Fametrahana etona simika(CVD)no teknolojia be mpampiasa indrindra amin'ny indostrian'ny semiconductor amin'ny fametrahana fitaovana isan-karazany, ao anatin'izany ny fitaovana insulation, ny ankamaroan'ny fitaovana metaly ary ny fitaovana firaka.
CVD dia teknôlôjia fanomanana sarimihetsika manify nentim-paharazana. Ny foto-keviny dia ny fampiasana entona mpialoha lalana mba handrava singa sasany ao amin'ny mpialoha lalana amin'ny alalan'ny fanehoan-kevitra simika eo amin'ny atôma sy ny molekiola, ary avy eo dia mamorona sarimihetsika manify eo amin'ny substrate. Ny toetra fototra amin'ny CVD dia: fiovan'ny simika (fihetseham-po simika na fahapotehan'ny hafanana); ny fitaovana rehetra ao amin'ny sarimihetsika dia avy amin'ny loharano ivelany; reactants dia tsy maintsy mandray anjara amin'ny fanehoan-kevitra amin'ny endrika entona dingana.
Fametrahana etona simika ambany tsindry (LPCVD), fametrahana entona simika avoakan'ny plasma (PECVD) ary fametrahana etona simika avo lenta amin'ny plasma (HDP-CVD) dia teknolojia CVD telo mahazatra, izay misy fahasamihafana lehibe amin'ny fametrahana fitaovana, fepetra takiana amin'ny fitaovana, fepetran'ny dingana, sns Ity manaraka ity dia fanazavana tsotra sy fampitahana ireo teknolojia telo ireo.
1. LPCVD (CVD Tosidra ambany)
Fitsipika: Fizotry ny CVD amin'ny toe-javatra misy tsindry ambany. Ny foto-keviny dia ny manindrona ny entona fanehoan-kevitra ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitra eo ambanin'ny banga na ny tontolo iainana ambany tsindry, manimba na mamaly ny entona amin'ny hafanana avo, ary mamorona sarimihetsika mivaingana napetraka eo amin'ny substrate. Koa satria ny tsindry ambany dia mampihena ny fifandonan'ny entona sy ny korontana, dia mihatsara ny fitoviana sy ny kalitaon'ny sarimihetsika. LPCVD dia be mpampiasa amin'ny silisiôma gazy (LTO TEOS), silisiôma nitride (Si3N4), polysilicon (POLY), phosphosilicate fitaratra (BSG), borophosphosilicate fitaratra (BPSG), doped polysilicon, graphene, karbaona nanotubes sy ny sarimihetsika hafa.
Toetoetra:
▪ Ny mari-pana amin'ny dingana: matetika eo anelanelan'ny 500 ~ 900 ° C, ny mari-pana amin'ny dingana dia somary avo;
▪ Fanerena entona isan-karazany: tontolo iainana tsindry ambany 0,1 ~ 10 Torr;
▪ Toetran'ny sarimihetsika: kalitao avo lenta, mifanaraka tsara, hakitroky tsara, ary misy kilema kely;
▪ tahan'ny fandatsahana: tahan'ny fandatsahana miadana;
▪ Fanamafisana: mety amin'ny substrate lehibe, fametrahana fanamiana;
Ny tombony sy ny tsy fahampiana:
▪ Afaka mametraka sarimihetsika tena mitovy sy matevina;
▪ Miasa tsara amin'ny substrate lehibe, mety amin'ny famokarana faobe;
▪ Vidiny mora;
▪ Ny mari-pana ambony, tsy mety amin'ny fitaovana mora mahamay;
▪ Miadana ny tahan'ny fametrahana ary somary ambany ny vokatra.
2. PECVD (Plasma Enhanced CVD)
Fitsipika: Mampiasà plasma mba hampavitrika ny fihetsiketsehan'ny entona amin'ny maripana ambany kokoa, asio iôna ary simbaina ny molekiola ao amin'ny entona fanehoan-kevitra, ary avy eo dia mametraka sarimihetsika manify eo ambonin'ny substrate. Ny herin'ny plasma dia afaka mampihena be ny mari-pana ilaina amin'ny fanehoan-kevitra, ary manana fampiharana maro be. Sarimihetsika metaly isan-karazany, sarimihetsika tsy ara-organika ary sarimihetsika organika dia azo omanina.
Toetoetra:
▪ Ny mari-pana amin'ny dingana: matetika eo anelanelan'ny 200~400°C, ny mari-pana dia somary ambany;
▪ Fanerena entona: matetika an-jatony mTorr ka hatramin'ny Torr maromaro;
▪ Ny kalitaon'ny sarimihetsika: na dia tsara aza ny fitovian'ny sarimihetsika, ny hakitroky sy ny kalitaon'ny sarimihetsika dia tsy tsara toy ny LPCVD noho ny lesoka mety hampidirin'ny plasma;
▪ Ny tahan'ny fametrahana: avo lenta, avo lenta ny famokarana;
▪ Fanamiana: ambany kely noho ny LPCVD amin'ny substrate lehibe;
Ny tombony sy ny tsy fahampiana:
▪ Ny sarimihetsika manify dia azo apetraka amin'ny mari-pana ambany kokoa, mety amin'ny fitaovana mora mahamay;
▪ Haingam-pandeha haingana, mety amin'ny famokarana mahomby;
▪ Ny fizotran'ny flexible, ny toetran'ny sarimihetsika dia azo fehezina amin'ny fanitsiana ny mari-pamantarana plasma;
▪ Ny Plasma dia mety hiteraka kilema amin'ny sarimihetsika toy ny lavaka fantsakana na tsy fitoviana;
▪ Raha oharina amin'ny LPCVD, ny hakitroky ny sarimihetsika sy ny kalitao dia somary ratsy kokoa.
3. HDP-CVD (Plasma CVD avo lenta)
Fitsipika: Teknolojia PECVD manokana. Ny HDP-CVD (fantatra ihany koa amin'ny hoe ICP-CVD) dia afaka mamokatra hakitroky sy kalitao ambony kokoa noho ny fitaovana PECVD nentim-paharazana amin'ny mari-pana ambany kokoa. Ho fanampin'izay, ny HDP-CVD dia manome ny flux ion sy ny fanaraha-maso angovo saika tsy miankina, manatsara ny fahaizan'ny famenoana hady na lavaka amin'ny fitakiana ny fametrahana sarimihetsika, toy ny coating anti-reflective, deposition material dielectric ambany, sns.
Toetoetra:
▪ Ny mari-pana amin'ny dingana: ny mari-pana ao amin'ny efitrano hatramin'ny 300 ℃, ny mari-pana dia ambany dia ambany;
▪ Fanerena entona: eo anelanelan'ny 1 sy 100 mTorr, ambany noho ny PECVD;
▪ Toetran'ny sarimihetsika: haavon'ny plasma avo, kalitaon'ny sarimihetsika avo lenta, fitoviana tsara;
▪ Ny tahan'ny fametrahana: eo anelanelan'ny LPCVD sy ny PECVD ny tahan'ny fandatsahana, ambony kely noho ny LPCVD;
▪ Fanamafisana: noho ny plasma avo lenta, ny fitomian'ny sarimihetsika dia tena tsara, mety amin'ny tampon'ny substrate miendrika sarotra;
Ny tombony sy ny tsy fahampiana:
▪ Mahay mametraka sarimihetsika avo lenta amin'ny mari-pana ambany kokoa, tena mety amin'ny fitaovana mora mahamay;
▪ Firaisan'ny sarimihetsika tena tsara, hakitroky ary malefaka amin'ny tany;
▪ Ny hakitroky ny plasma ambony kokoa dia manatsara ny fitovian'ny fipetrahana sy ny toetran'ny sarimihetsika;
▪ Fitaovana sarotra sy lafo kokoa;
▪ Miadana ny hafainganan'ny fanariana, ary mety hiteraka fahasimbana kely ny angovo plasma ambony kokoa.
Tongasoa izay mpanjifa avy amin'ny lafivalon'izao tontolo izao hitsidika anay amin'ny fifanakalozan-kevitra fanampiny!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Fotoana fandefasana: Dec-03-2024