Puslaidininkių pramonės reikalavimai grafito medžiagų reikalavimams yra ypač aukšti, smulkių grafito dalelių dydis pasižymi dideliu tikslumu, atsparumu aukštai temperatūrai, dideliu stiprumu, nedideliais nuostoliais ir kitais pranašumais, tokiais kaip: sukepinto grafito gaminių formos.Kadangi puslaidininkių pramonėje naudojama grafito įranga (įskaitant šildytuvus ir jų sukepintas štampas) turi atlaikyti pasikartojančius šildymo ir aušinimo procesus, norint pratęsti grafito įrangos tarnavimo laiką, paprastai reikalaujama, kad naudojamos grafito medžiagos veiktų stabiliai. ir karščiui atspari smūgių funkcija.
01 Grafito priedai puslaidininkių kristalų auginimui
Visi procesai, naudojami puslaidininkių kristalams auginti, veikia aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Karštojoje kristalų auginimo krosnies zonoje paprastai yra karščiui ir korozijai atsparūs didelio grynumo grafito komponentai, tokie kaip šildytuvas, tiglis, izoliacinis cilindras, kreipiamasis cilindras, elektrodas, tiglio laikiklis, elektrodo veržlė ir kt.
Galime pagaminti visas krištolo gamybos įrenginių grafito detales, kurios gali būti tiekiamos pavieniui arba komplektais arba pagal kliento poreikius pritaikytas įvairaus dydžio grafito detales. Gaminių dydį galima išmatuoti vietoje, o pelenų kiekis gatavuose gaminiuose gali būti mažesnisnei 5 ppm.
02 Grafito priedai puslaidininkių epitaksijai
Epitaksinis procesas reiškia monokristalinės medžiagos sluoksnio augimą, kurio gardelės išdėstymas yra toks pat, kaip ir substratas ant monokristalinio pagrindo. Epitaksinio proceso metu plokštelė įkeliama į grafito diską. Grafito disko veikimas ir kokybė vaidina labai svarbų vaidmenį plokštelės epitaksinio sluoksnio kokybei. Epitaksinės gamybos srityje reikia daug itin didelio grynumo grafito ir didelio grynumo grafito pagrindo su SIC danga.
Mūsų įmonės grafito bazė, skirta puslaidininkių epitaksijai, turi platų pritaikymo spektrą, gali atitikti daugumą dažniausiai pramonėje naudojamos įrangos, turi aukštą grynumą, vienodą dangą, puikų tarnavimo laiką ir aukštą cheminį atsparumą bei terminį stabilumą.
03 Grafito priedai jonų implantavimui
Jonų implantacija reiškia boro, fosforo ir arseno plazmos pluošto pagreitinimo procesą iki tam tikros energijos, o po to įpurškiant jį į plokštelės medžiagos paviršinį sluoksnį, kad būtų pakeistos paviršiaus sluoksnio medžiagos savybės. Jonų implantavimo įrenginio komponentai turi būti pagaminti iš labai grynų medžiagų, pasižyminčių puikiu atsparumu karščiui, šilumos laidumu, mažesne jonų pluošto sukeliama korozija ir mažu priemaišų kiekiu. Didelio grynumo grafitas atitinka taikymo reikalavimus ir gali būti naudojamas jonų implantavimo įrangos skrydžio vamzdžiui, įvairiems plyšiams, elektrodams, elektrodų gaubtams, vamzdžiams, pluošto gnybtuvams ir kt.
Galime ne tik pateikti grafito ekranavimo dangą įvairioms jonų implantavimo mašinoms, bet ir aukštos kokybės grafito elektrodus bei jonų šaltinius, pasižyminčius aukštu įvairių specifikacijų atsparumu korozijai. Taikomi modeliai: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ir kita įranga. Be to, taip pat galime pateikti atitinkamus keramikos, volframo, molibdeno, aliuminio gaminius ir dengtas dalis.
04 Grafitinės izoliacinės medžiagos ir kt
Puslaidininkių gamybos įrangoje naudojamos termoizoliacinės medžiagos yra grafito kietasis veltinys, minkštas veltinis, grafito folija, grafito popierius ir grafito virvė.
Visos mūsų žaliavos yra importuotas grafitas, kuris gali būti pjaustomas pagal konkretų dydį pagal kliento poreikius arba parduodamas kaip visumą.
Anglies-anglies padėklas naudojamas kaip plėvelės dengimo nešiklis saulės monokristalinio silicio ir polikristalinio silicio elementų gamybos procese. Darbo principas yra toks: įdėkite silicio lustą į CFC dėklą ir nusiųskite į krosnies vamzdelį, kad apdorotumėte plėvelės dangą.
