Ko nga whakaritenga ahumahi Semiconductor mo nga whakaritenga rauemi graphite he tino nui, he tino tika te rahi o te matūriki o te graphite, te teitei o te pāmahana, te kaha teitei, te ngaronga iti me etahi atu painga, penei i te: hua graphite sintered i pokepokea ai.Na te mea ko nga taputapu graphite e whakamahia ana i roto i te umanga semiconductor (tae atu ki nga whakamahana me o raatau mate kua mate) e hiahiatia ana kia mau tonu te whakamahana me te whakamahana, kia roa ake ai te oranga o nga taputapu graphite, ko te nuinga o te waa e hiahiatia ana kia mau tonu te mahi o nga taputapu graphite e whakamahia ana. me te mahi paanga aatete wera.
01 Ko nga taputapu kawhata mo te tipu karaihe semiconductor
Ko nga tukanga katoa e whakamahia ana ki te whakatipu tioata semiconductor kei te mahi i raro i te pāmahana teitei me te taiao pirau. Ko te rohe wera o te oumu tipu karaihe te nuinga o te wa e rite ana ki te wera-atete me te waikura-aukati teitei-te parakore wāhanga graphite, pērā i te whakamahana, te ipu, te rango insulation, te rango arataki, te hiko, te pupuri ipu, te nati hiko, etc.
Ka taea e matou te hanga i nga waahanga graphite katoa o nga taputapu hanga karaihe, ka taea te tuku takitahi, i roto ranei i nga huinga, i nga waahanga graphite ranei o nga momo rahi e rite ana ki nga whakaritenga a nga kaihoko. Ko te rahi o nga hua ka taea te ine i runga i te waahi, ka iti ake te kiko o te pungarehu o nga hua kua otinui atu i te 5ppm.
02 Nga taputapu kawhata mo te epitaxy semiconductor
Ko te tukanga epitaxial e pa ana ki te tipu o te paparanga o te papanga karaihe kotahi me te whakaritenga reeti rite ki te tïpako i runga i te tïpako karaihe kotahi. I roto i te tukanga epitaxial, ka utaina te angiangi ki runga i te kopae kauwhata. Ko te mahi me te kounga o te kopae kauwhata he mea nui ki te kounga o te paparanga epitaxial o te angiangi. I roto i te mara o te hanga epitaxial, he rota o ultra-tiketike pure graphite me te turanga graphite parakore tiketike ki SIC paninga e hiahiatia ana.
Ko te turanga kauwhata o to taatau kamupene mo te epitaxy semiconductor he maha nga momo tono, ka taea te rite ki te nuinga o nga taputapu e whakamahia nuitia ana i roto i te umanga, me te tino ma, te paninga rite, te oranga ratonga pai, me te aukati matū teitei me te pumau o te waiariki.
03 Nga taputapu kawhata mo te whakaurunga katote
Ko te whakaurunga katote e pa ana ki te tukanga o te whakatere i te kurupae plasma o te boron, te ūkuikui me te arsenic ki tetahi kaha, katahi ka werohia ki te paparanga mata o te papanga angiangi hei huri i nga taonga o te paparanga mata. Ko nga waahanga o te taputapu whakaurunga katote me hanga mai i nga mea maamaa-nui me te pai o te wera wera, te wera wera, te iti o te pirau na te kurupae katote me te iti o te poke. Ko te kauwhata teitei-ma te whakatutuki i nga whakaritenga tono, a ka taea te whakamahi mo te ngongo rere, nga momo slits, electrodes, uhi hiko, conduits, terminator kurupae, me etahi atu o nga taputapu whakauru katote.
Kaore e taea e taatau anake te whakarato i te uhi whakamarumaru graphite mo nga momo miihini whakauru katote, engari ka whakarato ano hoki i nga hiko kauwhata parakore teitei me nga puna katote me te aukati nui o te waikura o nga momo whakaritenga. Nga tauira e tika ana: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM me etahi atu taputapu. I tua atu, ka taea hoki e matou te whakarato i te karaera, te tungsten, te molybdenum, nga hua konumohe me nga waahanga whakakikorua.
04 Ko nga taonga whakamaarama graphite me etahi atu
Ko nga taonga whakamaarama wera e whakamahia ana i roto i nga taputapu whakangao semiconductor ko te graphite hard feel, te kawa ngohengohe, te pepa kauwhata, te pepa kauwhata, me te taura kauwhata.
Ko o tatou rauemi mata katoa he graphite kawemai, ka taea te tapahi i runga i te rahinga motuhake o nga whakaritenga a te kaihoko, te hoko katoa ranei.
Ka whakamahia te paepae waro-wao hei kawe mo te paninga kiriata i roto i te tukanga whakaputa o te hiraka monocrystalline solar me nga pūtau hika polycrystalline. Ko te kaupapa mahi: whakauruhia te maramara silicon ki roto i te paepae CFC ka tukuna ki roto i te ngongo oumu hei tukatuka i te paninga kiriata.
