Fametrahana etona simika (CVD) dia manondro ny dingan'ny fametrahana sarimihetsika mafy orina eo ambonin'ny silisiômamofo manifyamin'ny alalan'ny fanehoan-kevitra simika amin'ny fangaro entona. Araka ny toe-javatra fanehoan-kevitra samy hafa (tsindry, mialoha), dia azo zaraina ho modely fitaovana isan-karazany.
Inona avy ireo dingana ampiasaina ireo fitaovana roa ireo?
PECVDNy fitaovana (Plasma Enhanced) no be dia be sy be mpampiasa indrindra, ampiasaina amin'ny OX, Nitride, vavahady metaly, karbona amorphous, sns.; LPCVD (Hery ambany) dia matetika ampiasaina amin'ny Nitride, poly, TEOS.
Inona no fitsipika?
PECVD - dingana iray mampifangaro tsara ny angovo plasma sy CVD. Ny teknôlôjia PECVD dia mampiasa plasma amin'ny hafanana ambany mba hahatonga ny fivoahan'ny hazavana ao amin'ny cathode amin'ny efitrano fizotry (izany hoe, lovia santionany) amin'ny tsindry ambany. Ity fandoroana hazavana ity na fitaovana fanamafisam-peo hafa dia afaka mampiakatra ny mari-pana amin'ny santionany ho amin'ny ambaratonga efa voafaritra mialoha, ary avy eo dia mampiditra entona fanodinana voafehy. Ity entona ity dia mandalo andiana fanehoan-kevitra simika sy plasma, ary farany dia mamorona sarimihetsika mafy eo ambonin'ny santionany.
LPCVD - Fandefasana etona simika ambany tsindry (LPCVD) dia natao hampihenana ny tsindry miasa amin'ny entona fanehoan-kevitra ao amin'ny reactor ho eo amin'ny 133Pa na latsaka.
Inona ny toetran'ny tsirairay?
PECVD - Fomba iray mampifandray tsara ny angovo plasma sy CVD: 1) Fampandehanana amin'ny hafanana ambany (misoroka ny fahasimban'ny hafanana amin'ny fitaovana); 2) Fitomboan'ny sarimihetsika haingana; 3) Tsy mifidy fitaovana, OX, Nitride, vavahady metaly, karbaona amorphous dia afaka mitombo avokoa; 4) Misy rafitra fanaraha-maso in-situ, izay afaka manitsy ny fomba fahandro amin'ny alalan'ny ion masontsivana, entona mikoriana tahan'ny, hafanana sy ny hatevin'ny sarimihetsika.
LPCVD - Ny sarimihetsika manify napetraky ny LPCVD dia hanana fandrakofana dingana tsara kokoa, fanaraha-maso tsara ny rafitra sy ny rafitra, ny tahan'ny fametrahana sy ny vokatra avo lenta. Ankoatr'izay, ny LPCVD dia tsy mitaky entona mpitatitra, noho izany dia mampihena be ny loharanon'ny fandotoana poti ary ampiasaina betsaka amin'ny indostrian'ny semiconductor avo lenta ho an'ny fametrahana sarimihetsika manify.
Tongasoa izay mpanjifa avy amin'ny lafivalon'izao tontolo izao hitsidika anay amin'ny fifanakalozan-kevitra fanampiny!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Fotoana fandefasana: Jul-24-2024