SiC pārklājuma nesējs RTP/RTA ir galvenais komponents, ko izmanto pusvadītāju ražošanas procesos, ko sauc par ātro termisko apstrādi un atlaidināšanu. Mēs izmantojam mūsu patentēto tehnoloģiju, lai izgatavotu silīcija karbīda nesēju ar īpaši augstu tīrības pakāpi, labu pārklājuma viendabīgumu un izcilu kalpošanas laiku. kā arī augstas ķīmiskās izturības un termiskās stabilitātes īpašības.
Mūsu produktu īpašības:
1. Augstas temperatūras oksidācijas izturība līdz 1700 ℃.
2. Augsta tīrība un termiskā vienmērība
3. Lieliska izturība pret koroziju: skābes, sārmi, sāls un organiskie reaģenti.
4. Augsta cietība, kompakta virsma, smalkas daļiņas.
5. Ilgāks kalpošanas laiks un izturīgāks
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC galvenās fizikālās īpašībaspārklājums | |
| 性质 / Īpašums | 典型数值 / Tipiskā vērtība |
| 晶体结构 / Kristālu struktūra | FCC β fāze多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Blīvums | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Cietība | 2500 维氏硬度 (500 g krava) |
| 晶粒大小 / Graudu izmērs | 2 ~ 10 μm |
| 纯度 / Ķīmiskā tīrība | 99,99995% |
| 热容 / Siltuma jauda | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimācijas temperatūra | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4 punktu |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt līkums, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalVadītspēja | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termiskā izplešanās (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy ir īsts pielāgotu grafīta un silīcija karbīda produktu ražotājs ar dažādiem pārklājumiem, piemēram, SiC pārklājumu, TaC pārklājumu, stiklveida oglekļa pārklājumu, pirolītiskā oglekļa pārklājumu utt., Var piegādāt dažādas pielāgotas detaļas pusvadītāju un fotoelementu rūpniecībai.
Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm, kas var nodrošināt jums profesionālākus materiālu risinājumus.
Mēs nepārtraukti attīstām progresīvus procesus, lai nodrošinātu modernākus materiālus, un esam izstrādājuši ekskluzīvu patentētu tehnoloģiju, kas var padarīt pārklājuma un pamatnes savienojumu ciešāku un mazāk pakļautu atdalīšanai.
Laipni lūdzam apmeklēt mūsu rūpnīcu, apspriedīsimies tālāk!
