Tvaika fāzes epitaksijas (VPE) procesā pjedestāla uzdevums ir atbalstīt substrātu un nodrošināt vienmērīgu karsēšanu augšanas procesā. Dažādiem augšanas apstākļiem un materiālu sistēmām ir piemēroti dažāda veida pjedestāli. Tālāk ir minēti daži no visbiežāk izmantotajiem pjedestāla veidiem tvaika fāzēepitaksija:
Mucas pjedestāls
Mucas pjedestālus parasti izmanto horizontālās vai slīpās tvaika fāzes epitaksijas sistēmās. Tie var noturēt substrātu un ļaut gāzei plūst pa substrātu, kas palīdz panākt vienmērīgu epitaksiālo augšanu.
Diska formas pjedestāls (vertikāls pjedestāls)
Diska formas pjedestāli ir piemēroti vertikālām tvaika fāzes epitaksijas sistēmām, kurās substrāts ir novietots vertikāli. Šis dizains palīdz samazināt saskares laukumu starp substrātu un susceptoru, tādējādi samazinot siltuma zudumus un iespējamo piesārņojumu.
Horizontālais susceptors
Horizontālie susceptori ir retāk sastopami tvaika fāzes epitaksijā, taču tos var izmantot dažās specifiskās augšanas sistēmās, lai nodrošinātu epitaksisku augšanu horizontālā virzienā.
Monolīts epitaksiālās reakcijas susceptors
Monolītā epitaksiālā reakcijas susceptors ir paredzēts vienam substrātam, kas var nodrošināt precīzāku temperatūras kontroli un labāku siltumizolāciju, kas piemērots augstas kvalitātes epitaksiālo slāņu augšanai.
Laipni lūdzam mūsu tīmekļa vietnē, lai iegūtu informāciju par produktiem un konsultācijas.
Mūsu vietne: https://www.vet-china.com/
Izsūtīšanas laiks: 30. jūlijs 2024