I roto i te tukanga epitaxy wahanga kohu (VPE), ko te mahi a te turanga ko te tautoko i te tïpako me te whakarite whakawera rite i te wa o te tipu. Ko nga momo turanga rereke e pai ana mo nga ahuatanga tipu rereke me nga punaha rauemi. E whai ake nei etahi o nga momo turanga e whakamahia nuitia ana i te wahanga kohuepitaxy:
Paepae turanga
Ka whakamahia nga turanga o te paera i roto i nga punaha epitaxy wahanga kohu whakapae ranei. Ka taea e ratou te pupuri i te tïpako me te tuku i te hau kia rere ki runga i te tïpako, e äwhina ana ki te whakatutuki i te tipu epitaxial rite.
Turanga-rite-kopae (tuuturu poutū)
He pai nga turanga kopae-ahua mo nga punaha epitaxy wahanga kohu poutū, e tuu poutū ana te tïpako. Ka awhina tenei hoahoa ki te whakaiti i te waahi whakapiri i waenga i te tïpako me te kaitautoko, na reira ka whakaiti i te mate wera me te pokenga pea.
Karekau whakapae
He iti noa iho te hunga whakaraerae whakapae i roto i te epitaxy wahanga kohu, engari ka whakamahia pea ki etahi punaha tipu motuhake hei tuku i te tipu epitaxial ki te ahunga whakapae.
Monolithic epitaxial tauhohenga susceptor
Ko te susceptor tauhohenga epitaxial monolithic i hangaia mo te tïpako kotahi, ka taea te whakarato i te mana o te pāmahana tino tika me te pai ake o te wehenga waiariki, e tika ana mo te tipu o nga paparanga epitaxial teitei.
Nau mai ki to maatau paetukutuku mo nga korero hua me te korerorero.
To tatou paetukutuku: https://www.vet-china.com/
Wā tuku: Hūrae-30-2024