Ny coating SiC dia azo omanina amin'ny alàlan'ny fametrahana etona simika (CVD), fiovan'ny precursor, famafazana plasma, sns. Ny coating voaomana amin'ny fametrahana etona simika dia fanamiana sy matevina, ary manana endrika tsara. Mampiasa methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) ho loharano silisiôma, SiC coating nomanina tamin'ny fomba CVD dia fomba matotra kokoa amin'ny fampiharana ity coating ity.
Ny coating SiC sy ny graphite dia manana fifanarahana simika tsara, ny fahasamihafana eo amin'ny elanelana fanitarana mafana eo anelanelan'izy ireo dia kely, amin'ny fampiasana ny coating SiC dia afaka manatsara tsara ny fanoherana sy ny fanoherana ny oxidation amin'ny fitaovana grafit. Anisan'izany, ny tahan'ny stoichiometric, ny mari-pana, ny entona dilution, ny entona maloto ary ny toe-javatra hafa dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fanehoan-kevitra.
Fotoana fandefasana: Sep-14-2022