Pageidautina medžiaga tikslioms fotolitografijos mašinų dalims
Puslaidininkių srityjesilicio karbido keramikamedžiagos daugiausia naudojamos pagrindinėje integrinių grandynų gamybos įrangoje, pvz., silicio karbido darbastalyje, kreipiamuosiuose bėgiuose,atšvaitai, keraminis siurbimo griebtuvas, litografijos mašinų rankenos, šlifavimo diskai, armatūra ir kt.
Silicio karbido keraminės dalyspuslaidininkinei ir optinei įrangai
● Silicio karbido keraminis šlifavimo diskas. Jei šlifavimo diskas pagamintas iš ketaus arba anglinio plieno, jo tarnavimo laikas trumpas, o šiluminio plėtimosi koeficientas didelis. Apdorojant silicio plokšteles, ypač šlifuojant ar poliruojant dideliu greičiu, šlifavimo disko susidėvėjimas ir šiluminė deformacija apsunkina silicio plokštelės plokštumo ir lygiagretumo užtikrinimą. Šlifavimo diskas, pagamintas iš silicio karbido keramikos, turi didelį kietumą ir mažą susidėvėjimą, o šiluminio plėtimosi koeficientas iš esmės yra toks pat kaip silicio plokštelių, todėl jį galima šlifuoti ir poliruoti dideliu greičiu.
● Keraminis silicio karbido tvirtinimas. Be to, kai gaminamos silicio plokštelės, jos turi būti termiškai apdorojamos aukštoje temperatūroje ir dažnai transportuojamos naudojant silicio karbido įtaisus. Jie yra atsparūs karščiui ir nedestruktyvūs. Į deimantą panašią anglį (DLC) ir kitas dangas galima padengti ant paviršiaus, kad būtų pagerintas našumas, sumažintas plokštelių pažeidimas ir užkertamas kelias taršai plisti.
● Silicio karbido darbo stalas. Pavyzdžiui, litografijos aparato darbo stalas yra daugiausia atsakingas už ekspozicijos judesio užbaigimą, o tai reikalauja didelio greičio, didelio smūgio, šešių laisvės laipsnių nano lygio itin tikslaus judesio. Pavyzdžiui, litografijos aparatui, kurio skiriamoji geba yra 100 nm, perdangos tikslumas 33 nm ir linijos plotis 10 nm, darbo stalo padėties nustatymo tikslumas turi pasiekti 10 nm, o kaukės ir silicio plokštelės vienu metu žingsniavimo ir nuskaitymo greitis yra 150 nm/s. ir 120 nm/s atitinkamai, o kaukės nuskaitymo greitis yra artimas 500 nm/s, o darbo stalas turi turėti labai didelį judėjimo tikslumą ir stabilumą.
Darbo stalo ir mikrojudėjimo stalo schema (dalinė dalis)
● Silicio karbido keramikinis kvadratinis veidrodis. Pagrindiniai pagrindinės integrinių grandynų įrangos komponentai, tokie kaip litografijos mašinos, yra sudėtingų formų, sudėtingų matmenų ir tuščiavidurių lengvų konstrukcijų, todėl sunku paruošti tokius silicio karbido keramikos komponentus. Šiuo metu pagrindiniai tarptautiniai integrinių grandynų įrangos gamintojai, tokie kaip ASML Nyderlanduose, NIKON ir CANON Japonijoje, gamindami kvadratinius veidrodžius, pagrindinius litografijos mašinų komponentus, naudoja daug medžiagų, tokių kaip mikrokristalinis stiklas ir kordieritas, ir naudoja silicio karbidą. keramiką, kad būtų galima paruošti kitus paprastų formų aukštos kokybės konstrukcinius komponentus. Tačiau Kinijos statybinių medžiagų tyrimų instituto ekspertai panaudojo patentuotą paruošimo technologiją, kad paruoštų didelio dydžio, sudėtingos formos, labai lengvus, visiškai uždarus silicio karbido keraminius kvadratinius veidrodžius ir kitus struktūrinius ir funkcinius litografijos mašinų optinius komponentus.
Paskelbimo laikas: 2024-10-10