Kai tai spermaverslo naujienos, suprasti puslaidininkių gamybos sudėtingumą yra būtina. puslaidininkinės plokštelės yra esminis šios pramonės komponentas, tačiau jos dažnai susiduria su įvairių priemaišų užteršimu. Šie teršalai, įskaitant atomą, organines medžiagas, metalo elemento jonus ir oksidą, gali turėti įtakos gamybos procedūrai.
Dalelėspvz., polimero ir ėsdinimo priemaišų pasitikėjimas tarpmolekuline jėga adsorbuojasi plokštelės paviršiuje, turi įtakos įrenginio fotolitografijai.organinių priemaišųkaip homo odos aliejus ir mašinų aliejus sudaro plėvelę ant plokštelės, trukdo valyti.metalinių elementų jonaikaip geležis ir aliuminis dažnai pašalinami susidarant metalinių elementų jonų kompleksui.Oksidaitrukdo gamybos procesui ir paprastai pašalinami mirkant praskiestoje vandenilio fluorido rūgštyje.
cheminiai metodaidažniausiai naudojami puslaidininkinėms plokštelėms valyti ir trūkčioti. vyrauja drėgmės cheminio valymo technika, tokia kaip panardinimas tirpalu ir mechaninis šveitimas. Viršgarsinis ir megasoninis valymo metodas siūlo veiksmingus būdus pašalinti nešvarumus. sausas cheminis valymas, apima plazmos ir dujų fazės technologijas, taip pat atlieka funkciją puslaidininkių plokštelių valymo procesuose.
Paskelbimo laikas: 2024-10-29