Dual-Damascene dia teknôlôjia fanodinana ampiasaina amin'ny fanamboarana metaly mifamatotra amin'ny faritra mitambatra. Fampandrosoana bebe kokoa ny fizotran'ny Damaskosy izany. Amin'ny alàlan'ny fananganana lavaka sy lavaka miaraka amin'ny dingana mitovy ary mameno azy ireo amin'ny metaly, dia tanteraka ny famokarana mifangaro metaly.
Nahoana no atao hoe Damaskosy izy io?
Ny tanànan’i Damaskosy no renivohitr’i Syria, ary ny sabatra Damaskosy dia nalaza noho ny maranitra sy ny firafitra tsara tarehy. Karazana dingana inlay no ilaina: voalohany, ny lamina ilaina dia voasokitra eo amin'ny tampon'ny vy Damaskosy, ary ny fitaovana efa nomanina dia apetaka mafy ao amin'ny lavaka voasokitra. Rehefa vita ny fametahana, dia mety ho tsy mitovy ny ety ivelany. Ny mpanao asa tanana dia hanala azy io amim-pitandremana mba hahazoana antoka ny fahamendrehana amin'ny ankapobeny. Ary ity dingana ity dia ny prototype ny dingana roa Damaskosy ny chip. Voalohany, misy lavaka na lavaka voasokitra ao amin'ny sosona dielectric, ary avy eo dia feno metaly. Aorian'ny famenoana dia hesorina amin'ny cmp ny metaly tafahoatra.
Ny dingana lehibe amin'ny fizotran'ny damascene roa dia ahitana:
▪ Fametrahana sosona dielectric:
Mametraha sosona akora dielectric, toy ny dioxide silisiôma (SiO2), eo amin'ny semiconductormofo manify.
▪ Photolithography hamaritana ny lamina:
Ampiasao ny photolithography hamaritana ny endriky ny vias sy ny hady eo amin'ny sosona dielectric.
▪Etching:
Alefaso any amin'ny sosona dielectric amin'ny alalan'ny dingan'ny etching maina na mando ny lamin'ny vias sy ny hady.
▪ Fametrahana metaly:
Mametraha metaly, toy ny varahina (Cu) na alimo (Al), ao anaty vias sy hady mba hamoronana fifandraisana metaly.
▪ Polisy mekanika simika:
Fisorohana mekanika simika amin'ny tampon'ny metaly mba hanesorana ny metaly be loatra ary hanalefaka ny tany.
Raha ampitahaina amin'ny dingana famokarana metaly interconnect mahazatra, ny dingana roa damascene dia manana tombony manaraka:
▪Dingana tsotsotra:amin'ny fananganana vias sy hady miaraka amin'ny dingana mitovy, dia mihena ny dingana sy ny fotoana famokarana.
▪Mihatsara ny fahombiazan'ny famokarana:Noho ny fampihenana ny dingana dingana, ny dingana roa damascene dia afaka manatsara ny fahombiazan'ny famokarana ary mampihena ny vidin'ny famokarana.
▪Manatsara ny fahombiazan'ny fifandraisana metaly:Ny dingan'ny damascene roa dia afaka mahatratra ny fifandraisana metaly tery kokoa, ka manatsara ny fampidirana sy ny fahombiazan'ny faritra.
▪Mampihena ny capacitance sy ny fanoherana parasy:amin'ny fampiasana fitaovana dielectric ambany-k ary manatsara ny firafitry ny fifandraisana metaly, ny capacitance parasitika sy ny fanoherana dia azo ahena, manatsara ny hafainganam-pandeha sy ny fanjifana herinaratra amin'ny faritra.
Fotoana fandefasana: Nov-25-2024