Fampiharana sy fandrosoana amin'ny fikarohana SiC coating amin'ny karbaona/karbonina mafana saha fitaovana ho an'ny monocrystalline silisiôma-2

1 Fandrosoan'ny fampiharana sy fikarohana ny coating silisiôma carbide amin'ny fitaovana mafana karbônina/karbonina

1.1 Fandrosoan'ny fampiharana sy fikarohana amin'ny fanomanana crucible

0 (1)

Ao amin'ny saha mafana kristaly tokana, nykarbônina/carbon crucibledia ampiasaina indrindra ho toy ny mitondra entana ho an'ny silisiôma fitaovana ary mifandray amin'nyquartz crucible, araka ny aseho amin'ny sary 2. Ny mari-pana miasa amin'ny karbônina / karbônina dia eo amin'ny 1450 ℃, izay iharan'ny fanimbana avo roa heny amin'ny silisiôma matanjaka (dioxide silisiôma) sy ny etona silisiôma, ary amin'ny farany dia lasa manify na misy peratra ny crucible. , niafara tamin'ny tsy fahombiazan'ny fako.

Ny koveta vita amin'ny karbônina/karbonina mitambatra dia nomanina tamin'ny alàlan'ny fizotry ny fidiran'ny etona simika sy ny fanehoan-kevitra ao an-toerana. Ny fitambarana coating dia ahitana silisiôma carbide coating (100 ~ 300μm), silisiôma coating (10 ~ 20μm) sy silisiôma nitride coating (50 ~ 100μm), izay mety hanakana ny harafesina ny silisiôma etona eo amin'ny anatiny ambonin'ny karbaona/karbonina mitambatra crucible. Ao amin'ny dingan'ny famokarana, ny fahaverezan'ny karbônina mifono karbonika / karbônina mitambatra dia 0.04 mm isaky ny lafaoro, ary ny fiainan'ny serivisy dia mety hahatratra 180 heny.

Ny mpikaroka dia nampiasa fomba fanehoan-kevitra simika mba hamoronana silisiôma carbide coating fanamiana eo amin'ny tampon'ny karbônina / karbôna composite crucible ao anatin'ny fepetra mari-pana sasany sy ny fiarovana ny entona mpitatitra, amin'ny fampiasana gazy silisiôma sy metaly silisiôma ho akora amin'ny sintering amin'ny hafanana avo. lafaoro. Ny vokatra dia mampiseho fa ny fitsaboana hafanana ambony dia tsy vitan'ny hoe manatsara ny fahadiovana sy ny tanjaky ny sic coating, fa koa tena manatsara ny fitafy fanoherana ny ambonin'ny karbaona / karbôna mitambatra, ary manakana ny harafesina ny ambonin'ny crucible amin'ny etona SiO ary atôma oksizenina mivadibadika ao amin'ny lafaoro silisiôma monocrystal. Nitombo 20% ny androm-panompoan'ny crucible raha oharina amin'ny an'ny crucible tsy misy coating sic.

1.2 Fandrosoan'ny fampiharana sy fikarohana ao amin'ny fantsona mpitari-dalana

Ny cylinder mpitari-dalana dia hita eo ambonin'ny crucible (araka ny aseho amin'ny sary 1). Ao amin'ny dingan'ny fisintonana kristaly, ny fahasamihafana eo amin'ny mari-pana ao anatiny sy ivelan'ny saha dia lehibe, indrindra fa ny ambany indrindra dia akaiky indrindra amin'ny fitaovana silisiôma voarendrika, ny mari-pana no avo indrindra, ary ny harafesina amin'ny etona silisiôma no tena lehibe indrindra.

Ny mpikaroka dia namorona dingana tsotra sy ny fanoherana ny oxidation tsara amin'ny fametahana fantsona anti-oxidation coating sy fomba fanomanana. Voalohany, ny sosona silisiôma carbide volombava dia in-situ nitombo teo amin'ny matrix ny mpitari-dalana fantsona, ary avy eo dia matevina silisiôma carbide sosona ivelany nomanina, ka ny SiCw tetezamita sosona niforona teo anelanelan'ny matrix sy ny silisiôma matevina carbide sosona ambonin'ny. , araka ny aseho ao amin'ny sary 3. Ny coefficient ny fanitarana mafana dia teo anelanelan'ny matrix sy silisiôma carbide. Afaka mampihena tsara ny adin-tsaina mafana vokatry ny mismatch ny fanitarana mafana coefficient.

0 (2)

Ny fanadihadiana dia mampiseho fa amin'ny fitomboan'ny votoatin'ny SiCw dia mihena ny habeny sy ny isan'ny triatra amin'ny coating. Taorian'ny oxidation 10h amin'ny rivotra 1100 ℃, ny tahan'ny fatiantoka amin'ny santionany coating dia 0.87% ~ 8.87% ihany, ary ny fanoherana ny oxidation sy ny fanoherana ny hafanana amin'ny silicone carbide coating dia mihatsara. Ny dingana fanomanana manontolo dia vita tsy tapaka amin'ny alàlan'ny fametrahana etona simika, ny fanomanana ny coating silisiôma carbide dia nohamafisina, ary ny fampandehanana feno ny nozzle manontolo dia mihamatanjaka.

Ny mpikaroka dia nanolo-kevitra ny fomba hanamafisana ny matrices sy ny fametahana ny tavy mpitari-dalana graphite ho an'ny silisiôma monocrystal czohr. Ny slurry silisiôma carbide azo dia nofonosina mitovy amin'ny tadin'ny graphite mpitari-dalana amin'ny hatevin'ny 30 ~ 50 μm amin'ny alàlan'ny fametahana borosy na fomba famafazana, ary avy eo dia napetraka ao anaty lafaoro avo lenta ho an'ny fanehoan-kevitra ao amin'ny toerana, ny mari-pana. dia 1850 ~ 2300 ℃, ary ny fiarovana ny hafanana dia 2 ~ 6h. Ny sosona ivelany SiC azo ampiasaina amin'ny 24 in (60.96 sm) kristaly fitomboana lafaoro tokana, ary ny fampiasana ny mari-pana dia 1500 ℃, ary hita fa tsy misy famoretana sy mianjera vovoka eo amin'ny ambonin'ny graphite mpitari-dalana varingarina taorian'ny 1500h. .

1.3 Fandrosoana fampiharana sy fikarohana amin'ny cylinder insulation

Amin'ny maha-iray amin'ireo singa manan-danja amin'ny rafitra mafana silisiôma monocrystalline, ny cylinder insulation dia ampiasaina indrindra mba hampihenana ny fahaverezan'ny hafanana ary hifehy ny mari-pana amin'ny tontolo mafana. Amin'ny maha-ampahany manohana ny rindrina anatiny insulation sosona lafaoro kristaly tokana, silisiôma etona harafesiny mitarika ho amin'ny slag nandatsaka sy ny triatra ny vokatra, izay amin'ny farany dia mitarika ho amin'ny vokatra tsy fahombiazana.

Mba hanamafisana bebe kokoa ny fanoherana ny harafesina silisiôma amin'ny fantsona insulation mitambatra C / C-sic, ny mpikaroka dia nametraka ny vokatra vita amin'ny insulation insulation C / C-sic voaomana ho ao amin'ny lafaoro setroka simika, ary nanomana ny fametahana carbide silisiôma matevina eo amin'ny lafaoro. ambonin'ny C/C-sic composite insulation tube vokatra amin'ny alalan'ny simika etona deposition dingana. Ny vokatra dia mampiseho fa, Ny dingana dia afaka manakana tsara ny harafesina ny karbaona fibre amin'ny fototry ny C/C-sic mitambatra amin'ny silisiôma etona, ary ny harafesiny fanoherana ny silisiôma etona dia nitombo 5 ka hatramin'ny 10 heny raha oharina amin'ny karbaona/carbon mitambatra, ary ny fiainana serivisy ny cylinder insulation sy ny fiarovana ny tontolo iainana mafana dia mihatsara.

2. Famaranana sy fanantenana

Silicon carbide coatingdia ampiasaina bebe kokoa amin'ny fitaovana eny an-tsaha mafana karbaona / karbonina noho ny fanoherana ny oxidation tsara indrindra amin'ny hafanana avo. Miaraka amin'ny fitomboan'ny haben'ny karbaona / karbôna mafana fitaovana an-tsaha ampiasaina amin'ny monocrystalline silisiôma famokarana, ny fomba hanatsarana ny fanamiana ny silisiôma carbide coating eo amin'ny ambonin'ny mafana fitaovana saha sy hanatsarana ny asa fanompoana ny karbaona / karbonika fitaovana saha mafana dia lasa olana maika. ho voavaha.

Amin'ny lafiny iray, miaraka amin'ny fivoaran'ny indostrian'ny silisiôma monocrystalline, mitombo ihany koa ny fitakiana ny akora eny an-tsaha karbônina / karbônina madiodio, ary ny SiC nanofibers dia mitombo ihany koa amin'ny fibre karbonika anatiny mandritra ny fanehoan-kevitra. Ny ablation faobe sy ny tahan'ny ablation linear C / C-ZRC sy C / C-sic ZrC composites nomanin'ny fanandramana dia -0.32 mg / s ary 2.57 μm / s, tsirairay avy. Ny tahan'ny ablation faobe sy tsipika C / C-sic -ZrC composites dia -0.24mg / s ary 1.66 μm / s, tsirairay avy. Ny C/C-ZRC composite miaraka amin'ny SiC nanofibers dia manana fananana ablative tsara kokoa. Taty aoriana dia hodinihina ny fiantraikan'ny loharano karbônina samihafa amin'ny fitomboan'ny nanofibers SiC sy ny mekanika amin'ny nanofibers SiC izay manamafy ny fananana ablative amin'ny composites C / C-ZRC.

Ny koveta vita amin'ny karbônina/karbonina mitambatra dia nomanina tamin'ny alàlan'ny fizotry ny fidiran'ny etona simika sy ny fanehoan-kevitra ao an-toerana. Ny fitambarana coating dia ahitana silisiôma carbide coating (100 ~ 300μm), silisiôma coating (10 ~ 20μm) sy silisiôma nitride coating (50 ~ 100μm), izay mety hanakana ny harafesina ny silisiôma etona eo amin'ny anatiny ambonin'ny karbaona/karbonina mitambatra crucible. Ao amin'ny dingan'ny famokarana, ny fahaverezan'ny karbônina mifono karbonika / karbônina mitambatra dia 0.04 mm isaky ny lafaoro, ary ny fiainan'ny serivisy dia mety hahatratra 180 heny.


Fotoana fandefasana: Feb-22-2024
WhatsApp Chat an-tserasera!