Ny fototry ny grafit mifono SiC dia matetika ampiasaina hanohanana sy hanafana ny substrate kristaly tokana amin'ny fitaovana fanodinana entona simika metal-organika (MOCVD). Ny fahamarinan-toerana mafana, ny fanamiana mafana ary ny mari-pamantarana hafa amin'ny SiC mifono grafit fototra dia manana anjara toerana lehibe amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny fitaovana epitaxial, noho izany dia io no singa fototra amin'ny fitaovana MOCVD.
Amin'ny dingan'ny famokarana wafer, ny sosona epitaxial dia amboarina bebe kokoa amin'ny substrate wafer sasany mba hanamora ny famokarana fitaovana. Ny fitaovana fanamafisam-pahazavana LED mahazatra dia mila manomana ny sosona epitaxial an'ny GaA amin'ny substrate silisiôma; Ny sosona epitaxial SiC dia mitombo amin'ny substrate SiC conductive ho an'ny fananganana fitaovana toy ny SBD, MOSFET, sns., Ho an'ny fampiasana herinaratra avo lenta, avo lenta ary herinaratra hafa; Ny sosona epitaxial GaN dia naorina amin'ny substrate SiC semi-insulated mba hanamboarana bebe kokoa HEMT sy fitaovana hafa ho an'ny fampiharana RF toy ny fifandraisana. Ity dingana ity dia tsy azo sarahina amin'ny fitaovana CVD.
Ao amin'ny fitaovana CVD, ny substrate dia tsy azo apetraka mivantana amin'ny metaly na apetraka fotsiny eo amin'ny fototra ho an'ny epitaxial deposition, satria misy ny fikorianan'ny entona (mitsangana, mitsangana), ny mari-pana, ny fanerena, ny fanamafisana, ny fandatsahana ny loto sy ny lafiny hafa ny influence factor. Noho izany dia ilaina ny fototra iray, ary avy eo ny substrate dia apetraka eo amin'ny kapila, ary avy eo ny fametrahana epitaxial dia atao amin'ny substrate amin'ny fampiasana teknolojia CVD, ary io fototra io dia ny base graphite misy SiC (fantatra ihany koa amin'ny hoe tray).
Ny fototry ny grafit mifono SiC dia matetika ampiasaina hanohanana sy hanafana ny substrate kristaly tokana amin'ny fitaovana fanodinana entona simika metal-organika (MOCVD). Ny fahamarinan-toerana mafana, ny fanamiana mafana ary ny mari-pamantarana hafa amin'ny SiC mifono grafit fototra dia manana anjara toerana lehibe amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny fitaovana epitaxial, noho izany dia io no singa fototra amin'ny fitaovana MOCVD.
Metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) no teknolojia mahazatra ho an'ny fitomboan'ny epitaxial ny sarimihetsika GaN amin'ny LED manga. Manana tombony amin'ny fandidiana tsotra, ny tahan'ny fitomboana azo fehezina ary ny fahadiovan'ny sarimihetsika GaN. Amin'ny maha-zava-dehibe ny singa ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitry ny fitaovana MOCVD, ny fototra mitondra ampiasaina amin'ny fitomboan'ny epitaxial sarimihetsika GaN dia mila manana tombony amin'ny fanoherana ny hafanana avo, ny conductivity mafana mafana, ny fahamarinan-toerana simika tsara, ny fanoherana ny hafanana mafana, sns. Ny fitaovana grafit dia afaka mihaona. ny fepetra etsy ambony.
Amin'ny maha-iray amin'ireo singa fototra amin'ny fitaovana MOCVD, ny fototry ny grafit dia ny mpitatitra sy ny fanamainana ny substrate, izay mamaritra mivantana ny fitoviana sy ny fahadiovan'ny fitaovana sarimihetsika, ka ny kalitaony dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fanomanana ny taratasy epitaxial, ary miaraka amin'izay koa fotoana, miaraka amin`ny fitomboan`ny isan`ny fampiasana sy ny fiovan`ny toe-javatra miasa, dia tena mora ny mitafy, an`ny consumables.
Na dia manana conductivity mafana sy fahamarinan-toerana tsara aza ny grafit, dia manana tombony tsara ho toy ny singa fototra amin'ny fitaovana MOCVD, fa amin'ny dingan'ny famokarana, ny grafit dia hanimba ny vovoka noho ny sisa tavela amin'ny entona manimba sy ny organika metaly, ary ny fiainan'ny serivisy. Ny fototra grafita dia hihena be. Mandritra izany fotoana izany, ny vovoka graphite mianjera dia hiteraka fandotoana ny chip.
Ny firongatry ny coating teknolojia dia afaka manome ambonin'ny vovoka fixation, hanatsara thermal conductivity, ary equalize hafanana fizarana, izay lasa ny tena teknolojia hamahana ity olana ity. Ny fototry ny grafit amin'ny fitaovana MOCVD dia mampiasa tontolo iainana, ny fametahana grafit fototra dia tokony mahafeno ireto toetra manaraka ireto:
(1) Ny fototry ny graphite dia azo fonosina tanteraka, ary tsara ny hakitroky, raha tsy izany dia mora harafesina amin'ny entona manimba ny fototry ny grafit.
(2) Ny tanjaka mitambatra miaraka amin'ny fototra graphite dia avo mba hahazoana antoka fa ny coating dia tsy mora mianjera aorian'ny mari-pana ambony sy ny mari-pana ambany.
(3) Manana fitoniana simika tsara izy mba hisorohana ny tsy fahombiazan'ny coating amin'ny hafanana ambony sy ny atmosfera manimba.
Ny SiC dia manana tombony amin'ny fanoherana ny harafesina, ny conductivity mafana avo lenta, ny fanoherana ny fahatafintohinana mafana ary ny fitoniana simika avo lenta, ary afaka miasa tsara amin'ny atmosfera epitaxial GaN. Ho fanampin'izany, ny coefficient fanitarana mafana amin'ny SiC dia tsy mitovy amin'ny an'ny graphite, noho izany dia ny SiC no fitaovana tiana ho an'ny fametahana ambonin'ny fototra graphite.
Amin'izao fotoana izao, ny SiC mahazatra indrindra dia karazana 3C, 4H ary 6H, ary tsy mitovy ny fampiasana SiC amin'ny karazana kristaly samihafa. Ohatra, ny 4H-SiC dia afaka manamboatra fitaovana mahery vaika; 6H-SiC no matanjaka indrindra ary afaka manamboatra fitaovana photoelectric; Noho ny firafiny mitovy amin'ny GaN, ny 3C-SiC dia azo ampiasaina hamokarana sosona epitaxial GaN ary manamboatra fitaovana RF SiC-GaN. Ny 3C-SiC dia fantatra amin'ny anarana hoe β-SiC ihany koa, ary ny fampiasana lehibe ny β-SiC dia toy ny sarimihetsika sy ny fitaovana fanosotra, noho izany dia ny β-SiC no fitaovana fototra ho an'ny coating.
Fomba fanomanana ny silicone carbide coating
Amin'izao fotoana izao, ny fomba fanomanana ny SiC coating dia ahitana indrindra ny fomba gel-sol, ny fomba fametahana, ny fomba fametahana borosy, ny fomba famafazana ranon-dra, ny fomba fanehoan-kevitry ny entona simika (CVR) ary ny fomba fanodinana etona simika (CVD).
Fomba fampidirana:
Ny fomba dia karazana sintering dingana mafy mari-pana ambony, izay indrindra mampiasa ny fifangaroan'ny Si vovoka sy ny vovoka C ho toy ny embedding vovoka, ny graphite matrix dia apetraka ao amin'ny embedding vovoka, ary ny mari-pana ambony sintering atao ao amin'ny inert entona. , ary farany ny coating SiC dia azo eo amin'ny tampon'ny matrix graphite. Ny dingana dia tsotra ary ny fitambaran'ny coating sy ny substrate dia tsara, fa ny fitovian'ny coating eo amin'ny hatevin'ny lalana dia mahantra, izay mora ny mamokatra lavaka bebe kokoa ary mitarika ho amin'ny mahantra oxidation fanoherana.
Brush coating fomba:
Ny fomba fametahana borosy dia ny miborosy ny akora manta ranon-javatra eo amin'ny tampon'ny matrix graphite, ary avy eo manasitrana ny akora amin'ny hafanana mba hanomanana ny coating. Ny dingana dia tsotra ary ny vidiny dia ambany, fa ny coating voaomana amin'ny alalan'ny borosy coating fomba dia malemy miaraka amin'ny substrate, ny coating fanamiana dia mahantra, ny coating dia manify ary ny oxidation fanoherana dia ambany, ary ny fomba hafa ilaina mba hanampy. azy.
Plasma famafazana fomba:
Ny fomba famafazana ranon-dra indrindra dia ny famafazana akora miempo na semi-rendrika eo amin'ny tampon'ny matrix graphite miaraka amin'ny basy plasma, ary avy eo manamafy sy mifamatotra amin'ny fananganana coating. Ny fomba dia tsotra ny miasa ary afaka manomana somary matevina silisiôma carbide coating, fa ny silisiôma carbide coating voaomana amin'ny fomba dia matetika malemy loatra ary mitarika ho malemy oxidation fanoherana, ka izany dia matetika ampiasaina amin'ny fanomanana ny SiC mitambatra coating mba hanatsarana. ny kalitaon'ny coating.
Gel-sol fomba:
Ny fomba gel-sol dia indrindra ny manomana vahaolana sol fanamiana sy mangarahara mandrakotra ny endrik'ilay matrix, maina ao anaty gel ary avy eo sinterina mba hahazoana coating. Ity fomba ity dia mora ampiasaina ary mora vidy, fa ny coating vokarina dia misy lesoka toy ny fanoherana ny fahatafintohinana mafana ary mora vaky, ka tsy azo ampiasaina betsaka.
Fihetsika entona simika (CVR):
Ny CVR dia miteraka SiC coating amin'ny alàlan'ny fampiasana vovoka Si sy SiO2 mba hamokarana etona SiO amin'ny mari-pana ambony, ary misy andiana fanehoan-kevitra simika mitranga eo ambonin'ny substrate material C. Ny coating SiC nomanina amin'ity fomba ity dia mifamatotra akaiky amin'ny substrate, fa ny hafanan'ny fanehoan-kevitra dia avo kokoa ary avo kokoa ny vidiny.
Fametrahana etona simika (CVD):
Amin'izao fotoana izao, CVD no teknolojia lehibe amin'ny fanomanana ny SiC coating amin'ny substrate surface. Ny dingana lehibe dia andiana fanehoan-kevitra ara-batana sy simika avy amin'ny fitaovana faneriterena amin'ny entona amin'ny substrate, ary farany ny coating SiC dia voaomana amin'ny alàlan'ny fametrahana ny substrate surface. Ny coating SiC nomanin'ny teknolojia CVD dia mifamatotra akaiky amin'ny tampon'ny substrate, izay afaka manatsara tsara ny fanoherana ny oxidation sy ny fanoherana ablative amin'ny fitaovana substrate, fa ny fotoana fametrahana an'io fomba io dia lava kokoa, ary ny entona fanehoan-kevitra dia misy poizina. gasy.
Ny toetry ny tsenan'ny base graphite mifono SiC
Rehefa nanomboka tany am-boalohany ny mpanamboatra vahiny, dia nanana fitarihana mazava sy ampahany betsaka amin'ny tsena izy ireo. Eo amin'ny sehatra iraisam-pirenena, ny mpamatsy fototra SiC mifono grafit dia Dutch Xycard, Germany SGL Carbon (SGL), Japan Toyo Carbon, Etazonia MEMC ary orinasa hafa, izay mibodo ny tsena iraisam-pirenena. Na dia nopotehin'i Shina aza ny teknolojia fototra fototra amin'ny fitomboan'ny fanamiana SiC coating eo amin'ny tontolon'ny graphite matrix, ny graphite matrix avo lenta dia mbola miankina amin'ny German SGL, Japan Toyo Carbon ary ny orinasa hafa, ny graphite matrix nomen'ny orinasa an-trano dia misy fiantraikany amin'ny serivisy. fiainana noho ny conductivity mafana, modulus elastika, modulus henjana, kilema makarakara ary olana hafa momba ny kalitao. Ny fitaovana MOCVD dia tsy mahafeno ny fepetra takian'ny fampiasana ny fototra grafit mifono SiC.
Ny indostrian'ny semiconductor any Shina dia mivoatra haingana, miaraka amin'ny fitomboana tsikelikely ny tahan'ny fametrahana fitaovana epitaxial MOCVD, ary ny fanitarana ny rindranasa hafa, ny tsenan'ny vokatra vita amin'ny grafit mifono SiC ho avy dia antenaina hitombo haingana. Araka ny tombantomban'ny indostria voalohany, ny tsenan'ny grafit an-trano dia hihoatra ny 500 tapitrisa yuan ao anatin'ny taona vitsivitsy.
SiC mifono grafit fototra no singa fototra amin'ny semiconductor semiconductor fitaovana indostrialy, mahafehy ny fototry ny teknolojia ny famokarana sy ny famokarana, ary mahatsapa ny localization ny rojo akora-fitaovana-fitaovana indostrialy rehetra dia manana dikany stratejika lehibe ho an'ny fiantohana ny fampandrosoana ny Ny indostrian'ny semiconductor any Sina. Miroborobo ny sehatry ny grafita vita amin'ny SiC an-trano, ary ny kalitaon'ny vokatra dia mety hahatratra ny ambaratonga iraisam-pirenena tsy ho ela.
Fotoana fandefasana: Jul-24-2023