PIA enerģijaPECVD procesa grafīta nesējs ir augstas kvalitātes palīgmateriāls, kas pielāgots PECVD (plazmas pastiprinātas ķīmiskās tvaiku nogulsnēšanās) procesam. Šis grafīta nesējs ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes, augsta blīvuma grafīta materiāla ar izcilu augstas temperatūras izturību, izturību pret koroziju, izmēru stabilitāti un citām īpašībām, var nodrošināt stabilu nesēja platformu PECVD procesam, lai nodrošinātu plānās plēves viendabīgumu un plakanumu. nogulsnēšanās.
Grafīta nesējiem PECVD procesam ir šādas īpašības:
▪ Augsta tīrība: ārkārtīgi zems piemaisījumu saturs, izvairoties no plēves piesārņojuma un nodrošinot filmas kvalitāti.
▪ Augsts blīvums: augsts blīvums, augsta mehāniskā izturība, kas spēj izturēt augstu temperatūru un augsta spiediena PECVD vidi.
▪ Laba izmēru stabilitāte: nelielas izmēru izmaiņas augstā temperatūrā, nodrošinot procesa stabilitāti.
▪ Lieliska siltumvadītspēja: efektīvi pārnes siltumu, lai novērstu vafeļu pārkaršanu.
▪ Spēcīga izturība pret koroziju: spēj izturēt dažādu korozīvu gāzu un plazmas izraisītu eroziju.
▪ Pielāgots serviss: dažādu izmēru un formu grafīta nesējus var pielāgot atbilstoši klientu vajadzībām.
Grafīta materiāls no SGL:
Tipisks parametrs: R6510 | |||
Rādītājs | Pārbaudes standarts | Vērtība | Vienība |
Vidējais graudu izmērs | ISO 13320 | 10 | μm |
Tilpuma blīvums | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Atvērta porainība | DIN66133 | 10 | % |
Vidējs poru izmērs | DIN66133 | 1.8 | μm |
Caurlaidība | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rokvela cietība HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Īpatnējā elektriskā pretestība | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Liekšanas spēks | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Spiedes spēks | DIN 51910 | 130 | MPa |
Younga modulis | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Termiskā izplešanās (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2x10-6 | K-1 |
Siltumvadītspēja (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Tas ir īpaši izstrādāts augstas efektivitātes saules bateriju ražošanai, atbalstot G12 liela izmēra vafeļu apstrādi. Optimizēts nesēja dizains ievērojami palielina caurlaidspēju, nodrošinot augstāku ražas līmeni un zemākas ražošanas izmaksas.
Vienums | Tips | Numuru plāksnīšu nesējs |
PEVCD Grephite laiva - 156. sērija | 156-13 grefīta laiva | 144 |
156-19 grefīta laiva | 216 | |
156-21 grefīta laiva | 240 | |
156-23 grafīta laiva | 308 | |
PEVCD Grephite laiva - 125. sērija | 125-15 grefīta laiva | 196 |
125-19 grefīta laiva | 252 | |
125-21 grfīta laiva | 280 |