Kas ir silīcija karbīda pārklājums?

Silīcija karbīda pārklājums,plaši pazīstams kā SiC pārklājums, attiecas uz silīcija karbīda slāņa uzklāšanu uz virsmām, izmantojot tādas metodes kā ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD), fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD) vai termiskā izsmidzināšana. Šis silīcija karbīda keramikas pārklājums uzlabo dažādu substrātu virsmas īpašības, nodrošinot izcilu nodilumizturību, termisko stabilitāti un aizsardzību pret koroziju. SiC ir pazīstams ar izcilām fizikālajām un ķīmiskajām īpašībām, tostarp augstu kušanas temperatūru (aptuveni 2700 ℃), ārkārtēju cietību (Mosa skala 9), izcilu izturību pret koroziju un oksidāciju, kā arī izcilu ablācijas veiktspēju.

Galvenās silīcija karbīda pārklājuma priekšrocības rūpnieciskos lietojumos

Pateicoties šīm īpašībām, silīcija karbīda pārklājums tiek plaši izmantots tādās jomās kā kosmosa, ieroču aprīkojums un pusvadītāju apstrāde. Ekstrēmās vidēs, jo īpaši diapazonā no 1800 līdz 2000 ℃, SiC pārklājumam ir ievērojama termiskā stabilitāte un ablācijas pretestība, padarot to ideāli piemērotu lietošanai augstā temperatūrā. Tomēr tikai silīcija karbīdam trūkst strukturālās integritātes, kas nepieciešama daudziem lietojumiem, tāpēc tiek izmantotas pārklājuma metodes, lai izmantotu tā unikālās īpašības, neapdraudot komponentu izturību. Pusvadītāju ražošanā elementi ar silīcija karbīda pārklājumu nodrošina drošu aizsardzību un veiktspējas stabilitāti iekārtās, ko izmanto MOCVD procesos.

Izplatītas metodes silīcija karbīda pārklājuma sagatavošanai

Ⅰ● Ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) silīcija karbīda pārklājums

Šajā metodē SiC pārklājumus veido, ievietojot substrātus reakcijas kamerā, kur metiltrihlorsilāns (MTS) darbojas kā prekursors. Kontrolētos apstākļos — parasti 950–1300°C un negatīvā spiedienā — MTS sadalās, un uz virsmas tiek nogulsnēts silīcija karbīds. Šis CVD SiC pārklāšanas process nodrošina blīvu, vienmērīgu pārklājumu ar izcilu saķeri, kas ir ideāli piemērots augstas precizitātes lietojumiem pusvadītāju un kosmosa nozarē.

Ⅱ● Prekursoru pārveidošanas metode (polimēru impregnēšana un pirolīze — PIP)

Vēl viena efektīva silīcija karbīda izsmidzināšanas pārklājuma pieeja ir prekursora pārveidošanas metode, kas ietver iepriekš apstrādātā parauga iegremdēšanu keramikas prekursora šķīdumā. Pēc impregnēšanas tvertnes sūkšanas un pārklājuma spiediena paaugstināšanas paraugs tiek uzkarsēts, kā rezultātā pēc atdzesēšanas veidojas silīcija karbīda pārklājums. Šī metode ir ieteicama komponentiem, kuriem nepieciešams vienmērīgs pārklājuma biezums un paaugstināta nodilumizturība.

Silīcija karbīda pārklājuma fizikālās īpašības

Silīcija karbīda pārklājumiem piemīt īpašības, kas padara tos ideāli piemērotus prasīgiem rūpnieciskiem lietojumiem. Šīs īpašības ietver:

Siltumvadītspēja: 120-270 W/m·K
Termiskās izplešanās koeficients: 4,3 × 10^^(-6)/K (pie 20 ~ 800 ℃)
Elektriskā pretestība: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
Cietība: Mosa skala 9

Silīcija karbīda pārklājuma pielietojumi

Pusvadītāju ražošanā silīcija karbīda pārklājums MOCVD un citiem augstas temperatūras procesiem aizsargā kritiskās iekārtas, piemēram, reaktorus un susceptorus, piedāvājot gan augstas temperatūras izturību, gan stabilitāti. Kosmosa un aizsardzības jomā silīcija karbīda keramikas pārklājumi tiek uzklāti uz detaļām, kurām ir jāiztur liela ātruma triecieni un korozīva vide. Turklāt silīcija karbīda krāsas vai pārklājumus var izmantot arī medicīnas ierīcēm, kurām nepieciešama izturība sterilizācijas procedūrās.

Kāpēc izvēlēties silīcija karbīda pārklājumu?

Silīcija karbīda pārklājumi nodrošina nepārspējamu izturību un temperatūras stabilitāti, padarot tos ekonomiski izdevīgus ilgstošai lietošanai. Izvēloties virsmu ar silīcija karbīda pārklājumu, nozares gūst labumu no zemākām uzturēšanas izmaksām, uzlabotas aprīkojuma uzticamības un uzlabotas darbības efektivitātes.

Kāpēc izvēlēties VET ENERGY?

VET ENERGY ir profesionāls silīcija karbīda pārklājuma produktu ražotājs un rūpnīca Ķīnā. Galvenie SiC pārklājuma produkti ietver silīcija karbīda keramikas pārklājuma sildītāju,CVD silīcija karbīda pārklājums MOCVD susceptors, MOCVD grafīta nesējs ar CVD SiC pārklājumu, SiC pārklāti grafīta bāzes nesēji, ar silīcija karbīdu pārklāts grafīta substrāts pusvadītājiem,SiC pārklājums/pārklāts grafīta substrāts/paplāte pusvadītājiem, CVD SiC pārklāta oglekļa-oglekļa kompozīta CFC laivu veidne. VET ENERGY ir apņēmusies nodrošināt progresīvu tehnoloģiju un produktu risinājumus pusvadītāju nozarei. Mēs patiesi ceram kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.