MEPEHEA TE HANGA I TE WAFER HIIIKA

MEPEHEA TE HANGA I TE WAFER HIIIKA

A angiangihe poro kirikiri tata ki te 1 mirimita te matotoru he papatahi te mata he mihi ki nga tikanga e tino uaua ana. Ma te whakamahi i muri mai ka whakatau ko tehea tikanga whakatipu karaihe hei mahi. I roto i te tukanga Czochralski, hei tauira, ka whakarewahia te polycrystalline silicon, ka toua he karaihe kakano angiangi pene ki roto i te silicon whakarewa. Ka huri te karaihe kakano ka toia ki runga. He karaehe tino taumaha, he monocrystal, nga hua. Ka taea te kowhiri i nga ahuatanga hiko o te monocrystal ma te taapiri i nga waahanga iti o nga dopants parakore teitei. Ko nga kiripiri ka pehia kia rite ki nga whakaritenga a nga kaihoko katahi ka orohia ka tapahia ki nga poro. Whai muri i etahi atu waahanga hangahanga, ka whiwhi te kaihoko i ana angiangi kua tohua i roto i te kete motuhake, ka taea e te kaihoko te whakamahi i te wafer i roto tonu i tana raina whakaputa.

WHAKAMAHI CZOCHRALSKI

I tenei ra, he nui te waahanga o nga monocrystals silicon e tipuhia ana e ai ki te tukanga Czochralski, e uru ana ki te whakarewa i te polycrystalline teitei-purity silicon i roto i te quartz crucible hyperpure me te taapiri i te dopant (te nuinga o te B, P, As, Sb). Ka toua he karaihe kakano monocrystalline angiangi ki roto i te silicon whakarewa. Ka puta mai he karaihe CZ nui mai i tenei karaihe kikokore. Ko te whakaritenga tika o te pāmahana me te rere o te hiraka rewa, te hurihanga o te karaihe me te parapara, tae atu ki te tere toia o te karaihe ka puta he ingot silicon monocrystalline tino kounga.

KAUPAPA KAUPAPA KAUPAPA

Ko nga Monocrystals i hangaia i runga i te tikanga rohe rererangi he pai mo te whakamahi i nga waahanga hiko hiko, penei i nga IGBT. He porotakaro polycrystalline silicon ingot kua eke ki runga i te porowhita whakauru. Ka awhina te mara hiko irirangi irirangi ki te whakarewa i te silicon mai i te taha o raro o te rakau. Ko te mara hiko e whakahaere ana i te rere o te silicon i roto i tetahi kohao iti i roto i te porowhita induction me runga i te monocrystal e takoto ana i raro (tikanga rohe maru). Ko te doping, ko te tikanga me te B, te P ranei, ka tutuki ma te taapiri i nga matū hau.