Kas yra silicio karbido danga?

Silicio karbido danga,paprastai žinomas kaip SiC danga, reiškia silicio karbido sluoksnio padengimą ant paviršių tokiais metodais kaip cheminis nusodinimas iš garų (CVD), fizinis nusodinimas iš garų (PVD) arba terminis purškimas. Ši silicio karbido keraminė danga pagerina įvairių pagrindų paviršiaus savybes, suteikdama išskirtinį atsparumą dilimui, terminį stabilumą ir apsaugą nuo korozijos. SiC yra žinomas dėl savo išskirtinių fizinių ir cheminių savybių, įskaitant aukštą lydymosi temperatūrą (apie 2700 ℃), ypatingą kietumą (Mohso skalė 9), puikų atsparumą korozijai ir oksidacijai bei išskirtines abliacijos savybes.

Pagrindiniai silicio karbido dangos pranašumai pramonėje

Dėl šių savybių silicio karbido danga plačiai naudojama tokiose srityse kaip aviacija, ginklų įranga ir puslaidininkių apdirbimas. Ekstremalioje aplinkoje, ypač 1800–2000 ℃ diapazone, SiC danga pasižymi puikiu šiluminiu stabilumu ir atsparumu dilimui, todėl idealiai tinka naudoti aukštoje temperatūroje. Tačiau vien silicio karbidui trūksta struktūrinio vientisumo, reikalingo daugeliui pritaikymų, todėl naudojami dengimo metodai, siekiant išnaudoti jo unikalias savybes nepažeidžiant komponentų stiprumo. Puslaidininkių gamyboje silicio karbidu padengti elementai užtikrina patikimą apsaugą ir veikimo stabilumą įrangoje, naudojamoje MOCVD procesuose.

Įprasti silicio karbido dangos paruošimo metodai

Ⅰ● Cheminio nusodinimo garais (CVD) silicio karbido danga

Šiuo metodu SiC dangos formuojamos dedant substratus į reakcijos kamerą, kurioje metiltrichlorsilanas (MTS) veikia kaip pirmtakas. Kontroliuojamomis sąlygomis – paprastai 950–1300°C ir neigiamu slėgiu – MTS suyra, o ant paviršiaus nusėda silicio karbidas. Šis CVD SiC dengimo procesas užtikrina tankią, vienodą dangą ir puikų sukibimą, idealiai tinkančią didelio tikslumo naudojimui puslaidininkių ir kosmoso sektoriuose.

Ⅱ● Pirmtakų konversijos metodas (polimero impregnavimas ir pirolizė – PIP)

Kitas veiksmingas silicio karbido purškimo būdas yra pirmtakų konversijos metodas, kurio metu iš anksto apdorotas mėginys panardinamas į keraminį pirmtako tirpalą. Išsiurbus impregnavimo baką ir padidinus dangos slėgį, mėginys kaitinamas, todėl aušinant susidaro silicio karbido danga. Šis metodas tinka komponentams, kuriems reikalingas vienodas dangos storis ir didesnis atsparumas dilimui.

Silicio karbido dangos fizinės savybės

Silicio karbido dangos pasižymi savybėmis, todėl jos idealiai tinka reiklioms pramonės reikmėms. Šios savybės apima:

Šilumos laidumas: 120-270 W/m·K
Šiluminio plėtimosi koeficientas: 4,3 × 10^^(-6)/K (esant 20 ~ 800 ℃)
Elektrinė varža: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
Kietumas: 9 Moho skalė

Silicio karbido dangos pritaikymas

Puslaidininkių gamyboje silicio karbido danga, skirta MOCVD ir kitiems aukštos temperatūros procesams, apsaugo svarbią įrangą, pvz., reaktorius ir susceptorius, užtikrindama atsparumą aukštai temperatūrai ir stabilumą. Oro erdvėje ir gynyboje silicio karbido keraminėmis dangomis dengiami komponentai, kurie turi atlaikyti didelio greičio smūgius ir korozinę aplinką. Be to, silicio karbido dažai arba dangos taip pat gali būti naudojami medicinos prietaisams, kuriems reikalingas ilgaamžiškumas atliekant sterilizavimo procedūras.

Kodėl verta rinktis silicio karbido dangą?

Įrodyta, kad silicio karbido dangos prailgina komponentų tarnavimo laiką, užtikrina neprilygstamą ilgaamžiškumą ir temperatūros stabilumą, todėl jas galima ekonomiškai efektyviai naudoti ilgalaikiam naudojimui. Pasirinkus silicio karbidu dengtą paviršių, pramonės įmonės gauna naudos iš sumažėjusių priežiūros sąnaudų, didesnio įrangos patikimumo ir geresnio veikimo efektyvumo.

Kodėl verta rinktis VET ENERGY?

VET ENERGY yra profesionalus silicio karbido dangos gaminių gamintojas ir gamykla Kinijoje. Pagrindiniai SiC dangos produktai yra silicio karbido keraminės dangos šildytuvas,CVD silicio karbido dangos MOCVD susceptorius, MOCVD grafito laikiklis su CVD SiC danga, SiC padengtos grafito pagrindo laikikliai, Silicio karbidu padengtas grafito substratas puslaidininkiams,SiC danga / padengtas grafito substratas / dėklas puslaidininkiams, CVD SiC dengta anglies-anglies kompozicinė CFC valties forma. VET ENERGY yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.