Purškiami taikiniaidaugiausia naudojami elektronikos ir informacijos pramonėje, tokiose kaip integriniai grandynai, informacijos saugojimas, skystųjų kristalų ekranai, lazerinės atminties, elektroniniai valdymo prietaisai ir kt. medžiagos, atsparumas korozijai aukštoje temperatūroje, aukščiausios klasės dekoratyviniai gaminiai ir kitos pramonės šakos.
Purškimas yra vienas iš pagrindinių plonasluoksnių medžiagų paruošimo būdų.Jis naudoja jonų šaltinių generuojamus jonus, kad pagreitintų ir agreguotųsi vakuume, kad sudarytų didelės spartos energijos jonų pluoštus, bombarduotų kietąjį paviršių ir keistųsi kinetine energija tarp jonų ir kieto paviršiaus atomų. Atomai ant kieto paviršiaus palieka kietą medžiagą ir nusėda ant pagrindo paviršiaus. Bombarduota kieta medžiaga yra žaliava plonoms plėvelėms nusodinti purškiant, o tai vadinama purškimo taikiniu. Įvairių tipų purškiamos plonos plėvelės medžiagos buvo plačiai naudojamos puslaidininkių integriniuose grandynuose, įrašymo laikmenose, plokščiuose ekranuose ir ruošinio paviršiaus dangose.
Puslaidininkių pramonėje taikomi griežčiausi kokybės reikalavimai tikslinėms purškiančioms plėvelėms. Didelio grynumo metalo purškimo taikiniai dažniausiai naudojami plokštelių gamyboje ir pažangiuose pakavimo procesuose. Paimdami lustų gamybą kaip pavyzdį, matome, kad nuo silicio plokštelės iki lusto reikia atlikti 7 pagrindinius gamybos procesus, būtent difuziją (terminį procesą), fotolitografiją (fotolitografiją), ėsdinimą (išgraviruoti), Jonų implantavimas (Ion Implant), plonos plėvelės auginimas (dielektrinis nusodinimas), cheminis mechaninis poliravimas (CMP), metalizavimas (metalizavimas) Procesai atitinka vieną vienu. Purškimo taikinys naudojamas „metalizacijos“ procese. Taikinys yra bombarduojamas didelės energijos dalelėmis plonos plėvelės nusodinimo įranga ir tada ant silicio plokštelės susidaro metalinis sluoksnis, turintis specifines funkcijas, pavyzdžiui, laidus sluoksnis, barjerinis sluoksnis. Palaukite. Kadangi visų puslaidininkių procesai yra įvairūs, kartais reikia tam tikrų situacijų, kad būtų galima patikrinti, ar sistema egzistuoja teisingai, todėl tam tikruose gamybos etapuose reikalaujame tam tikrų rūšių fiktyvių medžiagų, kad patvirtintume poveikį.
Paskelbimo laikas: 2022-01-17