Silīcija karbīds (SiC) ir sava veida keramikas materiāls ar plašu pielietojuma potenciālu, kam ir lieliska siltumvadītspēja, ķīmiskā stabilitāte un augsta temperatūras izturība.Lai vēl vairāk uzlabotu silīcija karbīda veiktspēju un pielietojuma diapazonu, ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) tehnoloģija ir kļuvusi par svarīgu metodi silīcija karbīda pārklājuma sagatavošanai.
Silīcija karbīda CVD pārklājums var veidot vienmērīgu un blīvu aizsargslāni uz dažādiem substrātiem, un tam ir dažādas izcilas īpašības.Pirmkārt, silīcija karbīda pārklājumam ir ārkārtīgi augsta cietība un nodilumizturība, kas var efektīvi izturēt nodilumu un skrāpējumus un aizsargāt pamatni no nodiluma un korozijas.Otrkārt, silīcija karbīda pārklājumam ir lieliska augstas temperatūras izturība, un tas joprojām var uzturēt augstu mehānisko izturību un ķīmisko stabilitāti augstas temperatūras vidē.Tādējādi silīcija karbīda CVD pārklājumu plaši izmanto kosmosa, enerģētikas, ķīmijas un citās jomās, piemēram, sadegšanas kameras iekšējo sienu pārklājumam, augstas temperatūras gāzes sensoriem un augstas temperatūras elektroniskām ierīcēm.
Turklāt silīcija karbīda pārklājumam ir arī lieliskas siltumvadītspējas un elektriskās izolācijas īpašības.Siltuma vadītspēja attiecas uz materiāla spēju vadīt siltumu, un silīcija karbīda CVD pārklājumu augstā siltumvadītspēja padara tos ideāli piemērotus siltuma pārvaldības lietojumiem, piemēram, radiatoriem un siltuma caurulēm.Elektriskā izolācija attiecas uz materiāla izolācijas veiktspēju pret strāvu, un silīcija karbīda pārklājuma labā elektriskā izolācija padara to plaši izmantotu elektroniskās ierīcēs, piemēram, augstsprieguma izolācijas slānī un elektroniskajā iepakojumā.
Sagatavojot silīcija karbīda CVD pārklājumus, parastās prekursorgāzes ietver silīcija avotus un oglekļa avotus, piemēram, metānu un silānu.Šīs gāzes veido plānu silīcija karbīda slāni uz substrāta virsmas caur CVD reakciju.Pielāgojot reakcijas apstākļus, piemēram, temperatūru, gaisa spiedienu un gāzes plūsmu, var kontrolēt pārklājuma biezumu, morfoloģiju un īpašības.
Rezumējot, silīcija karbīda CVD pārklājumam ir vairākas izcilas īpašības, tostarp augsta cietība, nodilumizturība, augsta temperatūras izturība, siltumvadītspēja un elektriskā izolācija.Pateicoties šīm īpašībām, silīcija karbīda pārklājumiem ir plašs pielietojuma klāsts daudzās jomās, tostarp aviācijā, enerģētikā, ķīmijā un elektronikā.Nepārtraukti attīstot un uzlabojot CVD tehnoloģiju, silīcija karbīda pārklājuma veiktspēja tiks vēl vairāk uzlabota, nodrošinot vairāk iespēju plašākam lietojumam vairākās jomās.
Publicēšanas laiks: 18. decembris 2023