Mandritra ny fizotran'ny epitaxy (VPE), ny andraikitry ny pedestal dia ny manohana ny substrate ary miantoka ny fanamainana fanamiana mandritra ny dingan'ny fitomboana. Ny karazana faladia samihafa dia mety amin'ny toetry ny fitomboana sy ny rafitra ara-materialy. Ireto manaraka ireto ny sasany amin'ireo karazana pedestal fampiasa matetika amin'ny dingana etonaepitaxy:
Barrel pedestal
Ny faladiany barika dia matetika ampiasaina amin'ny rafitra epitaxy dingana marindrano na mitongilana. Afaka mitazona ny substrate izy ireo ary mamela ny entona hivezivezy eo ambonin'ny substrate, izay manampy amin'ny fitomboan'ny epitaxial fanamiana.
Pedestal miendrika kapila (pedestal mitsangana)
Ny pedestals miendrika kapila dia mety amin'ny rafitra epitaxy phase etona mitsangana, izay ametrahana ny substrate mitsangana. Ity famolavolana ity dia manampy amin'ny fampihenana ny faritry ny fifandraisana eo amin'ny substrate sy ny susceptor, ka mampihena ny fahaverezan'ny hafanana sy ny mety ho fandotoana.
Susceptor mitsivalana
Ny susceptors mitsivalana dia tsy fahita firy amin'ny epitaxy phase etona, saingy azo ampiasaina amin'ny rafitra fitomboana manokana mba hamelana ny fitomboan'ny epitaxial amin'ny lalana mitsivalana.
Monolithic epitaxial reaction susceptor
Ny susceptor fanehoan-kevitra monolithic epitaxial dia natao ho an'ny substrate tokana, izay afaka manome fanaraha-maso mari-pana tsara kokoa sy fitokana-monina mafana kokoa, mety amin'ny fitomboan'ny sosona epitaxial avo lenta.
Tongasoa eto amin'ny tranokalanay ho fampahalalana momba ny vokatra sy fifampidinihana.
Ny tranokalanay: https://www.vet-china.com/
Fotoana fandefasana: Jul-30-2024