Te takenga mai o te ingoa angiangi epitaxial
Tuatahi, kia whakanuia e tatou tetahi ariā iti: ko te whakarite angiangi kei roto e rua nga hononga nui: te whakarite i te tïpako me te tukanga epitaxial. Ko te tïpako he angiangi i hangaia mai i te semiconductor rauemi karaihe kotahi. Ka taea e te tïpako te kuhu tika ki te mahi hanga angiangi ki te whakaputa i nga taputapu semiconductor, ka taea ranei te tukatuka ma nga tikanga epitaxial hei whakaputa i nga angiangi epitaxial. Ko te Epitaxy e pa ana ki te tukanga o te whakatipu i tetahi paparanga hou o te karaihe kotahi i runga i te taputapu karaihe kotahi kua ata tukatukahia e te tapahi, te huri, te oro, me etahi atu. he mea rereke (homogene) epitaxy heteroepitaxy ranei). Na te mea ka toro atu te paparanga karaihe kotahi hou me te tipu i runga i te waahanga karaihe o te tïpako, ka kiia ko te paparanga epitaxial (ko te tikanga he torutoru nga microns te matotoru, me te tango i te silicon hei tauira: ko te tikanga o te tipu epitaxial silicon kei runga i te kirikiri kotahi. Tïpako tioata me te takotoranga o te karaihe he paparanga karaihe me te tika o te hanganga ratiti me te rereke rereke me te matotoru he rite te ahua o te karaihe ki te tipu o te tïpako), me te tïpako me te tïpako. ka kiia ko te paparanga epitaxial he angiangi epitaxial (epitaxial wafer = paparanga epitaxial + substrate). Ina hangaia te taputapu ki te paparanga epitaxial, ka kiia ko te epitaxy pai. Mena ka mahia te taputapu ki runga i te taputapu, ka kiia ko te epitaxy whakamuri. I tenei wa, ko te paparanga epitaxial anake te mahi tautoko.
He angiangi kua whakangia
Nga tikanga tipu epitaxial
Epitaxy kurupae kurupae (MBE): He hangarau tipu epitaxial semiconductor i mahia i raro i nga tikanga korehau tino teitei. I roto i tenei tikanga, ka whakangoatia nga rauemi puna hei kurupae ngota ngota, ngota ngota ranei, katahi ka tuu ki runga i te tïpako tioata. Ko te MBE he tino tika me te whakahaere i te hangarau tipu kiriata angiangi semiconductor e taea te whakahaere tika i te matotoru o nga mea kua penapena ki te taumata ngota.
Metal organic CVD (MOCVD): I roto i te tukanga MOCVD, ka tukuna te konganuku pararopi me te hau hydride hau N kei roto nga huānga e hiahiatia ana ka tukuna ki te tïpako i te pāmahana e tika ana, ka tukuna he tauhohenga matū hei whakaputa i te rauemi semiconductor e hiahiatia ana, ka waiho ki runga i te tïpako. i runga, ka tukuna nga toenga pūhui me nga hua tauhohenga.
Korehu wahanga epitaxy (VPE): Ko te wahanga kohu epitaxy he hangarau nui e whakamahia nuitia ana ki te hanga i nga taputapu hikohiko. Ko te kaupapa matua ko te kawe i te kohu o nga matū huānga, pūhui ranei i roto i te hau kawe, me te whakatakoto tioata ki te tïpako ma te tauhohenga matū.
He aha nga raruraru ka whakaotihia e te tukanga epitaxy?
Ko te nuinga o nga rawa karaihe kotahi e kore e taea te whakatutuki i nga hiahia tipu o te hanga i nga momo taputapu semiconductor. Na reira, i whakawhanakehia te tipu epitaxial, he papanga angiangi o te hangarau whakatipu rawa karaihe kotahi, i te mutunga o te tau 1959. Na he aha te takoha motuhake a te hangarau epitaxy ki te ahu whakamua o nga rawa?
Mo te silicon, i te wa i timata ai te hangarau tipu epitaxial silicon, he tino wa uaua mo te hanga o nga transistors teitei-tere me te kaha nui. Mai i te tirohanga o nga maataapono transistor, ki te whiwhi i te auau teitei me te kaha teitei, me nui te ngaohiko pakaru o te rohe kaikohi me te iti o te aukati raupapa, ara, me iti te heke o te ngaohiko. Ko te tikanga o mua kia teitei te parenga o nga rawa o te waahi kohikohi, ko te mea o muri me iti te parenga o nga rawa o te waahi kohikohi. Ko nga porowini e rua e taupatupatu ana tetahi ki tetahi. Mena ka whakahekehia te matotoru o nga mea kei roto i te waahi kaikohi ki te whakaiti i te aukati raupapa, ka tino kikokore te angiangi silicon me te ngoikore ki te tukatuka. Mena ka whakahekehia te parenga o te rauemi, ka whakahē i te whakaritenga tuatahi. Heoi, kua angitu te whanaketanga o te hangarau epitaxial. i whakaoti tenei uaua.
Otinga: Whakatipuhia he paparanga epitaxial kaha-kaha ki runga i tetahi tïpako tino iti-atete, ka hangaia te taputapu ki runga i te paparanga epitaxial. Ko tenei paparanga epitaxial teitei e whakarite ana he nui te ngaohiko pakaru o te ngongo, i te mea ko te taputapu iti-atete Ka whakaiti ano i te parenga o te taputapu, na reira ka whakaiti i te heke o te ngaohiko, na reira ka whakatau i te tautohetohe i waenga i nga mea e rua.
I tua atu, ko nga hangarau epitaxy penei i te epitaxy wahanga kohu me te epitaxy wahanga wai o GaAs me etahi atu III-V, II-VI me etahi atu rauemi semiconductor pūhui rāpoi kua tino whakawhanakehia, kua noho hei turanga mo te nuinga o nga taputapu ngaruiti, taputapu optoelectronic, hiko. He hangarau tino nui mo te hanga o nga taputapu, ina koa te tono angitu o te kurupae ngota me te hangarau epitaxy wahanga kohu waro i roto i nga papa angiangi, superlattices, nga puna quantum, nga reiti taikaha, me te epitaxy papa angiangi taumata ngota, he mahi hou tenei mo te rangahau semiconductor. Ko te whakawhanaketanga o te "mahinga whitiki hiko" i roto i te mara kua whakatakoto he turanga pakari.
I roto i nga mahi whaihua, ka mahia nga taputapu semiconductor whaanui whanui i runga i te paparanga epitaxial, ko te wafer carbide silicon ano te mahi hei tïpako. Na reira, ko te mana whakahaere o te paparanga epitaxial he waahanga nui o te umanga semiconductor bandgap whanui.
7 nga pukenga nui i roto i te hangarau epitaxy
1. Ko nga paparanga epitaxial teitei (iti) ka taea te whakatipu i te epitaxial ki runga i nga taputapu aukati iti (tiketike).
2. Ka taea te whakatipu i te paparanga epitaxial momo N (P) ki runga i te tïpako momo P (N) hei hanga tika i te hononga PN. Karekau he raruraru kapeneheihana i te wa e whakamahi ana i te tikanga whakamaarama ki te hanga hononga PN i runga i te taputapu karaihe kotahi.
3. Whakakotahitia me te hangarau kanohi, ka mahia te tipu epitaxial whiriwhiri i roto i nga waahi kua tohua, ka hangaia nga tikanga mo te hanga i nga waahi whakauru me nga taputapu me nga hanganga motuhake.
4. Ko te momo me te kukū o te doping ka taea te whakarereke i runga i nga hiahia i te wa o te tipu o te epitaxial. Ko te huringa o te kukū he huringa ohorere, he huringa puhoi ranei.
5. Ka taea e ia te tipu i nga huinga huinga rereke, maha-paparanga, maha-waahanga me nga paparanga ultra-angiangi me nga waahanga rereke.
6. Ka taea te tipu epitaxial i te pāmahana iti iho i te rewa o te rauemi, ka taea te whakahaere i te tere o te tipu, ka taea te whakatutuki i te tipu o te epitaxial o te matotoru o te taumata ngota.
7. Ka taea e ia te whakatipu i nga taonga karaihe kotahi e kore e taea te toia, penei i te GaN, nga paparanga karaihe kotahi o nga kohinga tuatoru me te quaternary, etc.
Te wa tuku: Mei-13-2024