VET EnergyKo te kaikawe graphite tukanga PECVD he kai kai-kounga teitei kua whakaritea mo te tukanga PECVD (whakapai ake i te whakahekenga kohu matū plasma). Ko tenei kaikawe kauwhata he mea hanga mai i te maamaa teitei, te teitei o te papanga graphite, me te tino pai o te pāmahana teitei, te aukati waikura, te pumau o te rahi me etahi atu ahuatanga, ka taea te whakarato i tetahi papaa kawe mo te tukanga PECVD, hei whakarite i te rite me te papatahi o te kiriata angiangi. tukunga.
Ko nga kaikawe graphite mo te tukanga PECVD e whai ake nei nga ahuatanga:
▪ Te parakore teitei: he iti rawa te poke o te poke, te karo i te poke o te kiriata me te whakarite i te kounga o te kiriata.
▪ Kiato teitei: teitei teitei, te kaha miihini teitei, te kaha ki te tu atu i te pāmahana teitei me te pehanga teitei o te taiao PECVD.
▪ He pai te ahua o te ahua: he rereke te ahua iti i te teitei o te pāmahana, me te whakarite kia mau tonu te tukanga.
▪ He pai te kawe i te waiariki: he pai te whakawhiti i te wera hei aukati i te wera angiangi.
▪ He kaha te aukati i te waikura: he kaha ki te aukati i te horo i nga momo hau me te plasma.
▪ Ratonga Whakaritea: Ka taea te whakarite i nga kaikawe graphite o nga rahi me nga ahua rereke i runga i nga hiahia o nga kaihoko.
Rauemi kawhata mai i te SGL:
| Tawhā angamaheni: R6510 | |||
| Taurangi | Paerewa whakamatautau | Uara | Waeine |
| Te rahi o te witi | ISO 13320 | 10 | μm |
| Kiato rahi | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Porosity tuwhera | DIN66133 | 10 | % |
| Te rahi o te pore | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Te uruhanga | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell pakeke HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Te parenga hiko motuhake | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Te kaha whakaheke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Te kaha kōpeke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Kōwae o Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Roha wera(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Te kawe werawera (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
He mea hanga motuhake mo te hangai o nga pūtau solar tino pai, e tautoko ana i te tukatuka wafer nui-rahi G12. Ko te hoahoa kaikawe kua pai ake te whakanui ake i te whakaputanga, ka kaha ake nga reeti hua me te whakaheke i nga utu whakaputa.
| Tūemi | Momo | Kaikawe angiangi tau |
| PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 156 | 156-13 poti grephite | 144 |
| 156-19 poti grephite | 216 | |
| 156-21 poti grephite | 240 | |
| 156-23 poti kauwhata | 308 | |
| PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 125 | 125-15 poti grephite | 196 |
| 125-19 poti grephite | 252 | |
| 125-21 poti graphite | 280 |
