Ko te rauemi pai mo nga waahanga tika o nga miihini whakaahua whakaahua
I roto i te mara semiconductor,kirika carbide ukuKo te nuinga o nga rauemi e whakamahia ana i roto i nga taputapu matua mo te hanga ara iahiko whakauru, penei i te tepu mahi carbide silicon, nga ara arahi,whakaata, chuck momi uku, ringa, kōpae huri, taputapu, aha atu mo nga miihini lithography.
Silicon carbide wahi ukumo nga taputapu semiconductor me nga taputapu whatu
● Silicon carbide kōpae huri uku. Mēnā he mea hanga te kōpae huri ki te rino, ki te rino waro ranei, he poto tona oranga mahi, he nui hoki te whakarea whakareatanga wera. I te wa e tukatuka ana i nga wafers silicon, ina koa i te wa tere tere o te huri, oro ranei, na te kakahu me te huringa waiariki o te kōpae huri he uaua ki te whakarite i te papatahi me te whakarara o te wafer silicon. Ko te kopae mira i mahia mai i nga karamu karamu he nui te pakeke me te iti o te kakahu, a ko te whakarea whakareatanga waiariki he rite tonu ki tera o nga angiangi silicon, no reira ka taea te kuhu me te whakakoi i te tere tere.
● Silicon carbide taputapu uku. I tua atu, i te wa e hangaia ana nga wafers silicon, me uru ki te maimoatanga o te wera wera nui me te kawe i te nuinga o nga wa ma te whakamahi i nga taputapu carbide silicon. He ātete ki te wera me te kore e pakaru. Ko te waro rite-taimana (DLC) me etahi atu paninga ka taea te tono ki runga i te mata ki te whakarei ake i te mahi, ki te whakaiti i te kino o te angiangi, me te aukati i te horapa o te poke.
● tepu mahi Silicon carbide. Ko te tango i te tepu mahi i roto i te miihini lithography hei tauira, ko te tepu mahi te nuinga o te kawenga mo te whakaoti i te nekehanga whakakitenga, me te tere-tere, nui-whiu, ono-tohu-o-freedom nano-level ultra-precision nekehanga. Hei tauira, mo te miihini lithography me te taumira 100nm, he tika whakakikorua o te 33nm, me te whanui raina o te 10nm, me 150nm/s te tika o te tuunga o te ripanga mahi, ko te wafer mask-silicon wafer i te hikoi kotahi me te tere matawai he 150nm/s me te 120nm/s, ka tata te tere matawai kanohi 500nm/s, me te tepu mahi e hiahiatia ana kia tino tika te nekehanga me te pumau.
Hoahoa hoahoa o te ripanga mahi me te tepu moroiti (waahanga wahanga)
● Silicon carbide Ceramic whakaata tapawha. Ko nga waahanga matua i roto i nga taputapu ara iahiko whakauru matua penei i nga miihini lithography he ahua uaua, he uaua te rahi, me nga hanganga mama marama, he uaua ki te whakarite i nga waahanga karaima silicon carbide. I tenei wa, ka whakamahia e nga kaihanga taputapu ara iahiko whakauru o te ao, penei i te ASML i Netherlands, NIKON me CANON i Hapani, he maha nga rauemi penei i te karaihe microcrystalline me te cordierite hei whakarite i nga whakaata tapawha, nga waahanga matua o nga miihini lithography, me te whakamahi carbide silicon. uku ki te whakarite i etahi atu waahanga hanganga mahi teitei me nga ahua ngawari. Heoi, kua whakamahia e nga tohunga mai i te Whare Rangahau Taonga Taonga o Haina te hangarau whakarite rangatira ki te whakatutuki i te whakareri o te rahi-rahi, te ahua matatini, te tino mama, te whakakii i nga whakaata tapawha karaika karaima me etahi atu waahanga hangahanga me te mahi mo nga miihini lithography.
Te wa tuku: Oketopa-10-2024