SiC pārklājums/pārklāts grafīta substrāts/paplāte pusvadītājiem

Īss apraksts:

VET Energy SiC pārklāts grafīta susceptors epitaksiskajai augšanai ir augstas veiktspējas produkts, kas izstrādāts, lai nodrošinātu konsekventu un uzticamu veiktspēju ilgākā laika periodā. Tam ir ļoti laba karstumizturība un termiskā viendabība, augsta tīrības pakāpe, izturība pret eroziju, padarot to par ideālu risinājumu vafeļu apstrādei.


Produkta informācija

Produktu etiķetes

SiC pārklājums/pārklājums ar grafīta susceptoru pusvadītājam
 
TheSiC pārklāts grafīta substrātsir ļoti izturīgs un efektīvs risinājums, kas izstrādāts, lai apmierinātu stingrās pusvadītāju apstrādes nozares prasības. Ar augstas tīrības pakāpes slānisilīcija karbīda (SiC) pārklājums, šis substrāts nodrošina izcilu termisko stabilitāti, izturību pret oksidēšanu un ilgu kalpošanas laiku, padarot to ideāli piemērotu lietošanai MOCVD procesos, grafīta plāksnīšu nesējos un citās augstas temperatūras vidēs.

 Funkcijas: 
· Lieliska termiskā triecienizturība
· Lieliska fiziskā triecienizturība
· Lieliska ķīmiskā izturība
· Īpaši augsta tīrība
· Pieejamība kompleksā formā
· Izmantojams oksidējošā atmosfērā

Pieteikums:

3

Produkta īpašības un priekšrocības:

1. Izcila termiskā pretestība:Ar augstu tīrības pakāpiSiC pārklājums, substrāts iztur ārkārtējas temperatūras, nodrošinot konsekventu veiktspēju prasīgās vidēs, piemēram, epitaksijas un pusvadītāju izgatavošanā.

2. Uzlabota izturība:Ar SiC pārklātās grafīta sastāvdaļas ir izstrādātas tā, lai tās būtu izturīgas pret ķīmisko koroziju un oksidāciju, palielinot pamatnes kalpošanas laiku salīdzinājumā ar standarta grafīta substrātiem.

3. Stiklveida pārklājuma grafīts:Unikālā stiklveida struktūraSiC pārklājumsnodrošina izcilu virsmas cietību, samazinot nodilumu augstas temperatūras apstrādes laikā.

4. Augstas tīrības pakāpes SiC pārklājums:Mūsu substrāts nodrošina minimālu piesārņojumu jutīgos pusvadītāju procesos, piedāvājot uzticamību nozarēm, kurās nepieciešama stingra materiāla tīrība.

5. Plašs tirgus pielietojums:TheGrafīta susceptors ar SiC pārklājumutirgus turpina augt, pieaugot pieprasījumam pēc uzlabotiem SiC pārklājuma produktiem pusvadītāju ražošanā, pozicionējot šo substrātu kā galveno spēlētāju gan grafīta plāksnīšu nesēju tirgū, gan silīcija karbīda pārklājumu grafīta paplāšu tirgū.

Grafīta pamatmateriāla tipiskās īpašības:

Šķietamais blīvums: 1,85 g/cm3
Elektriskā pretestība: 11 μΩm
Elastības spēks: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Šora cietība: 58
Pelni: <5ppm
Siltumvadītspēja: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC galvenās fizikālās īpašībaspārklājums

性质 / Īpašums

典型数值 / Tipiskā vērtība

晶体结构 / Kristāla struktūra

FCC β fāze 多晶,主要为(111)取向

密度 / Blīvums

3,21 g/cm³

硬度 / Cietība

2500 维氏硬度 (500 g krava)

晶粒大小 / Graudu izmērs

2 ~ 10 μm

纯度 / Ķīmiskā tīrība

99,99995%

热容 / Siltuma jauda

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimācijas temperatūra

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4 punktu

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt līkums, 1300 ℃

导热系数 / Siltumvadītspēja

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termiskā izplešanās (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy ir īsts pielāgotu grafīta un silīcija karbīda produktu ražotājs ar dažādiem pārklājumiem, piemēram, SiC pārklājumu, TaC pārklājumu, stiklveida oglekļa pārklājumu, pirolītiskā oglekļa pārklājumu utt., Var piegādāt dažādas pielāgotas detaļas pusvadītāju un fotoelementu rūpniecībai.

Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm, kas var nodrošināt jums profesionālākus materiālu risinājumus.

Mēs nepārtraukti attīstām progresīvus procesus, lai nodrošinātu modernākus materiālus, un esam izstrādājuši ekskluzīvu patentētu tehnoloģiju, kas var padarīt pārklājuma un pamatnes savienojumu ciešāku un mazāk pakļautu atdalīšanai.

Laipni lūdzam apmeklēt mūsu rūpnīcu, apspriedīsimies tālāk!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Iepriekšējais:
  • Nākamais:

  • WhatsApp tiešsaistes tērzēšana!