Ny fepetra takian'ny indostrian'ny semiconductor amin'ny fitakiana ara-nofo dia avo indrindra, ny haben'ny grafita tsara dia manana mari-pamantarana avo, fanoherana ny hafanana avo, hery avo, fatiantoka kely ary tombony hafa, toy ny: bobongolo vokatra vita amin'ny sintered.Satria ny fitaovana grafita ampiasaina amin'ny indostrian'ny semiconductor (anisan'izany ny heaters sy ny maty sintered) dia tsy maintsy mahatohitra ny fizotran'ny fanafanana sy ny fampangatsiahana miverimberina, mba hanitarana ny fiainan'ny fitaovana grafit, dia matetika no takiana fa ny fitaovana grafita ampiasaina dia manana fampisehoana maharitra. ary miasa fiantraika mahatohitra hafanana.
01 Fitaovana graphite ho an'ny fitomboan'ny kristaly semiconductor
Ny dingana rehetra ampiasaina amin'ny fampitomboana kristaly semiconductor dia miasa amin'ny hafanana ambony sy ny tontolo manimba. Ny faritra mafana amin'ny lafaoro fitomboan'ny kristaly dia matetika miaraka amin'ny singa grafit madio sy mahatohitra ny hafanana, toy ny heater, crucible, cylinder insulation, cylinder mpitari-dalana, electrode, holder crucible, nut electrode, sns.
Afaka manamboatra ny ampahany rehetra amin'ny graphite amin'ny fitaovana famokarana kristaly isika, izay azo omena tsirairay na amin'ny seta, na ampahany amin'ny graphite namboarina amin'ny habe samihafa araka ny takian'ny mpanjifa. Ny haben'ny vokatra dia azo refesina eny an-toerana, ary mety ho kely kokoa ny votoatin'ny lavenona amin'ny vokatra vitany 5ppm.
02 Fitaovana grafita ho an'ny epitaxy semiconductor
Ny fizotran'ny epitaxial dia manondro ny fitomboan'ny soson'ny akora kristaly tokana miaraka amin'ny fandaharana makarakara mitovy amin'ny substrate amin'ny substrate kristaly tokana. Ao amin'ny dingana epitaxial, ny wafer dia entina amin'ny kapila graphite. Ny fampisehoana sy ny kalitaon'ny kapila graphite dia manana anjara toerana lehibe amin'ny kalitaon'ny sosona epitaxial amin'ny wafer. Eo amin'ny sehatry ny famokarana epitaxial, dia ilaina ny grafita madio be dia be sy ny fototra grafit madio amin'ny SIC coating.
Ny fototry ny grafit an'ny orinasanay ho an'ny epitaxy semiconductor dia manana fampiharana marobe, afaka mifanandrify amin'ny ankamaroan'ny fitaovana ampiasaina amin'ny indostria, ary manana fahadiovana avo, coating fanamiana, fiainana serivisy tsara, ary fanoherana simika avo lenta sy fitoniana mafana.
03 Fitaovana grafita ho an'ny implantation ion
Ion implantation dia manondro ny dingan'ny accelerating ny plasma taratra boron, phosphore ary arsenika ho amin'ny angovo sasany, ary avy eo manindrona azy ho any amin'ny ambonin'ny sosona ny wafer fitaovana mba hanova ny fananana ara-nofo ny ambonin'ny sosona. Ny singa amin'ny fitaovana implantation ion dia tokony ho vita amin'ny fitaovana madio tsara miaraka amin'ny fanoherana hafanana tsara, conductivity mafana, tsy dia misy harafesina nateraky ny taratra ion sy ny votoatin'ny loto ambany. Ny grafit madio madio dia mahafeno ny fepetra takiana, ary azo ampiasaina amin'ny fantsona sidina, slits isan-karazany, electrodes, fonon'ny electrode, conduits, terminator beam, sns. amin'ny fitaovana implantation ion.
Tsy vitan'ny hoe manome graphite shielding sarony ho an'ny ion implantation milina isan-karazany, fa manome ihany koa ny fahadiovana avo graphite electrodes sy ny ion loharanon'ny avo harafesiny fanoherana ny fepetra isan-karazany. Modely azo ampiharina: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ary fitaovana hafa. Ho fanampin'izany, afaka manome seramika, tungstène, molybdène, vokatra aluminio ary faritra voarakotra ihany koa izahay.
04 fitaovana insulation graphite sy ny hafa
Ny fitaovana fanamafisam-peo ampiasaina amin'ny fitaovana famokarana semiconductor dia misy graphite hard feel, soft feel, graphite foil, taratasy graphite, ary tady graphite.
Ny akora fototra rehetra dia graphite nafarana, izay azo tapahana araka ny haben'ny fepetra takian'ny mpanjifa na amidy manontolo.
Ny karbaona-karbonina lovia dia ampiasaina ho toy ny mpitatitra ny sarimihetsika coating amin'ny dingan'ny famokarana ny masoandro monocrystalline silisiôma sy polycrystalline silisiôma sela. Ny fitsipiky ny fiasana dia: ampidiro ao anaty lovia CFC ny puce silisiôma ary alefaso any amin'ny fantsona fatana fandoroana ilay sarimihetsika.
