A mofo manifytsy maintsy mandalo fiovana telo mba ho tena chip semiconductor: voalohany, ny ingot miendrika sakana dia tapaka ho wafers; amin'ny dingana faharoa, ny transistor dia voasokitra eo anoloan'ny wafer amin'ny alàlan'ny dingana teo aloha; farany, fonosana dia tanterahina, izany hoe, amin`ny alalan`ny fanapahana dingana, nymofo manifylasa chip semiconductor tanteraka. Hita fa ny fizotran'ny fonosana dia an'ny dingana aoriana. Amin'ity dingana ity, ny wafer dia hotapahina amin'ny poti-hexahedron maromaro. Ity dingana amin'ny fahazoana chips tsy miankina ity dia antsoina hoe "Singulation", ary ny dingan'ny fametahana ny biraon'ny wafer ho cuboids mahaleo tena dia antsoina hoe "fanapahana wafer (Die Sawing)". Vao haingana, miaraka amin'ny fanatsarana ny fampidirana semiconductor, ny hatevin'nyny mofo misydia lasa manify sy manify, izay mazava ho azy fa mitondra fahasarotana be ny "singulation" dingana.
Ny fivoaran'ny dicing wafer
Ny fizotry ny front-end sy back-end dia nivoatra tamin'ny alàlan'ny fifandraisana amin'ny fomba isan-karazany: ny fivoaran'ny fizotry ny back-end dia afaka mamaritra ny rafitra sy ny toerana misy ny poti-kely hexahedron misaraka amin'ny maty eo amin'ny sisiny.mofo manify, ary koa ny rafitra sy ny toerana misy ny pads (lalana fifandraisana elektrika) amin'ny wafer; ny mifanohitra amin'izany, ny fivoaran'ny dingana eo anoloana dia nanova ny dingana sy ny fombamofo manifylamosina manify sy "maty dicing" ao amin'ny dingana back-end. Noho izany, ny endriky ny fonosana mihasarotra dia hisy fiantraikany lehibe amin'ny fizotran'ny back-end. Ankoatr'izay, ny isa, ny fomba fiasa ary ny karazana dicing dia hiova ihany koa arakaraka ny fiovan'ny endriky ny fonosana.
Mpanoratra Dicing
Tany am-piandohana, ny "manapaka" amin'ny fampiasana hery ivelany no hany fomba dicing afaka mizara nymofo manifyHiverina any amin'ny hexahedron. Na izany aza, io fomba io dia manana ny fatiantoka amin'ny famongorana na famotehana ny sisin'ny puce kely. Ankoatr'izay, satria tsy nesorina tanteraka ny burrs amin'ny metaly, dia tena masiaka koa ny faritra tapaka.
Mba hamahana ity olana ity dia nisy ny fomba fanapahana "Scribing", izany hoe alohan'ny "manapaka", ny endrik'ilaymofo manifydia tapaka eo amin'ny antsasaky ny halaliny. "Scribing", araka ny soso-kevitry ny anarana, dia manondro ny fampiasana impeller mba hijerena (antsasaky ny tapany) ny lafiny anoloan'ny wafer mialoha. Tany am-piandohana, ny ankamaroan'ny wafers ambanin'ny 6 santimetatra dia nampiasa ity fomba fanapahana ity amin'ny "fanapahana" voalohany eo anelanelan'ny puce ary avy eo "manapaka".
Blade Dicing na Blade Sawing
Ny fomba fanapahana "Scribing" dia nivoatra tsikelikely ho fomba fanapahana (na fanatsofana) "Blade dicing", izay fomba fanapahana mampiasa lelany indroa na intelo misesy. Ny fomba fanapahana "Blade" dia afaka manonitra ny fisehoan-javatra misy poti kely mipoitra rehefa "manapaka" aorian'ny "soratra", ary afaka miaro ny poti kely mandritra ny dingana "singulation". Ny fanapahana "Blade" dia tsy mitovy amin'ny fanapahana "dicing" teo aloha, izany hoe aorian'ny fanapahana "blade" dia tsy "manapaka", fa manapaka indray amin'ny lelany. Noho izany, dia antsoina koa hoe "dingana dicing" fomba.
Mba hiarovana ny wafer amin'ny fahasimbana ivelany mandritra ny dingan'ny fanapahana, dia hapetraka mialoha ny sarimihetsika ny wafer mba hahazoana antoka ny "single" azo antoka kokoa. Mandritra ny dingan'ny "fitotoana lamosina", ny sarimihetsika dia apetaka eo anoloan'ny wafer. Saingy ny mifanohitra amin'izany, amin'ny fanapahana "blade", ny sarimihetsika dia tokony hafatotra amin'ny lamosin'ny wafer. Nandritra ny eutectic die fatorana (maty fatorana, fanamboarana ny misaraka chips amin'ny PCB na raikitra rafitra), ny sarimihetsika mifatotra amin'ny lamosina dia ho tonga dia hianjera. Noho ny fikorontanana be mandritra ny fanapahana, ny rano DI dia tokony ho voafafa tsy tapaka amin'ny lafiny rehetra. Ankoatr'izay, ny impeller dia tokony hipetaka amin'ny poti- diamondra mba ho tsara kokoa ny silaka. Amin'izao fotoana izao, ny tapany (ny hatevin'ny lelany: ny sakan'ny groove) dia tsy maintsy mitovy ary tsy tokony hihoatra ny sakan'ny dicing groove.
Nandritra ny fotoana ela, ny tsofa no fomba fanapaka nentim-paharazana be mpampiasa indrindra. Ny tombony lehibe indrindra dia ny fahafahany manapaka wafer marobe ao anatin'ny fotoana fohy. Na izany aza, raha mitombo be ny hafainganam-pandehan'ny sakafo, dia hitombo ny mety hisian'ny peeling ny sisiny chiplet. Noho izany, ny isan'ny fihodinan'ny impeller dia tokony ho fehezina in-30.000 eo ho eo isa-minitra. Dia hita fa ny teknolojia ny semiconductor dingana dia matetika miafina nanangona tsikelikely amin'ny alalan'ny fotoana lava fanangonan-karena sy ny fitsapana sy ny fahadisoana (ao amin'ny fizarana manaraka momba ny eutectic fatorana, isika dia hiresaka momba ny votoaty momba ny fanapahana sy ny DAF).
Dicing alohan'ny fitotoana (DBG): nanova ny fomba ny filaharan'ny fanapahana
Rehefa atao amin'ny wafer 8-inch ny savaivony ny fanapahana, dia tsy ilaina ny manahy ny amin'ny fikorianan'ny sisin'ny chiplet na ny triatra. Saingy rehefa mitombo ho 21 santimetatra ny savaivony ary mihamanify ny hateviny, dia manomboka miseho indray ny fisehoan-javatra mipoitra sy mivaky. Mba hampihenana ny fiantraikany ara-batana amin'ny wafer mandritra ny dingan'ny fanapahana, ny fomba DBG amin'ny "dicing alohan'ny fitotoana" dia manolo ny filaharan'ny fanapahana nentim-paharazana. Tsy toy ny fomba fanapahana "blade" nentim-paharazana izay manapaka tsy tapaka, ny DBG dia manao fanapahana "blade" aloha, ary avy eo dia manify tsikelikely ny hatevin'ny wafer amin'ny alàlan'ny fanalefahana tsy tapaka ny lamosina mandra-pizarana ny puce. Azo lazaina fa DBG dia dikan-teny nohavaozina tamin'ny fomba fanapahana "blade" teo aloha. Satria afaka mampihena ny fiantraikan'ny fanapahana faharoa, ny fomba DBG dia nalaza haingana tao amin'ny "fonosana wafer-level".
Laser Dicing
Ny fizotry ny fonosana chip scale wafer (WLCSP) dia mampiasa indrindra ny fanapahana tamin'ny laser. Ny fanapahana tamin'ny laser dia afaka mampihena ny fisehoan-javatra toy ny peeling sy ny famoretana, amin'izany dia mahazo chips tsara kokoa, fa rehefa mihoatra ny 100μm ny hatevin'ny wafer, dia hihena be ny vokatra. Noho izany, dia matetika ampiasaina amin'ny ovy amin'ny hatevin'ny latsaky ny 100μm (matetika manify). Ny fanapahana tamin'ny laser dia manapaka ny silisiôma amin'ny alalan'ny fampiasana laser mahery vaika amin'ny alan'ny scribe an'ny wafer. Na izany aza, rehefa mampiasa ny fomba fanapahana tamin'ny laser mahazatra (Laseran'ny fomba fanao), ny sarimihetsika fiarovana dia tsy maintsy ampiharina amin'ny ovy ambonin'ny mialoha. Satria ny hafanana na ny fandoroana ny endrik'ilay wafer amin'ny laser, ireo fifandraisana ara-batana ireo dia hamokatra grooves eo amin'ny tampon'ny wafer, ary hifikitra amin'ny tany ihany koa ireo sombintsombin'ny silisiôma tapaka. Hita fa ny fomba fanapahana tamin'ny laser nentim-paharazana ihany koa dia manapaka mivantana ny endriky ny wafer, ary amin'io lafiny io, dia mitovy amin'ny fomba fanapahana "blade".
Stealth Dicing (SD) dia fomba iray hanapahana voalohany ny ao anaty wafer amin'ny angovo laser, ary avy eo ny fanerena ivelany amin'ny kasety mifatotra amin'ny lamosina mba hanapaka azy, ka mampisaraka ny puce. Rehefa ampiharina amin'ny kasety ao ambadika ny fanerena, dia hampiakatra avy hatrany ambony ny wafer noho ny fanenjanan'ny kasety, ka mampisaraka ny puce. Ny tombony amin'ny SD amin'ny fomba fanapahana laser nentim-paharazana dia: voalohany, tsy misy fako silisiôma; faharoa, tery ny kerf (Kerf: ny sakan'ny alan'ny mpanora-dalàna), ka azo atao ny mahazo chips bebe kokoa. Ho fanampin'izay, hihena be ny tranganà peeling sy fikoropahana amin'ny alàlan'ny fomba SD, izay tena zava-dehibe amin'ny kalitao ankapobeny amin'ny fanapahana. Noho izany, ny fomba SD dia mety ho lasa teknolojia malaza indrindra amin'ny ho avy.
Plasma Dicing
Ny fanapahana Plasma dia teknolojia vao haingana novolavolaina izay mampiasa etching plasma hanapahana mandritra ny fizotran'ny famokarana (Fab). Ny fanapahana Plasma dia mampiasa fitaovana semi-gas fa tsy ranoka, noho izany dia kely ny fiantraikany amin'ny tontolo iainana. Ary ny fomba fanapahana ny wafer manontolo amin'ny fotoana iray dia raisina, ka ny hafainganam-pandeha "manapaka" dia somary haingana. Na izany aza, ny fomba plasma mampiasa entona fanehoan-kevitra simika ho akora, ary ny etching dingana dia tena sarotra, noho izany dia somary cumbersome ny fizotrany. Fa raha ampitahaina amin'ny fanapahana "blade" sy ny fanapahana tamin'ny laser, ny fanapahana plasma dia tsy miteraka fahasimbana eo amin'ny tampon'ny wafer, ka mampihena ny taham-pahakiviana ary mahazo chips bebe kokoa.
Vao haingana, satria ny hatevin'ny wafer dia nihena ho 30μm, ary be dia be ny varahina (Cu) na ambany dielectric tsy tapaka fitaovana (Low-k) no ampiasaina. Noho izany, mba hisorohana ny burrs (Burr), ny fomba fanapahana plasma dia ankasitrahana ihany koa. Mazava ho azy fa tsy mitsaha-mivoatra ihany koa ny teknolojia fanapahana plasma. Mino aho fa amin'ny hoavy tsy ho ela, indray andro any dia tsy ilaina ny manao saron-tava manokana rehefa etching, satria izany no lehibe fampandrosoana ny fanapahana plasma.
Satria ny hatevin'ny wafers dia nihena tsy tapaka avy amin'ny 100μm ka hatramin'ny 50μm ary avy eo amin'ny 30μm, ny fomba fanapahana hahazoana chips tsy miankina dia niova sy nivoatra avy amin'ny "manapaka" sy ny "blade" fanapahana amin'ny fanapahana laser sy ny fanapahana plasma. Na dia mihamaro aza ny fomba fanapahana efa matotra dia nampitombo ny vidin'ny famokarana ny fizotran'ny fanapahana ny tenany, amin'ny lafiny iray, amin'ny fampihenana be ny trangan-javatra tsy ilaina toy ny peeling sy ny famoretana izay matetika mitranga amin'ny fanapahana chip semiconductor ary mampitombo ny isan'ny chips azo isaky ny wafer unit. , ny vidin'ny famokarana puce tokana dia nampiseho fironana midina. Mazava ho azy fa ny fitomboan'ny isan'ny chips azo isaky ny faritra misy ny wafer dia mifandray akaiky amin'ny fampihenana ny sakan'ny arabe dicing. Amin'ny fampiasana ny fanapahana plasma, efa ho 20% bebe kokoa no azo azo raha oharina amin'ny fampiasana ny fomba fanapahana "blade", izay antony lehibe iray hisafidianan'ny olona ny fanapahana plasma. Miaraka amin'ny fivoarana sy ny fiovan'ny wafers, ny endriky ny chip ary ny fomba famonosana, dia mipoitra ihany koa ny fizotran'ny fanapahana isan-karazany toy ny teknolojia fanodinana wafer sy DBG.
Fotoana fandefasana: Oct-10-2024