Funkcijas:
· Lieliska termiskā triecienizturība
· Lieliska fiziskā triecienizturība
· Lieliska ķīmiskā izturība
· Īpaši augsta tīrība
· Pieejamība kompleksā formā
· Izmantojams oksidējošā atmosfērā
Pieteikums:
Produkta īpašības un priekšrocības:
1. Izcila termiskā pretestība:Ar augstu tīrības pakāpiSiC pārklājums, substrāts iztur ārkārtējas temperatūras, nodrošinot konsekventu veiktspēju prasīgās vidēs, piemēram, epitaksijas un pusvadītāju izgatavošanā.
2. Uzlabota izturība:Ar SiC pārklātās grafīta sastāvdaļas ir izstrādātas tā, lai tās būtu izturīgas pret ķīmisko koroziju un oksidāciju, palielinot pamatnes kalpošanas laiku salīdzinājumā ar standarta grafīta substrātiem.
3. Stiklveida pārklājuma grafīts:Unikālā stiklveida struktūraSiC pārklājumsnodrošina izcilu virsmas cietību, samazinot nodilumu augstas temperatūras apstrādes laikā.
4. Augstas tīrības pakāpes SiC pārklājums:Mūsu substrāts nodrošina minimālu piesārņojumu jutīgos pusvadītāju procesos, piedāvājot uzticamību nozarēm, kurās nepieciešama stingra materiāla tīrība.
5. Plašs tirgus pielietojums:TheGrafīta susceptors ar SiC pārklājumutirgus turpina augt, pieaugot pieprasījumam pēc uzlabotiem SiC pārklājuma produktiem pusvadītāju ražošanā, pozicionējot šo substrātu kā galveno spēlētāju gan grafīta plāksnīšu nesēju tirgū, gan silīcija karbīda pārklājumu grafīta paplāšu tirgū.
Grafīta pamatmateriāla tipiskās īpašības:
Šķietamais blīvums: | 1,85 g/cm3 |
Elektriskā pretestība: | 11 μΩm |
Elastības spēks: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Šora cietība: | 58 |
Pelni: | <5ppm |
Siltumvadītspēja: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC galvenās fizikālās īpašībaspārklājums | |
性质 / Īpašums | 典型数值 / Tipiskā vērtība |
晶体结构 / Kristāla struktūra | FCC β fāze 多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Blīvums | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Cietība | 2500 维氏硬度 (500 g krava) |
晶粒大小 / Graudu izmērs | 2 ~ 10 μm |
纯度 / Ķīmiskā tīrība | 99,99995% |
热容 / Siltuma jauda | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimācijas temperatūra | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4 punktu |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt līkums, 1300 ℃ |
导热系数 / Siltumvadītspēja | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Termiskā izplešanās (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy ir īsts pielāgotu grafīta un silīcija karbīda produktu ražotājs ar dažādiem pārklājumiem, piemēram, SiC pārklājumu, TaC pārklājumu, stiklveida oglekļa pārklājumu, pirolītiskā oglekļa pārklājumu utt., Var piegādāt dažādas pielāgotas detaļas pusvadītāju un fotoelementu rūpniecībai.
Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm, kas var nodrošināt jums profesionālākus materiālu risinājumus.
Mēs nepārtraukti attīstām progresīvus procesus, lai nodrošinātu modernākus materiālus, un esam izstrādājuši ekskluzīvu patentētu tehnoloģiju, kas var padarīt pārklājuma un pamatnes savienojumu ciešāku un mazāk pakļautu atdalīšanai.
Laipni lūdzam apmeklēt mūsu rūpnīcu, apspriedīsimies tālāk!