Te hapa tapatoru
Ko nga hapa tapatoru te tino mate kino o te ahua o nga paparanga epitaxial SiC. He maha nga purongo tuhinga kua whakaatu ko te hanganga o nga hapa tapatoru e pa ana ki te ahua tioata 3C. Heoi, na te rereke o nga tikanga tipu, he rereke te ahua o te maha o nga hapa tapatoru i te mata o te paparanga epitaxial. Ka taea te wehewehe ki nga momo e whai ake nei:
(1) He hapa tapatoru me nga matūriki nui kei runga
Ko tenei momo koha tapatoru he matūriki porowhita nui kei runga, tera pea ka taka mai i nga taonga i te wa e tipu ana. He waahi tapatoru iti me te mata taratara ka kitea whakararo mai i tenei pito. Ko tenei na te mea i te wa o te tukanga epitaxial, e rua nga paparanga 3C-SiC rereke ka hangaia i roto i te waahi tapatoru, ko te paparanga tuatahi ka nucleated i te atanga ka tipu i roto i te rere o te taahiraa 4H-SiC. Ka piki ake te matotoru o te paparanga epitaxial, ko te paparanga tuarua o te 3C polytype nucleates me te tipu ki roto i nga rua iti tapatoru, engari ko te tipu 4H kaore e tino kapi i te waahanga polytype 3C, ka marama tonu te ahua o te waahanga V-rite o 3C-SiC kitea
(2) He matūriki iti kei runga me nga hapa tapatoru me te mata taratara
He iti rawa atu nga matūriki kei nga poupou o tenei momo koha tapatoru, penei i te Whakaahua 4.2. A ko te nuinga o te waahi tapatoru e hipokina ana e te rere o te taahiraa o te 4H-SiC, ara, ko te paparanga 3C-SiC katoa kua oti te whakauru ki raro i te paparanga 4H-SiC. Ko nga kaupae tipu o te 4H-SiC anake ka kitea i runga i te mata koha tapatoru, engari he nui ake enei kaupae i nga hikoi tipu karaihe 4H tikanga.
(3) Nga hapa tapatoru me te mata maeneene
Ko tenei momo koha tapatoru he ahua maeneene o te mata, penei i te Whakaahua 4.3. Mo enei hapa tapatoru, ka hipokina te paparanga 3C-SiC e te rere o te hikoi o te 4H-SiC, me te ahua o te karaihe 4H i runga i te mata ka pai ake, ka pai ake.
Nga hapa o te rua epitaxial
Ko nga rua epitaxial (Pits) tetahi o nga hapa o te ahua o te mata o te mata, a ko te ahua o te ahua o te mata me te whakahuahua hanganga e whakaatuhia ana i te Whakaahua 4.4. Ko te waahi o nga poka waikura miro (TD) i kitea i muri i te tuhi KOH i te tuara o te taputapu he tino korero ki te waahi o nga rua epitaxial i mua i te whakarite taputapu, e tohu ana ko te hanganga o nga hapa o te rua epitaxial e pa ana ki nga wehenga miro.
nga hapa o te karoti
Ko nga koha o te karoti he koha mata noa i roto i nga paparanga epitaxial 4H-SiC, a ka whakaatuhia o raatau ahua ahua ki te Whakaahua 4.5. E ai ki te korero ko te hapa o te karoti i puta mai i te kupenga o nga hapa taapu Franconian me te prismatic kei runga i te papa rererangi e honoa ana e nga wehenga rite-taahiraa. Kua korerohia ano ko te hanganga o nga hapa o te karoti e pa ana ki te TSD i roto i te taputapu. Tsuchida H. et al. i kitea ko te kiato o nga hapa o te karoti i roto i te paparanga epitaxial he rite ki te kiato o te TSD i roto i te taputapu. A, ma te whakataurite i nga whakaahua ahua o te mata i mua atu i muri mai i te tipu o te epitaxial, ka kitea nga hapa katoa o te karoti ki te TSD i roto i te tïpako. Wu H. et al. I whakamahia e te Raman te whakamararatanga tohu tohu whakamatautau kia kitea ko nga hapa o te karoti kaore i roto i te ahua kiriata 3C, engari ko te polytype 4H-SiC anake.
Te paanga o nga hapa tapatoru ki nga ahuatanga o te taputapu MOSFET
Ko te ahua 4.7 he histogram o te tohatoha tauanga o nga ahuatanga e rima o tetahi taputapu kei roto ko nga hapa tapatoru. Ko te raina iraira puru te raina wehewehe mo te whakahekenga o nga ahuatanga o te taputapu, ko te raina iraira whero te raina wehewehe mo te rahunga o te taputapu. Mo te korenga o te taputapu, he nui te paanga o nga hapa tapatoru, a he nui ake te reeti kore i te 93%. Ko te nuinga tenei na te awe o nga hapa tapatoru ki nga ahuatanga rerenga whakamuri o nga taputapu. Tae atu ki te 93% o nga taputapu kei roto ko nga hapa tapatoru kua tino piki ake te rerenga whakamuri. I tua atu, ko nga hapa tapatoru he tino paanga ki nga ahuatanga rerenga o te kuaha, me te 60%. E whakaatu ana i te Ripanga 4.2, mo te whakahekenga ngaohiko paepae me te whakahekenga ahuatanga o te diode tinana, he iti te paanga o nga hapa tapatoru, a ko nga wahanga whakaheke he 26% me te 33%. I runga i nga ahuatanga o te piki ake o te aukati, he ngoikore te paanga o nga hapa tapatoru, me te 33%.
Te paanga o nga hapa o te rua epitaxial ki nga ahuatanga o te taputapu MOSFET
Ko te Figure 4.8 he histogram o te tohatoha tauanga o nga ahuatanga e rima o tetahi taputapu kei roto nga koha koha epitaxial. Ko te raina iraira puru te raina wehewehe mo te whakahekenga o nga ahuatanga o te taputapu, ko te raina iraira whero te raina wehewehe mo te rahunga o te taputapu. Ka kitea mai i tenei ko te maha o nga taputapu kei roto nga koha o te rua epitaxial i te tauira SiC MOSFET he rite ki te maha o nga taputapu kei roto nga hapa tapatoru. He rereke te paanga o nga hapa o te rua epitaxial ki nga ahuatanga o te taputapu mai i nga hapa tapatoru. Mo te korenga o te taputapu, ko te reeti kore o nga taputapu kei roto i nga hapa o te rua epitaxial he 47% noa iho. Ka whakatauritea ki nga hapa tapatoru, ka tino ngoikore te paanga o nga hapa o te rua epitaxial ki nga ahuatanga rerenga whakamuri me nga ahuatanga rerenga o te kuaha o te taputapu, me te 53% me te 38% o te whakahekenga, penei i te Ripanga 4.3. I tetahi atu taha, ko te paanga o nga hapa o te rua epitaxial i runga i nga ahuatanga o te ngaohiko paepae, nga ahuatanga o te diode tinana me te aukati he nui ake i era o nga hapa tapatoru, me te tauwehenga whakahekenga ka eke ki te 38%.
I te nuinga o te waa, e rua nga ngoikoretanga ahua, ara ko nga tapatoru me nga rua epitaxial, he nui te paanga ki te korenga me te paheketanga o nga ahuatanga o nga taputapu SiC MOSFET. Ko te noho o nga hapa tapatoru te mea tino mate, me te reiti koretake ki te 93%, te nuinga ka kitea he pikinga nui o te rerenga whakamuri o te taputapu. Ko nga taputapu kei roto i nga koha o te rua epitaxial he iti ake te reeti kore o te 47%. Heoi ano, he nui ake te paanga o nga koha o te rua epitaxial ki te ngaohiko paepae o te taputapu, nga ahuatanga kawe o te diode tinana me te aatete ki runga i nga hapa tapatoru.
Te wa tuku: Apr-16-2024