ສິ່ງກີດຂວາງດ້ານເຕັກນິກຂອງຊິລິຄອນຄາໄບ?Ⅱ

ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກທາງດ້ານເຕັກນິກໃນການຜະລິດ wafers silicon carbide ຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີປະສິດຕິພາບທີ່ຫມັ້ນຄົງປະກອບມີ:

1) ນັບຕັ້ງແຕ່ໄປເຊຍກັນຈໍາເປັນຕ້ອງຂະຫຍາຍຕົວໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຜະນຶກເຂົ້າກັນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງສູງກວ່າ 2000 ° C, ຄວາມຕ້ອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແມ່ນສູງທີ່ສຸດ;
2) ເນື່ອງຈາກ silicon carbide ມີຫຼາຍກ່ວາ 200 ໂຄງສ້າງໄປເຊຍກັນ, ແຕ່ມີພຽງບາງໂຄງສ້າງຂອງ silicon carbide ໄປເຊຍກັນເປັນວັດສະດຸ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການ, ອັດຕາສ່ວນ silicon-carbon, gradient ອຸນຫະພູມການຂະຫຍາຍຕົວ, ແລະການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນໃນໄລຍະ. ຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ພາລາມິເຕີເຊັ່ນຄວາມໄວແລະຄວາມກົດດັນການໄຫຼຂອງອາກາດ;
3) ພາຍໃຕ້ວິທີການສົ່ງຜ່ານໄລຍະ vapor, ເຕັກໂນໂລຊີການຂະຫຍາຍເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ silicon carbide ແມ່ນມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກທີ່ສຸດ;
4) ຄວາມແຂງຂອງ silicon carbide ແມ່ນໃກ້ຊິດກັບເພັດ, ແລະເຕັກນິກການຕັດ, ການຂັດ, ແລະຂັດແມ່ນມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກ.

SiC epitaxial wafers: ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນຜະລິດໂດຍວິທີການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ອີງຕາມປະເພດ doping ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກແບ່ງອອກເປັນ n-type ແລະ p-type wafers epitaxial. ພາຍໃນປະເທດ Hantian Tiancheng ແລະ Dongguan Tianyu ສາມາດສະຫນອງ wafers epitaxial SiC 4 ນິ້ວ / 6 ນິ້ວໄດ້ແລ້ວ. ສໍາລັບ SiC epitaxy, ມັນເປັນການຍາກທີ່ຈະຄວບຄຸມໃນພາກສະຫນາມທີ່ມີແຮງດັນສູງ, ແລະຄຸນນະພາບຂອງ SiC epitaxy ມີຜົນກະທົບຫຼາຍຕໍ່ອຸປະກອນ SiC. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ອຸປະກອນ epitaxial ແມ່ນຜູກຂາດໂດຍສີ່ບໍລິສັດຊັ້ນນໍາໃນອຸດສາຫະກໍາ: Axitron, LPE, TEL ແລະ Nuflare.

Silicon carbide epitaxialwafer ຫມາຍເຖິງ wafer ຊິລິໂຄນ carbide ທີ່ຮູບເງົາໄປເຊຍກັນດຽວ (ຊັ້ນ epitaxial) ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສະເພາະໃດຫນຶ່ງແລະດຽວກັນກັບໄປເຊຍກັນ substrate ແມ່ນປູກຢູ່ໃນ substrate silicon carbide ຕົ້ນສະບັບ. ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ Epitaxial ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ອຸປະກອນ CVD (Chemical Vapor Deposition, ) ຫຼືອຸປະກອນ MBE (Molecular Beam Epitaxy). ນັບຕັ້ງແຕ່ອຸປະກອນ silicon carbide ໄດ້ຖືກຜະລິດໂດຍກົງໃນຊັ້ນ epitaxial, ຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການປະຕິບັດແລະຜົນຜະລິດຂອງອຸປະກອນ. ເນື່ອງຈາກແຮງດັນໄຟຟ້າທົນທານຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ສອດຄ້ອງກັນຈະກາຍເປັນຫນາແລະການຄວບຄຸມຈະມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກຫຼາຍ. ໂດຍທົ່ວໄປ, ໃນເວລາທີ່ແຮງດັນແມ່ນປະມານ 600V, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ຕ້ອງການແມ່ນປະມານ 6 microns; ເມື່ອແຮງດັນໄຟຟ້າຢູ່ລະຫວ່າງ 1200-1700V, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ຕ້ອງການເຖິງ 10-15 microns. ຖ້າແຮງດັນສູງເຖິງ 10,000 ໂວນ, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ epitaxial ຫຼາຍກວ່າ 100 ໄມຄອນອາດຈະຕ້ອງການ. ໃນຂະນະທີ່ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ epitaxial ຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ມັນມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກຫຼາຍທີ່ຈະຄວບຄຸມຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຄວາມທົນທານແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ.

ອຸປະກອນ SiC: ສາກົນ, 600 ~ 1700V SiC SBD ແລະ MOSFET ໄດ້ຮັບການອຸດສາຫະກໍາ. ຜະລິດຕະພັນຕົ້ນຕໍດໍາເນີນການຢູ່ໃນລະດັບແຮງດັນຕ່ໍາກວ່າ 1200V ແລະຕົ້ນຕໍແມ່ນຮັບຮອງເອົາການຫຸ້ມຫໍ່. ໃນແງ່ຂອງລາຄາ, ຜະລິດຕະພັນ SiC ໃນຕະຫຼາດສາກົນແມ່ນລາຄາປະມານ 5-6 ເທົ່າຂອງ SiC ຂອງພວກເຂົາ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ລາຄາແມ່ນຫຼຸດລົງໃນອັດຕາປະຈໍາປີຂອງ 10%. ດ້ວຍ​ການ​ຂະຫຍາຍ​ການ​ຜະລິດ​ວັດສະດຸ​ຕົ້ນ​ນ້ຳ​ໃນ 2-3 ປີ​ຕໍ່ໜ້າ, ການ​ສະໜອງ​ຂອງ​ຕະຫຼາດ​ຈະ​ເພີ່ມ​ຂຶ້ນ, ​ເຮັດ​ໃຫ້​ລາຄາ​ສິນຄ້າ​ຫຼຸດ​ລົງ​ຕື່ມ​ອີກ. ຄາດວ່າເມື່ອລາຄາເພີ່ມຂຶ້ນເຖິງ 2-3 ເທົ່າຂອງຜະລິດຕະພັນ Si, ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ນໍາມາໂດຍຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງລະບົບທີ່ຫຼຸດລົງແລະການປັບປຸງປະສິດທິພາບຈະຄ່ອຍໆເຮັດໃຫ້ SiC ຄອບຄອງພື້ນທີ່ຕະຫຼາດຂອງອຸປະກອນ Si.
ການຫຸ້ມຫໍ່ແບບດັ້ງເດີມແມ່ນອີງໃສ່ substrates ທີ່ອີງໃສ່ຊິລິໂຄນ, ໃນຂະນະທີ່ວັດສະດຸ semiconductor ຮຸ່ນທີສາມຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການອອກແບບໃຫມ່ຫມົດ. ການນໍາໃຊ້ໂຄງສ້າງການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ໃຊ້ຊິລິໂຄນແບບດັ້ງເດີມສໍາລັບອຸປະກອນພະລັງງານທີ່ມີຊ່ອງຫວ່າງກວ້າງສາມາດແນະນໍາບັນຫາແລະສິ່ງທ້າທາຍໃຫມ່ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຄວາມຖີ່, ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື. ອຸປະກອນພະລັງງານ SiC ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບຄວາມຈຸຂອງກາຝາກ ແລະ inductance. ເມື່ອປຽບທຽບກັບອຸປະກອນ Si, ຊິບພະລັງງານ SiC ມີຄວາມໄວການສະຫຼັບທີ່ໄວຂຶ້ນ, ເຊິ່ງສາມາດນໍາໄປສູ່ການ overshoot, oscillation, ການສູນເສຍການສະຫຼັບເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະແມ້ກະທັ້ງອຸປະກອນຜິດປົກກະຕິ. ນອກຈາກນັ້ນ, ອຸປະກອນໄຟຟ້າ SiC ເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນ, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີເຕັກນິກການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ກ້າວຫນ້າ.

ຫຼາຍໆໂຄງສ້າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນໄດ້ຖືກພັດທະນາໃນຂະແຫນງການຫຸ້ມຫໍ່ພະລັງງານ semiconductor ກວ້າງ. ການຫຸ້ມຫໍ່ໂມດູນພະລັງງານທີ່ໃຊ້ Si ແບບດັ້ງເດີມແມ່ນບໍ່ເຫມາະສົມອີກຕໍ່ໄປ. ເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາຂອງຕົວກໍານົດການກາຝາກສູງແລະປະສິດທິພາບການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ດີຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ໂມດູນພະລັງງານ Si-based ແບບດັ້ງເດີມ, ການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງໂມດູນພະລັງງານ SiC ໄດ້ຮັບຮອງເອົາການເຊື່ອມຕໍ່ໄຮ້ສາຍແລະເທກໂນໂລຍີຄວາມເຢັນສອງດ້ານໃນໂຄງສ້າງຂອງມັນ, ແລະຍັງນໍາໃຊ້ວັດສະດຸຍ່ອຍທີ່ມີຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ. conductivity, ແລະພະຍາຍາມປະສົມປະສານ decoupling capacitors, ອຸນຫະພູມ / ເຊັນເຊີໃນປະຈຸບັນ, ແລະວົງຈອນຂັບເຂົ້າໄປໃນໂຄງສ້າງໂມດູນ, ແລະພັດທະນາການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງໂມດູນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ເຕັກໂນໂລຊີ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ມີອຸປະສັກດ້ານວິຊາການສູງຕໍ່ການຜະລິດອຸປະກອນ SiC ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດແມ່ນສູງ.

ອຸປະກອນ silicon carbide ແມ່ນຜະລິດໂດຍການຝາກຊັ້ນ epitaxial ໃສ່ substrate silicon carbide ຜ່ານ CVD. ຂະບວນການປະກອບມີການທໍາຄວາມສະອາດ, ການຜຸພັງ, photolithography, etching, stripping of photoresist, implantation ion, ການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີຂອງ silicon nitride, polishing, sputtering, ແລະຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງຕໍ່ມາເພື່ອສ້າງໂຄງສ້າງອຸປະກອນຢູ່ໃນ substrate ໄປເຊຍກັນ SiC ດຽວ. ປະເພດຕົ້ນຕໍຂອງອຸປະກອນພະລັງງານ SiC ປະກອບມີ SiC diodes, SiC transistors, ແລະໂມດູນພະລັງງານ SiC. ເນື່ອງຈາກປັດໃຈເຊັ່ນ: ຄວາມໄວໃນການຜະລິດວັດສະດຸທີ່ຊ້າລົງແລະອັດຕາຜົນຜະລິດຕ່ໍາ, ອຸປະກອນຊິລິໂຄນຄາໄບມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຂ້ອນຂ້າງສູງ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ການຜະລິດອຸປະກອນ silicon carbide ມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກດ້ານວິຊາການບາງຢ່າງ:

1) ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນທີ່ຈະພັດທະນາຂະບວນການສະເພາະທີ່ສອດຄ່ອງກັບຄຸນລັກສະນະຂອງວັດສະດຸ silicon carbide. ຕົວຢ່າງ: SiC ມີຈຸດລະລາຍສູງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນແບບດັ້ງເດີມບໍ່ມີປະສິດທິພາບ. ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນທີ່ຈະນໍາໃຊ້ວິທີການ doping implantation ion ແລະກໍານົດການຄວບຄຸມຢ່າງຖືກຕ້ອງເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມ, ອັດຕາຄວາມຮ້ອນ, ໄລຍະເວລາ, ແລະການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ; SiC ແມ່ນ inert ກັບສານລະລາຍສານເຄມີ. ວິທີການເຊັ່ນ: etching ແຫ້ງຄວນໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້, ແລະອຸປະກອນການຫນ້າກາກ, ການປະສົມອາຍແກັສ, ການຄວບຄຸມຂອງ slope sidewall, ອັດຕາການ etching, sidewall roughness, ແລະອື່ນໆຄວນໄດ້ຮັບການ optimized ແລະພັດທະນາ;
2) ການຜະລິດຂອງ electrodes ໂລຫະໃນ wafers silicon carbide ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຕໍ່ຕ້ານການຕິດຕໍ່ຂ້າງລຸ່ມນີ້ 10-5Ω2. ວັດສະດຸ electrode ທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການ, Ni ແລະ Al, ມີສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ດີເກີນ 100 ° C, ແຕ່ Al / Ni ມີສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ. ຄວາມຕ້ານທານສະເພາະການຕິດຕໍ່ຂອງວັດສະດຸ electrode ປະສົມ / W / Au ແມ່ນສູງກວ່າ 10-3Ω2;
3) SiC ມີການສວມໃສ່ໃນການຕັດສູງ, ແລະຄວາມແຂງຂອງ SiC ເປັນອັນດັບສອງພຽງແຕ່ເພັດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມຕ້ອງການທີ່ສູງຂຶ້ນສໍາລັບການຕັດ, ການຂັດ, ການຂັດແລະເຕັກໂນໂລຢີອື່ນໆ.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ອຸປະກອນພະລັງງານ silicon carbide trench ແມ່ນມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກຫຼາຍທີ່ຈະຜະລິດ. ອີງຕາມໂຄງສ້າງອຸປະກອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ອຸປະກອນພະລັງງານ silicon carbide ສາມາດແບ່ງອອກສ່ວນໃຫຍ່ເປັນອຸປະກອນ planar ແລະອຸປະກອນ trench. ອຸປະກອນພະລັງງານ silicon carbide Planar ມີຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຫນ່ວຍທີ່ດີແລະຂະບວນການຜະລິດທີ່ງ່າຍດາຍ, ແຕ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຜົນກະທົບຂອງ JFET ແລະມີຄວາມສາມາດຂອງແມ່ກາຝາກສູງແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ລັດ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບອຸປະກອນ planar, ອຸປະກອນພະລັງງານ silicon carbide trench ມີຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຫນ່ວຍງານຕ່ໍາແລະມີຂະບວນການຜະລິດທີ່ສັບສົນຫຼາຍ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ໂຄງສ້າງຂອງ trench ແມ່ນເອື້ອອໍານວຍຕໍ່ການເພີ່ມຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຫນ່ວຍງານອຸປະກອນແລະມີແນວໂນ້ມຫນ້ອຍທີ່ຈະຜະລິດຜົນກະທົບຂອງ JFET, ເຊິ່ງເປັນປະໂຫຍດຕໍ່ການແກ້ໄຂບັນຫາການເຄື່ອນໄຫວຂອງຊ່ອງທາງ. ມັນ​ມີ​ຄຸນ​ສົມ​ບັດ​ທີ່​ດີ​ເລີດ​ເຊັ່ນ​: ການ​ຕໍ່​ຕ້ານ​ຂະ​ຫນາດ​ນ້ອຍ​, capacitance ກາ​ຝາກ​ຂະ​ຫນາດ​ນ້ອຍ​, ແລະ​ການ​ບໍ​ລິ​ໂພກ​ພະ​ລັງ​ງານ​ສະ​ຫຼັບ​ຕ​່​ໍ​າ​. ມັນມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະຂໍ້ດີດ້ານການປະຕິບັດທີ່ສໍາຄັນແລະໄດ້ກາຍເປັນທິດທາງຕົ້ນຕໍຂອງການພັດທະນາອຸປະກອນພະລັງງານ silicon carbide. ອີງຕາມເວັບໄຊທ໌ທາງການຂອງ Rohm, ໂຄງສ້າງ ROHM Gen3 (ໂຄງສ້າງ Gen1 Trench) ແມ່ນພຽງແຕ່ 75% ຂອງພື້ນທີ່ຊິບ Gen2 (Plannar2), ແລະການຕໍ່ຕ້ານຂອງໂຄງສ້າງ ROHM Gen3 ແມ່ນຫຼຸດລົງ 50% ພາຍໃຕ້ຂະຫນາດຊິບດຽວກັນ.

substrate Silicon carbide, epitaxy, front-end, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ R & D ແລະອື່ນໆກວມເອົາ 47%, 23%, 19%, 6% ແລະ 5% ຂອງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຂອງອຸປະກອນ silicon carbide ຕາມລໍາດັບ.

ສຸດທ້າຍ, ພວກເຮົາຈະສຸມໃສ່ການທໍາລາຍອຸປະສັກດ້ານວິຊາການຂອງ substrates ໃນລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາ silicon carbide.

ຂະບວນການຜະລິດຂອງ substrates silicon carbide ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບ substrates ຊິລິຄອນ, ແຕ່ມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກຫຼາຍ.
ຂະບວນການຜະລິດຂອງ substrate silicon carbide ໂດຍທົ່ວໄປປະກອບມີການສັງເຄາະວັດຖຸດິບ, ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ, ການປຸງແຕ່ງ ingot, ການຕັດ ingot, grinding wafer, polishing, ທໍາຄວາມສະອາດແລະການເຊື່ອມຕໍ່ອື່ນໆ.
ຂັ້ນຕອນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກແມ່ນຫຼັກຂອງຂະບວນການທັງຫມົດ, ແລະຂັ້ນຕອນນີ້ກໍານົດຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງ substrate silicon carbide.

ວັດສະດຸ Silicon carbide ຍາກທີ່ຈະເຕີບໂຕໃນໄລຍະຂອງແຫຼວພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂປົກກະຕິ. ວິທີການເຕີບໃຫຍ່ຂອງໄລຍະ vapor ທີ່ນິຍົມໃນຕະຫຼາດໃນມື້ນີ້ມີອຸນຫະພູມການຂະຫຍາຍຕົວສູງກວ່າ 2300 ° C ແລະຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ຊັດເຈນ. ຂະບວນການປະຕິບັດງານທັງຫມົດແມ່ນເກືອບຍາກທີ່ຈະສັງເກດເຫັນ. ຄວາມຜິດພາດເລັກນ້ອຍຈະນໍາໄປສູ່ການຂູດຜະລິດຕະພັນ. ໃນການປຽບທຽບ, ວັດສະດຸຊິລິໂຄນຕ້ອງການພຽງແຕ່ 1600 ℃, ເຊິ່ງຕ່ໍາກວ່າຫຼາຍ. ການກະກຽມ substrates silicon carbide ຍັງປະເຊີນກັບຄວາມຫຍຸ້ງຍາກເຊັ່ນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນຊ້າແລະຄວາມຕ້ອງການຮູບແບບໄປເຊຍກັນສູງ. ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ Silicon carbide wafer ໃຊ້ເວລາປະມານ 7 ຫາ 10 ມື້, ໃນຂະນະທີ່ການດຶງ silicon rod ໃຊ້ເວລາພຽງແຕ່ 2 ມື້ເຄິ່ງ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, silicon carbide ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມແຂງເປັນອັນດັບສອງພຽງແຕ່ເພັດ. ມັນຈະສູນເສຍຫຼາຍໃນລະຫວ່າງການຕັດ, ການຂັດ, ແລະຂັດ, ແລະອັດຕາສ່ວນຜົນຜະລິດແມ່ນພຽງແຕ່ 60%.

ພວກເຮົາຮູ້ວ່າທ່າອ່ຽງແມ່ນການເພີ່ມຂະຫນາດຂອງ substrates silicon carbide, ເນື່ອງຈາກວ່າຂະຫນາດຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມຕ້ອງການເຕັກໂນໂລຢີການຂະຫຍາຍເສັ້ນຜ່າສູນກາງແມ່ນສູງຂຶ້ນແລະສູງຂຶ້ນ. ມັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການປະສົມປະສານຂອງອົງປະກອບການຄວບຄຸມດ້ານວິຊາການຕ່າງໆເພື່ອບັນລຸການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນ.