Ko te waipara kiriata angiangi ko te whakakakahu i tetahi paparanga kiriata ki runga i te papanga tïpako matua o te hikohiko. Ka taea te hanga i tenei kiriata mai i nga momo momo mea, penei i te whakamau i te konupora hika hauhaurua, te polysilicon semiconductor, te parahi whakarewa, me etahi atu.
Mai i te tirohanga o te tukanga hanga maramara semiconductor, kei roto i te waahanga o mua.
Ka taea te wehea te tukanga whakarite kiriata angiangi ki nga waahanga e rua i runga i tana tikanga hanga kiriata: te whakangao kohu tinana (PVD) me te waipara matū.(CVD), i roto i nga taputapu tukatuka CVD he nui ake te waahanga.
Ko te whakahekenga kohu-a-tinana (PVD) e pa ana ki te whakaetonga o te mata o te puna rauemi me te waipara i runga i te mata o te tïpako na roto i te hau/plasma pehanga-iti, tae atu ki te whakaetonga, te pupuhi, te kurupae katote, aha atu;
Kohu kohu matū (CVD) e pā ana ki te tukanga o te whakatakoto kiriata totoka ki runga i te mata o te angiangi silicon na roto i te tauhohenga matū o te ranunga hau. E ai ki nga ahuatanga o te tauhohenga (te pehanga, te tohu o mua), ka wehea ki te pehanga hauCVD(APCVD), pehanga itiCVD(LPCVD), te plasma whakarei CVD (PECVD), teitei kiato plasma CVD (HDPCVD) me te whakahekenga apa ngota (ALD).
LPCVD: Ko te LPCVD he pai ake te kaha ki te kapi i te hikoi, he pai te hanganga me te mana o te hanganga, he nui te reiti me te whakaputanga, me te tino whakaiti i te puna o te parahanga matūriki. Ko te whakawhirinaki ki nga taputapu whakamahana hei puna wera ki te pupuri i te tauhohenga, te whakahaere i te pāmahana me te pehanga hau he mea tino nui. Ka whakamahia nuitia i roto i te hanga papanga Poly o nga pūtau TopCon.
PECVD: Ko te PECVD e whakawhirinaki ana ki te plasma i hangaia e te reo irirangi irirangi whakauru ki te whakatutuki i te iti o te pāmahana (iti iho i te 450 nga nekehanga) o te tukanga whakaheke kiriata angiangi. Ko te whakaheke i te pāmahana iti te painga nui, na reira ka penapena te kaha, te whakaheke i nga utu, te whakanui ake i te kaha whakaputa, me te whakaiti i te pirau o te oranga o nga kaikawe tokoiti i roto i nga angiangi silicon na te wera nui. Ka taea te tono ki nga tukanga o nga momo pūtau penei i te PERC, TOPCON, me te HJT.
ALD: He pai te whakakotahitanga o te kiriata, he matotoru me te kore he kohao, he pai nga ahuatanga o te kapi, ka taea te kawe i te iti o te pāmahana (te pāmahana rūma-400 ℃), ka taea te whakahaere tika i te matotoru o te kiriata, e pa ana ki nga taputapu o nga ahua rereke, a e kore e hiahia ki te whakahaere i te ōritetanga o te rere tauhohenga. Engari ko te kino ko te tere o te hanga kiriata he puhoi. Pērā i te paparanga tuku-marama konutea sulfide (ZnS) ki te whakaputa i nga insulators nanostructured (Al2O3/TiO2) me nga whakaaturanga electroluminescent-kiriata angiangi (TFEL).
Ko te tukunga paparanga ngota (ALD) he tukanga whakakikorua marua ka hanga he kiriata angiangi ki te mata o te paparanga tïpako ma ia paparanga i te ahua o te paparanga ngota kotahi. I te timatanga o te tau 1974, i whakawhanakehia e Tuomo Suntola te tohunga ahupūngao a Finnish tenei hangarau me te wikitoria i te 1 miriona euros Millennium Technology Award. I whakamahia tuatahitia te hangarau ALD mo nga whakaaturanga hiko-a-papa-papatahi, engari kaore i whakamahia nuitia. Tae noa ki te timatanga o te rautau 21 ka timata te hangarau ALD ki te whakamahi i te umanga semiconductor. Na roto i te hanga i nga rawa-nui-korikori tino kikokore hei whakakapi i te waikura silicon tuku iho, i pai te whakaoti i te raru o naianei i te whakahekenga o te whanui raina o nga transistors aa-apara, na te ture a Moore kia whanake ake ki nga whanui raina iti ake. I kii a Takuta Tuomo Suntola ka taea e te ALD te whakanui ake i te kiato whakauru o nga waahanga.
Ko nga raraunga a te iwi e whakaatu ana ko te hangarau ALD i hangaia e Dr. Tuomo Suntola o PICOSUN i Finland i te tau 1974, a kua mahi ahumahi ki waho, penei i te kiriata dielectric teitei i roto i te maramara nanometer 45/32 i hangaia e Intel. I Haina, i whakauruhia e taku whenua te hangarau ALD neke atu i te 30 tau i muri mai i nga whenua ke. I te marama o Oketopa 2010, i whakahaerehia e PICOSUN i Finland me te Whare Wananga o Fudan te hui whakawhiti matauranga ALD tuatahi i roto i te whare, me te whakauru i te hangarau ALD ki Haina mo te wa tuatahi.
Ka whakatauritea ki te waipara matū matū tuku iho (CVD) me te whakaheke kohu tinana (PVD), ko nga painga o te ALD he pai rawa atu te riterite-toru-ahua, te riterite o te kiriata-a-rohe nui, me te mana matotoru tika, e tika ana mo te whakatipu kiriata ultra-aniangi i runga i nga ahua mata uaua me nga hanganga owehenga teitei.
—Putake Raraunga: Papamahi Tukatuka Micro-nano o te Whare Wananga o Tsinghua—
I te wa i muri mai i te Moore, kua tino pai ake te uaua me te nui o te tukanga o te hanga angiangi. Ko te tango i nga maramara arorau hei tauira, me te piki ake o te maha o nga raina whakaputa me nga tukanga i raro iho i te 45nm, ina koa ko nga raina whakaputa me nga tukanga o te 28nm me raro, ko nga whakaritenga mo te matotoru paninga me te mana tika he teitei ake. I muri i te whakaurunga o te hangarau whakakitenga maha, kua tino piki ake te maha o nga waahanga tukanga ALD me nga taputapu e hiahiatia ana; i roto i te mara o nga maramara mahara, kua tipu te mahi hanga auraki mai i te 2D NAND ki te 3D NAND hanganga, kua piki haere tonu te maha o nga papa o roto, a ko nga waahanga kua ata whakaatu i nga waahanga teitei, teitei o nga hanganga ohanga, me te mahi nui. o ALD kua timata te puta. Mai i te tirohanga o te whanaketanga a meake nei o nga semiconductors, ka kaha ake te mahi a te hangarau ALD i roto i te waa o muri mai o Moore.
Hei tauira, ko te ALD anake te hangarau waipara ka taea te whakatutuki i nga whakaritenga o te kapi me te mahi kiriata o nga hanganga tapae 3D matatini (penei i te 3D-NAND). Ka tino kitea tenei i te ahua i raro nei. Ko te kiriata i whakatakotoria ki te CVD A (puru) kaore e kapi katoa i te waahanga o raro o te hanganga; ahakoa ka mahia etahi whakarereketanga tukanga ki te CVD (CVD B) ki te whakatutuki i te kapinga, he tino rawakore te mahi kiriata me te hanganga matū o te waahi o raro (waahi ma i te ahua); i te rereke, ko te whakamahinga o te hangarau ALD e whakaatu ana i te kapi katoa o te kiriata, me te kounga teitei me nga ahuatanga o te kiriata ka tutuki i nga waahanga katoa o te hanganga.
—-Whakaahua Painga o te hangarau ALD i whakaritea ki te CVD (Source: ASM)—-
Ahakoa kei te noho tonu a CVD i nga waahanga nui rawa atu o te maakete mo te wa poto, kua noho ko ALD tetahi o nga waahanga tipu tere o te maakete taputapu wafer fab. I roto i tenei maakete ALD he nui te tipu me te mahi nui ki te hanga maramara, he kamupene rangatira a ASM mo nga taputapu ALD.
Wā tuku: Hune-12-2024