silīcija karbīda keramikas pārklājuma sildītājs

Vet-ĶīnaSilīcija karbīda keramikaPārklājums ir augstas veiktspējas aizsargpārklājums, kas izgatavots no īpaši cieta un nodilumizturīgasilīcija karbīds (SiC)materiāls, kas nodrošina izcilu ķīmiskās korozijas izturību un augstas temperatūras stabilitāti. Šīs īpašības ir izšķirošas pusvadītāju ražošanā, tāpēcSilīcija karbīda keramikas pārklājumstiek plaši izmantots pusvadītāju ražošanas iekārtu galvenajos komponentos.

Vet-Ķīnas īpašā lomaSilīcija karbīda keramikaPārklājums pusvadītāju ražošanā ir šāds:

Uzlabojiet aprīkojuma izturību:Silīcija karbīda keramiskais pārklājums Silīcija karbīda keramiskais pārklājums nodrošina lielisku virsmas aizsardzību pusvadītāju ražošanas iekārtām ar ārkārtīgi augstu cietību un nodilumizturību. Īpaši augstas temperatūras un ļoti korozīvā procesa vidē, piemēram, ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD) un plazmas kodināšana, pārklājums var efektīvi novērst iekārtas virsmas bojājumus ķīmiskās erozijas vai fiziska nodiluma dēļ, tādējādi ievērojami pagarinot iekārtas kalpošanas laiku. iekārtu un samazināt dīkstāves laiku, ko izraisa bieža nomaiņa un remonts.

Uzlabojiet procesa tīrību:Pusvadītāju ražošanas procesā niecīgs piesārņojums var izraisīt izstrādājuma defektus. Silīcija karbīda keramikas pārklājuma ķīmiskā inerce ļauj tam saglabāt stabilitāti ekstremālos apstākļos, neļaujot materiālam izdalīt daļiņas vai piemaisījumus, tādējādi nodrošinot procesa vides tīrību. Tas ir īpaši svarīgi ražošanas posmos, kuriem nepieciešama augsta precizitāte un augsta tīrība, piemēram, PECVD un jonu implantācija.

Optimizējiet siltuma pārvaldību:Augstas temperatūras pusvadītāju apstrādē, piemēram, ātrās termiskās apstrādes (RTP) un oksidācijas procesos, silīcija karbīda keramikas pārklājuma augstā siltumvadītspēja nodrošina vienmērīgu temperatūras sadalījumu iekārtā. Tas palīdz samazināt termisko spriegumu un materiāla deformāciju, ko izraisa temperatūras svārstības, tādējādi uzlabojot izstrādājuma ražošanas precizitāti un konsistenci.

Atbalstiet sarežģītu procesu vidi:Procesos, kuros nepieciešama sarežģīta atmosfēras kontrole, piemēram, ICP kodināšanas un PSS kodināšanas procesos, silīcija karbīda keramikas pārklājuma stabilitāte un oksidācijas izturība nodrošina iekārtas stabilu veiktspēju ilgstošas ​​darbības laikā, samazinot materiāla degradācijas vai aprīkojuma bojājumu risku. vides izmaiņām.