Mai i tana kitenga, kua aro nui te carbide silicon. Ko te Silicon carbide he haurua nga ngota Si me te haurua ngota C, e honoa ana e nga here kovalent na roto i nga takirua irahiko e tiri ana i nga orbital ranu sp3. I roto i te hanganga taketake o tana karaihe kotahi, e wha nga ngota Si kua whakaritea i roto i te hanganga tetrahedral auau, me te C ngota kei te pokapū o te tetrahedron auau. Engari, ko te ngota Si ka taea te whakaaro ko te pokapū o te tetrahedron, na reira ka hanga SiC4, CSi4 ranei. Hanganga Tetrahedral. He tino katote te here covalent i roto i te SiC, a he tino tiketike te kaha o te herenga silicon-carbon, mo te 4.47eV. Nā te iti o te pūngao hē o te tāpae, he ngawari te hanga o nga tioata carbide silicon i nga momo polytypes i te wa o te tipu. Neke atu i te 200 nga momo polytypes e mohiotia ana, ka taea te wehewehe ki nga waahanga nui e toru: te kubiko, te hexagonal me te pākoki.
I tenei wa, ko nga tikanga matua o te tipu o nga kiripiri SiC ko te Tikanga Whakawhitiwhiti Kohu Tiana (te tikanga PVT), Te Whakaaetanga Maama Maama Nui (te tikanga HTCVD), te Tikanga Wāhanga Wai, me etahi atu, ko te tikanga PVT he pakeke ake, he pai ake mo te ahumahi hanga papatipu. ;
Ko te tikanga e kiia nei ko te PVT e pa ana ki te whakatakoto i nga kirikiri kakano SiC ki runga ake o te parapara, me te whakatakoto i te paura SiC hei rauemi mata ki raro o te parapara. I roto i te taiao kati o te pāmahana teitei me te pehanga iti, ka whakahekehia te paura SiC ka neke whakarunga i raro i te mahi o te rōnaki pāmahana me te rereketanga o te kukū. He tikanga mo te kawe ki te taha o te karaihe kakano, ka whakamaarama ano i muri i te taenga ki te ahua tino haunga. Ka taea e tenei tikanga te whakatutuki i te tipu o te rahi o te karaihe SiC me nga momo karaihe motuhake. ;
Heoi, ma te whakamahi i te tikanga PVT ki te whakatipu kiripiri SiC me pupuri tonu i nga tikanga tipu e tika ana i te wa roa o te tipu o te tipu, ki te kore ka arai atu ki te mate reeti, na reira ka pa ki te kounga o te karaihe. Engari, ko te tipu o nga kiripiri SiC ka oti i roto i te waahi kati. He iti noa nga tikanga aroturuki whai hua me te maha o nga taurangi, na reira he uaua te whakahaere i te tukanga.
I roto i te tukanga o te tipu o nga kiripiri SiC na te tikanga PVT, ko te aratau tipu rere o te taahiraa (Step Flow Growth) ka whakaarohia ko te tikanga matua mo te tipu o te tipu o te ahua karaihe kotahi.
Ko nga ngota Si me nga ngota C kua ngongo ka pai ki te hono ki nga ngota mata karaihe i te waahi kink, ki reira ka nucleate ka tupu, ka rere whakarara ia hikoinga. I te wa ka nui ake te whanui o te hikoi i runga i te mata karaihe i te ara kore whakamaarama o nga adatoms, ka whakahiato pea te maha o nga adatoms, a ko te ahua o te tipu o te motu-ahua-rua ka hangaia ka whakangaro i te aratau tipu rere o te hikoi, ka mate te 4H. nga korero hanganga karaihe, ka puta he maha nga hapa. Na reira, ko te whakarereketanga o nga tawhā tukanga me whakatutuki i te mana o te hanganga taahiraa mata, na reira ka pehi i te whakatipuranga o nga ngoikoretanga polymorphic, te whakatutuki i te kaupapa o te whiwhi i te ahua o te karaihe kotahi, me te whakarite i nga tioata kounga teitei.
I te mea ko te tikanga tipu kiriata SiC tuatahi i whakawhanakehia, ko te tikanga kawe kohu tinana i tenei wa ko te tikanga whakatipu auraki mo te whakatipu tioata SiC. Ka whakatauritea ki etahi atu tikanga, he iti ake nga whakaritenga o tenei tikanga mo nga taputapu tipu, he mahinga tipu ngawari, he kaha te whakahaere, he rangahau whanaketanga ahua tino, a kua tutuki i te tono ahumahi. Ko te painga o te tikanga HTCVD ka taea e ia te tipu haere (n, p) me te parakore teitei o nga wafers semi-insulating, a ka taea te whakahaere i te kukū doping kia taea ai te whakarite te kukū kawe i roto i te angiangi i waenga i te 3×1013~5×1019 /cm3. Ko nga ngoikoretanga ko te paepae hangarau teitei me te iti o te wahanga o te maakete. I te wa e pakari haere tonu ana te hangarau tipu tioata SiC-wai, ka whakaatu i te kaha nui ki te ahu whakamua i te umanga SiC katoa a muri ake nei, a tera pea he waahi pakaruhanga hou mo te tipu tioata SiC.
Te wa tuku: Apr-16-2024