Kas yra sic danga?

Silicio karbidasyra kietas junginys, turintis silicio ir anglies, ir gamtoje randamas kaip itin retas mineralas moissanitas. Silicio karbido daleles galima sujungti sukepinant, kad susidarytų labai kieta keramika, kuri plačiai naudojama tais atvejais, kai reikalingas didelis patvarumas, ypač puslaidininkių procese.

SiC fizinė struktūra

SiC danga yra tanki, dilimui atspari silicio karbido danga, pasižyminti dideliu atsparumu korozijai ir karščiui bei puikiu šilumos laidumu. Ši didelio grynumo SiC danga pirmiausia naudojama puslaidininkių ir elektronikos pramonėje, siekiant apsaugoti plokštelių laikiklius, pagrindus ir kaitinimo elementus nuo korozinės ir reaktyvios aplinkos. SiC danga taip pat tinka vakuuminėms krosnims ir mėginių šildymui didelio vakuumo, reaktyviosios ir deguonies aplinkoje.

Aukšto grynumo SiC dangos paviršius

Kas yra SiC dengimo procesas?

Plonas silicio karbido sluoksnis nusodinamas ant pagrindo paviršiaus naudojantCVD (cheminis nusodinimas iš garų). Nusodinimas paprastai atliekamas 1200–1300 °C temperatūroje, o pagrindo medžiagos šiluminis plėtimasis turi būti suderinamas su SiC danga, kad būtų sumažintas šiluminis įtempis.

CVD SIC PLĖVELĖS KRISTALO STRUKTŪRA

CVD SIC danga PLĖVELĖS KRISTOLŲ STRUKTŪRA

SiC dangos fizines savybes daugiausia atspindi jos atsparumas aukštai temperatūrai, kietumas, atsparumas korozijai ir šilumos laidumas.

Tipiški fiziniai parametrai paprastai yra tokie:

Kietumas: SiC dangos Vickers kietumas paprastai yra 2000–2500 HV, todėl pramonėje jie yra ypač atsparūs dilimui ir smūgiams.

Tankis: SiC dangų tankis paprastai yra 3,1–3,2 g/cm³. Didelis tankis prisideda prie dangos mechaninio stiprumo ir ilgaamžiškumo.

Šilumos laidumas: SiC dangos pasižymi dideliu šilumos laidumu, paprastai 120-200 W/mK (esant 20°C). Tai užtikrina gerą šilumos laidumą aukštoje temperatūroje ir ypač tinka puslaidininkių pramonės terminio apdorojimo įrangai.

Lydymosi temperatūra: silicio karbido lydymosi temperatūra yra maždaug 2730°C ir pasižymi puikiu terminiu stabilumu esant ekstremalioms temperatūroms.

Šiluminio plėtimosi koeficientas: SiC dangos turi žemą linijinį šiluminio plėtimosi koeficientą (CTE), paprastai 4,0–4,5 µm/mK diapazone (25–1000 ℃). Tai reiškia, kad jo matmenų stabilumas yra puikus esant dideliems temperatūrų skirtumams.

Atsparumas korozijai: SiC dangos yra itin atsparios korozijai stiprioje rūgštinėje, šarminėje ir oksiduojančioje aplinkoje, ypač naudojant stiprias rūgštis (pvz., HF ar HCl), jų atsparumas korozijai gerokai viršija įprastų metalinių medžiagų atsparumą.

SiC dangos gali būti dedamos ant šių medžiagų:

Didelio grynumo izostatinis grafitas (mažas CTE)
Volframas
Molibdenas
Silicio karbidas
Silicio nitridas
Anglies ir anglies kompozitai (CFC)

SiC padengti gaminiai dažniausiai naudojami šiose srityse:

LED lustų gamyba
Polisilicio gamyba
Puslaidininkiskristalų augimas
Silicio irSiC epitaksija
Vaflių terminis apdorojimas ir ėsdinimas

Kodėl verta rinktis VET Energy?

„VET Energy“ yra pirmaujanti SiC dangų gaminių gamintoja, novatorius ir lyderė Kinijoje, pagrindiniai SiC dangų produktai yraplokštelių laikiklis su SiC danga, padengtas SiCepitaksinis susceptorius, SiC dengtas grafito žiedas, Pusmėnulio dalys su SiC danga, SiC padengtas anglies-anglies kompozitas, SiC dengta vaflinė valtis, SiC dengtas šildytuvasir tt „VET Energy“ yra įsipareigojusi puslaidininkių pramonei teikti geriausius technologijų ir produktų sprendimus bei teikia pritaikymo paslaugas. Mes nuoširdžiai tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.