nga whakaritenga taputapu, nga tikanga tukanga, me era atu. E whai ake nei he whakamarama ngawari me te whakataurite o enei hangarau e toru.
1. LPCVD (CVD Pēhanga Iti)
Tikanga: He tukanga CVD i raro i nga tikanga pehanga iti. Ko tana kaupapa ko te wero i te hau tauhohenga ki roto i te ruuma tauhohenga i raro i te korehau, i te pehanga iti ranei o te taiao, te pirau, te tauhohe ranei i te hau ma te nui o te pāmahana, me te hanga i tetahi kiriata totoka ka whakatakotoria ki te mata o te tïpako. Na te iti o te pehanga ka whakaiti i te tukinga hau me te ngangau, ka pai ake te rite me te kounga o te kiriata. Kei te whakamahia nuitia te LPCVD i roto i te silicon dioxide (LTO TEOS), te nitride silicon (Si3N4), te polysilicon (POLY), te karaihe phosphosilicate (BSG), te karaihe borophosphosilicate (BPSG), te polysilicon doped, te graphene, te nanotubes waro me etahi atu kiriata.
Āhuatanga:
▪ Te pāmahana o te tukanga: i te nuinga o te waa i waenga i te 500 ~ 900 ° C, he tiketike te pāmahana o te tukanga;
▪ Te awhe pehanga hau: te taiao iti o te 0.1 ~ 10 Torr;
▪ Te kounga o te kiriata: te kounga teitei, te riterite pai, te kiato pai, me te iti o nga koha;
▪ Te tere o te tuku: te tere o te tukunga;
▪ Te tauritenga: e tika ana mo nga taputapu rahi-rahi, te whakatakotoranga rite;
Nga painga me nga huakore:
▪ Ka taea e koe te whakatakoto i nga kiriata tino rite me te tino matotoru;
▪ He pai te mahi i runga i nga taputapu rahi-rahi, e tika ana mo te hanga papatipu;
▪ Te utu iti;
▪ Te pāmahana teitei, kaore e pai mo nga mea wera;
▪ He puhoi te reiti tukunga, he iti noa te whakaputanga.
2. PECVD (Plasma Enhanced CVD)
Tikanga: Whakamahia te plasma ki te whakahohe i nga tauhohenga wahanga hau i te iti o te mahana, te katote me te pirau nga ngota ngota i roto i te hau tauhohenga, katahi ka whakatakoto i nga kiriata angiangi ki te mata o te tïpako. Ka taea e te kaha o te plasma te whakaheke i te pāmahana e hiahiatia ana mo te tauhohenga, me te whānuitanga o nga tono. Ka taea te whakarite i nga momo kiriata whakarewa, kiriata pararopi me nga kiriata pararopi.
Āhuatanga:
▪ Tukatuka pāmahana: i te nuinga o te waa i waenga i te 200~400°C, he iti noa te pāmahana;
▪ Awhe pehanga hau: te nuinga o nga rau mTorr ki etahi Torr;
▪ Te kounga o te kiriata: ahakoa he pai te riterite o te kiriata, ko te kiato me te kounga o te kiriata kaore i te pai ki te LPCVD na nga hapa ka tukuna mai e te plasma;
▪ Te tere o te tuku: te reiti teitei, te pai o te whakaputa;
▪ Te taurite: he iti iho i te LPCVD i runga i nga taputapu rahi-rahi;
Nga painga me nga huakore:
▪ Ka taea te whakatakoto i nga kiriata angiangi ki te iti o te mahana, e pai ana mo nga mea wera;
▪ Te tere tukunga tere, e tika ana mo te whakaputa pai;
▪ Ko te tukanga ngawari, ko nga ahuatanga kiriata ka taea te whakahaere ma te whakatika i nga tawhā plasma;
▪ Ka taea e te Plasma te whakauru mai i nga koha kiriata penei i te kohao titi, i te kore riterite ranei;
▪ Ina whakaritea ki te LPCVD, he iti ake te kino o te kiato me te kounga o te kiriata.
3. HDP-CVD (High Density Plasma CVD)
Tikanga: He hangarau PECVD motuhake. Ko te HDP-CVD (e mohiotia ana ko ICP-CVD) ka taea te whakaputa i te kiato plasma teitei ake me te kounga atu i nga taputapu PECVD tuku iho i te iti ake o te pāmahana whakaheke. I tua atu, ka whakaratohia e te HDP-CVD te rere o te katote motuhake me te mana o te kaha, te whakapai ake i nga kaha o te waikeri, te kohao ranei ki te whakakii i nga kaha mo te tono i te whakahekenga kiriata, penei i nga paninga anti-whakaata, te iti o te whakahekenga rauemi dielectric, etc.
Āhuatanga:
▪ Te pāmahana tukanga: te pāmahana rūma ki te 300 ℃, he iti rawa te pāmahana o te tukanga;
▪ Awhe pehanga hau: i waenga i te 1 me te 100 mTorr, he iti ake i te PECVD;
▪ Te kounga o te kiriata: teitei te kiato plasma, te kounga teitei o te kiriata, te pai o te rite;
▪ Te tere o te tukunga: kei waenganui i te LPCVD me te PECVD te reiti tuku, he paku teitei ake i te LPCVD;
▪ Te tauritenga: na te plasma kiato teitei, he pai te rite o te kiriata, he pai mo te mata o te taputapu hanga uaua;
Nga painga me nga huakore:
▪ He kaha ki te whakatakoto i nga kiriata kounga teitei i te iti o te mahana, he tino pai mo nga mea wera-tairongo;
▪ He pai te rite o te kiriata, te kiato me te maeneene o te mata;
▪ Ko te teitei ake o te kiato plasma ka pai ake te rite o te waipara me nga ahuatanga kiriata;
▪ Nga taputapu uaua me te utu nui ake;
▪ He puhoi te tere o te tukunga, a ka nui ake te kaha o te plasma ka puta he kino iti.
Nau mai ki nga kaihoko mai i nga wa katoa o te ao ki te toro mai ki a maatau mo etahi atu korero!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Wā tuku: Tihema-03-2024