Garų fazės epitaksijos (VPE) proceso metu pjedestalo vaidmuo yra palaikyti substratą ir užtikrinti tolygų šildymą augimo proceso metu. Įvairių tipų pjedestalai tinka skirtingoms augimo sąlygoms ir medžiagų sistemoms. Toliau pateikiami kai kurie dažniausiai naudojami pjedestalo tipai garų fazėjeepitaksija:
Statinės pjedestalas
Statinės pjedestalai dažniausiai naudojami horizontaliose arba pakreiptose garų fazės epitaksijos sistemose. Jie gali išlaikyti substratą ir leisti dujoms tekėti per substratą, o tai padeda pasiekti vienodą epitaksinį augimą.
Disko formos pjedestalas (vertikalus pjedestalas)
Disko formos pjedestalai tinka vertikalioms garų fazės epitaksijos sistemoms, kuriose substratas dedamas vertikaliai. Ši konstrukcija padeda sumažinti kontaktinį plotą tarp substrato ir susceptoriaus, taip sumažinant šilumos nuostolius ir galimą užteršimą.
Horizontalus susceptorius
Horizontalūs susceptoriai yra mažiau paplitę garų fazės epitaksijoje, tačiau gali būti naudojami kai kuriose specifinėse augimo sistemose, kad būtų galima epitaksinį augimą horizontalia kryptimi.
Monolitinis epitaksinės reakcijos susceptorius
Monolitinis epitaksinis reakcijos susceptorius yra skirtas vienam substratui, kuris gali užtikrinti tikslesnę temperatūros kontrolę ir geresnę šilumos izoliaciją, tinkamas aukštos kokybės epitaksinių sluoksnių augimui.
Sveiki atvykę į mūsų svetainę, kur rasite informacijos apie gaminį ir konsultacijų.
Mūsų svetainė: https://www.vet-china.com/
Paskelbimo laikas: 2024-07-30