Kas ir sic pārklājums? – VET ENERĢIJA

Silīcija karbīdsir ciets savienojums, kas satur silīciju un oglekli, un dabā ir sastopams kā ārkārtīgi rets minerāls moissanīts. Silīcija karbīda daļiņas var savienot kopā ar saķepināšanu, veidojot ļoti cietu keramiku, ko plaši izmanto lietojumos, kuriem nepieciešama augsta izturība, jo īpaši pusvadītāju procesā.

SiC fiziskā struktūra

Kas ir SiC pārklājums?

SiC pārklājums ir blīvs, nodilumizturīgs silīcija karbīda pārklājums ar augstu korozijas un karstuma izturību un lielisku siltumvadītspēju. Šis augstas tīrības pakāpes SiC pārklājums galvenokārt tiek izmantots pusvadītāju un elektronikas rūpniecībā, lai aizsargātu vafeļu nesējus, pamatnes un sildelementus no korozīvas un reaktīvas vides. SiC pārklājums ir piemērots arī vakuuma krāsnīm un paraugu karsēšanai augsta vakuuma, reaktīvā un skābekļa vidē.

Augstas tīrības pakāpes SiC pārklājuma virsma

Kas ir SiC pārklāšanas process?

Uz pamatnes virsmas tiek uzklāts plāns silīcija karbīda slānis, izmantojotCVD (ķīmiskā tvaiku pārklāšana). Nogulsnēšana parasti tiek veikta 1200–1300°C temperatūrā, un pamatnes materiāla termiskās izplešanās izturībai jābūt saderīgai ar SiC pārklājumu, lai samazinātu termisko spriegumu.

CVD SIC pārklājums FILM KRISTĀLA STRUKTŪRA

SiC pārklājuma fizikālās īpašības galvenokārt atspoguļojas tā augstās temperatūras pretestībā, cietībā, izturību pret koroziju un siltumvadītspēju.

Tipiski fiziskie parametri parasti ir šādi:

Cietība: SiC pārklājumam parasti ir Vickers cietība diapazonā no 2000 līdz 2500 HV, kas nodrošina tiem ārkārtīgi augstu nodilumizturību un triecienizturību rūpnieciskos lietojumos.

Blīvums: SiC pārklājumu blīvums parasti ir 3,1–3,2 g/cm³. Augstais blīvums veicina pārklājuma mehānisko izturību un izturību.

Siltumvadītspēja: SiC pārklājumiem ir augsta siltumvadītspēja, parasti diapazonā no 120-200 W/mK (pie 20°C). Tas nodrošina labu siltumvadītspēju augstas temperatūras vidē un padara to īpaši piemērotu termiskās apstrādes iekārtām pusvadītāju rūpniecībā.

Kušanas temperatūra: silīcija karbīda kušanas temperatūra ir aptuveni 2730°C, un tam ir lieliska termiskā stabilitāte ekstremālās temperatūrās.

Termiskās izplešanās koeficients: SiC pārklājumiem ir zems lineārais termiskās izplešanās koeficients (CTE), parasti diapazonā no 4,0-4,5 µm/mK (25-1000 ℃). Tas nozīmē, ka tā izmēru stabilitāte ir lieliska pie lielām temperatūras atšķirībām.

Izturība pret koroziju: SiC pārklājumi ir ārkārtīgi izturīgi pret koroziju spēcīgu skābju, sārmu un oksidējošā vidē, īpaši, ja tiek izmantotas spēcīgas skābes (piemēram, HF vai HCl), to izturība pret koroziju ievērojami pārsniedz parasto metālu materiālu izturību.

SiC pārklājumus var uzklāt uz šādiem materiāliem:

Augstas tīrības pakāpes izostatiskais grafīts (zems CTE)
Volframs
Molibdēns
Silīcija karbīds
Silīcija nitrīds
Oglekļa-oglekļa kompozīti (CFC)

Produktus ar SiC pārklājumu parasti izmanto šādās jomās:

LED mikroshēmu ražošana
Polisilīcija ražošana
Pusvadītājskristālu augšana
Silīcija unSiC epitaksija
Vafeļu termiskā apstrāde un kodināšana

Kāpēc izvēlēties VET Energy?

VET Energy ir vadošais SiC pārklājuma produktu ražotājs, novators un līderis Ķīnā, un galvenie SiC pārklājuma produkti irvafeļu turētājs ar SiC pārklājumu, SiC pārklājumsepitaksiskais susceptors, SiC pārklāts grafīta gredzens, Pusmēness daļas ar SiC pārklājumu, SiC pārklāts oglekļa-oglekļa kompozīts, SiC pārklāta vafeļu laiva, Sildītājs ar SiC pārklājumuuc Mēs patiesi ceram kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.

Ja jums ir kādi jautājumi vai nepieciešama papildu informācija, lūdzu, nevilcinieties sazināties ar mums.

Whatsapp&Wechat: +86-18069021720

Email: steven@china-vet.com